一種可供多臺設備的新型安全循環水裝置，可用于真空機組、分子泵、離子泵、真空機械泵以及真空鍍膜機及各種爐體冷卻。其特征在于改單水泵為并聯水泵組、改單路水管為水流分流器。使用時既有工作水泵，又有備用水泵；既可使用水流分流器的一條水路，也可使...