本發明公開了一種電感耦合線圈，其包括至少兩組直徑不同且相 互嵌套的線圈繞組，所述線圈繞組中的至少兩組線圈繞組的上表面處 于不同高度的平面，以便獲得分布較為均勻的等離子體。此外，本發 明還公開了一種等離子體處理裝置，其包括反應腔室，在該反...