本申請公開了一種基于多孔衍射干涉的多維誤差測量裝置及方法，涉及裝備測量領域，該基于多孔衍射干涉的多維誤差測量裝置中的測量組件包括衍射孔板；測量組件固定在目標裝備上，且與目標裝備的軸線方向平行；目標裝備在空間進行多自由度移動時帶動測量組件...