本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓移動(dòng)機(jī)械手,由軟件和控制器控制其移動(dòng)軌跡,包括:固定支架;升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在述固定支架上;手臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),手臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與固定支架滑動(dòng)連接,并與升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接;旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)在固定支...