一種回收濺射靶材的方法，包括：提供濺射靶材，所述濺射靶材包括固定在一起的濺射面板和背板，所述濺射面板的拉應力和所述背板的拉應力均大于所述濺射面板和所述背板之間的嚙合力；支撐所述背板，且對所述背板上與所述濺射面板的邊緣位置對應的位置施加朝...

一種存儲液體的裝置及方法、轉移液體的裝置及方法，所述液體具有腐蝕性且易與空氣中的成分發生反應，所述存儲液體的裝置包括：密封的罐體、輸料管和輸氣管；輸料管包括進料口和出料口，出料口位于罐體內，進料口位于罐體外，在進料口和罐體之間的輸料管上...