本發(fā)明涉及晶棒加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。一種可偏擺的回轉(zhuǎn)工作臺(tái),包括回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),還包括搖擺機(jī)構(gòu)以及驅(qū)動(dòng)搖擺機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的搖擺驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);搖擺機(jī)構(gòu)包括安裝基座、軸承、滑動(dòng)導(dǎo)向座以及底座,底座上安裝有兩個(gè)鏡像對(duì)稱設(shè)置的滑動(dòng)導(dǎo)向座,滑動(dòng)導(dǎo)向座上開設(shè)有滑槽;安...