一種多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法，其在于首先設(shè)計(jì)好多腔標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)，確定其濾波特性，再每次減少一個(gè)腔，確定其濾波特性，直到最后一個(gè)腔，并確認(rèn)其濾波特性；然后進(jìn)行逐個(gè)腔進(jìn)行加工調(diào)節(jié)濾波性的方法設(shè)計(jì)多腔標(biāo)準(zhǔn)具。采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明專利技術(shù)所述的多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法的有益效果為：解決傳統(tǒng)冷加工對(duì)多腔標(biāo)準(zhǔn)具控制每個(gè)腔透過峰較困難的問題，降低了加工成本；所制作的多腔標(biāo)準(zhǔn)具具有通帶帶寬大，通帶與非通帶之間陡直度大，以及透過峰具有平頂性的特性，可很好的滿足標(biāo)準(zhǔn)具的特殊運(yùn)用。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及光學(xué)領(lǐng)域，尤其涉及。
技術(shù)介紹
標(biāo)準(zhǔn)具是一種梳狀濾波光學(xué)元件，其主要技術(shù)指標(biāo)包括:自由光譜范圍、透過峰、精細(xì)度等。在光學(xué)，光通訊領(lǐng)域，標(biāo)準(zhǔn)有著廣泛的運(yùn)用。鎖波器是用于激光器鎖定波長(zhǎng)的一種器件，其核心元件就是標(biāo)準(zhǔn)具。這種運(yùn)用的大致原理如下:在正常情況下，激光器輸出波長(zhǎng)與標(biāo)準(zhǔn)具的透過峰重合，激光從激光器輸出后經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)具，再到運(yùn)用端。此時(shí)激光從激光器輸出的光功率與經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)具后光功率的比值處于極小值狀態(tài)。而當(dāng)激光器輸出波長(zhǎng)發(fā)生漂移時(shí)，由于標(biāo)準(zhǔn)具的濾波作用，激光經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)具后的光功率降低，激光從激光器輸出的光功率與經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)具后光功率的比值增大。這種功率降低現(xiàn)象被探測(cè)到并被處理后形成一個(gè)反饋信號(hào)。這個(gè)反饋信號(hào)再被提供給激光器波長(zhǎng)控制系統(tǒng)，為其修正激光器輸出波長(zhǎng)提供一個(gè)參考信號(hào)。有時(shí)為了提高反饋信號(hào)靈敏度，會(huì)選擇標(biāo)準(zhǔn)具透過率變化的極值點(diǎn)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)與激光器輸出波長(zhǎng)重合。總之，標(biāo)準(zhǔn)具在這方面的運(yùn)用中，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)具的指標(biāo)要求主要是透過峰和精細(xì)度這兩項(xiàng)。在某些特殊用途上，要求標(biāo)準(zhǔn)具透過峰具有一定的平頂性，如激光腔選模，InterLeaVer、WDM等。對(duì)于單腔標(biāo)準(zhǔn)具，精細(xì)度指標(biāo)與透過峰平頂性指標(biāo)是相互對(duì)立的兩項(xiàng)指標(biāo)。精細(xì)度指標(biāo)要求高了，則透過峰平頂性就差；反之透過峰平頂性好，則精細(xì)度指標(biāo)低。為了能同時(shí)滿足高精細(xì)度和透過峰平頂性好這兩項(xiàng)指標(biāo)，需要采用雙腔或多腔標(biāo)準(zhǔn)具。以單腔標(biāo)準(zhǔn)具相比，多腔標(biāo)準(zhǔn)具具有通帶帶寬更寬，通帶與非通帶之間具有更高的陡直度，透過峰具有平頂性等優(yōu)點(diǎn)外。以雙腔標(biāo)準(zhǔn)具為例。將兩個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具連接在一起實(shí)現(xiàn)雙腔標(biāo)準(zhǔn)具，為了實(shí)現(xiàn)透過峰平頂性，則需要嚴(yán)格控制這兩個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具的透過峰一致，也就是要嚴(yán)格控制這兩個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具的厚度。如果兩個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具的材料是一樣的，則兩個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具的厚度要一致。對(duì)于精細(xì)度為20的50GHz空氣隙標(biāo)準(zhǔn)具，兩個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具厚度偏差需要小于19nm，透過峰才具有比較理想的平頂性。這對(duì)于單純通過冷加工實(shí)現(xiàn)厚度控制的制作方案來說是很困難的，對(duì)于多腔標(biāo)準(zhǔn)具的加工則更具挑戰(zhàn)性。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于針對(duì)已有技術(shù)存在的不足，提供一種制作多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法，以實(shí)現(xiàn)多腔標(biāo)準(zhǔn)具各腔光學(xué)腔長(zhǎng)的精細(xì)控制，從而解決單純光學(xué)冷加工很難控制腔長(zhǎng)的難題。