一種光刻機(jī)硅片臺(tái)雙臺(tái)交換系統(tǒng),該系統(tǒng)含有運(yùn)行于曝光工位的硅片臺(tái)和運(yùn)行于預(yù)處理
工位的硅片臺(tái),每個(gè)硅片臺(tái)各由一個(gè)六自由度微動(dòng)臺(tái)承載,硅片臺(tái)和六自由度微動(dòng)臺(tái)構(gòu)成一
個(gè)硅片臺(tái)組,兩個(gè)硅片臺(tái)組設(shè)置在同一長(zhǎng)方形的基臺(tái)上。在基臺(tái)每邊分別設(shè)有一組雙自...