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    三重野文健專利技術

    三重野文健共有1項專利

    • 本發明提供一種用于原子層沉積的方法。所述方法包括提供具有表面區域的襯底,并將所述襯底的所述表面區域暴露于大氣壓。該方法還至少將所述襯底保持在大約大氣壓下,并且利用原子層沉積形成上覆于所述表面區域的膜,同時所述襯底被保持在大約大氣壓下。優...
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