為達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)所提出的技術(shù)方案如下:，其特征在于，所述的多腔標(biāo)準(zhǔn)具至少2個(gè)腔，還包括如下步驟: 步驟1:首先設(shè)計(jì)好多腔標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)，確定其濾波特性，再每次減少一個(gè)腔，確定其濾波特性，直到最后一個(gè)腔，并確認(rèn)其濾波特性； 步驟2:加工過程中，首先加工第一個(gè)空氣腔，并根據(jù)設(shè)計(jì)出的單腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性，采用向空氣腔內(nèi)沖入一定氣壓的方法，將單腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性調(diào)節(jié)到與設(shè)計(jì)值一致； 步驟3:然后再在第一個(gè)空氣腔的基礎(chǔ)上，加工第二個(gè)空氣腔，并根據(jù)設(shè)計(jì)出的雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性，再次采用向第二個(gè)空氣腔內(nèi)沖入一定氣壓的方法，將雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性調(diào)節(jié)到與設(shè)計(jì)值一致；采用同樣的方法進(jìn)行逐個(gè)加工，最終完成與設(shè)計(jì)出的多腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性一致的多腔標(biāo)準(zhǔn)具。進(jìn)一步的，所述標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性可以為標(biāo)準(zhǔn)具透過峰中心波長(zhǎng)。進(jìn)一步的，所述標(biāo)準(zhǔn)具空氣腔為一個(gè)密閉腔，其具有一個(gè)沖氣體的小孔，并在沖好氣體后進(jìn)行密封。進(jìn)一步的，所述氣體可以是氮?dú)獾榷栊詺怏w。進(jìn)一步的，所述的第一個(gè)腔也可以是固體腔。采用上述技術(shù)方案，本專利技術(shù)所述的多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法的有益效果為:解決傳統(tǒng)冷加工對(duì)多腔標(biāo)準(zhǔn)具控制每個(gè)腔透過峰較困難的問題，降低了加工成本；所制作的多腔標(biāo)準(zhǔn)具具有通帶帶寬大，通帶與非通帶之間陡直度大，以及透過峰具有平頂性的特性，可很好的滿足標(biāo)準(zhǔn)具的特殊運(yùn)用。【附圖說明】圖1是實(shí)施例1雙腔標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是實(shí)施例2三腔標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是采用本方法設(shè)計(jì)的單、雙、三腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性曲線。【具體實(shí)施方式】以下結(jié)合【附圖說明】和實(shí)施例對(duì)本專利技術(shù)作進(jìn)一步說明。實(shí)施例1 如圖1所示，雙腔標(biāo)準(zhǔn)具包括一個(gè)固體腔102和一個(gè)空氣腔107。101、103、106為具有一定反射率的反射膜。105為融石英平片，108為間隔塊，104為充氣孔。加工過程中，采用冷加工，將間隔塊108大致加工到設(shè)計(jì)厚度后與固體腔102光膠或深化光膠在一起，并將融石英平片105與間隔塊108光膠或深化光膠在一起，構(gòu)成雙腔標(biāo)準(zhǔn)具。然后測(cè)試雙腔標(biāo)準(zhǔn)具透過峰，若所測(cè)透過峰與設(shè)計(jì)值有偏差，則通過充氣孔104向空氣腔107沖入一定氣壓的氮?dú)猓闺p腔標(biāo)準(zhǔn)具透過峰與設(shè)計(jì)值相符，最后將充氣孔密封，完成雙腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作。本實(shí)施例中，由于固體腔無法進(jìn)行充氣調(diào)節(jié)其透過峰，因此通過充氣，對(duì)空氣腔進(jìn)行透過峰調(diào)節(jié)，使其透過峰與固體腔一致，最終實(shí)現(xiàn)雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性。若上述實(shí)施例的固體腔改為空氣腔，即第一空氣腔，則可先通過充氣的方式，調(diào)節(jié)第一空氣腔的透過峰與設(shè)計(jì)值一致。再對(duì)第二空氣腔進(jìn)行充氣，調(diào)節(jié)雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性與設(shè)計(jì)值一致。實(shí)施例2 如圖2所示，三腔標(biāo)準(zhǔn)具包括第一空氣腔216、第二空氣腔214和第三空氣腔212。其中201、204、207、210為融石英平片，213、215、217為間隔塊，202、205、208、211為具有一定反射率的反射膜，203、206、209分別充氣孔。加工過程中，先將融石英平片201、205與間隔塊217進(jìn)行光膠或深化光膠，構(gòu)成一個(gè)單腔標(biāo)準(zhǔn)具，并對(duì)其進(jìn)行濾波特性測(cè)試，確定其透過峰，然后通過充氣孔203對(duì)第一空氣腔216沖入一定氣壓的氮?dú)猓{(diào)節(jié)其透過峰與設(shè)計(jì)值一致。完成調(diào)節(jié)后，將充氣孔203密封好，完成第一空氣腔216的制作。將間隔塊215與融石英平片204進(jìn)行光膠或深化光膠。再將間隔塊215和融石英平片207進(jìn)行光膠或深化光膠，構(gòu)成雙腔標(biāo)準(zhǔn)具。對(duì)雙腔標(biāo)準(zhǔn)具進(jìn)行濾波特性測(cè)試。然后通過充氣孔206對(duì)第二空氣腔214沖入一定氣壓的氮?dú)猓{(diào)節(jié)其濾波特性與設(shè)計(jì)值一致。完成調(diào)節(jié)后，將充氣孔206密封好，完成第二空氣腔的制作。將間隔塊213與融石英平片207進(jìn)行光膠或深化光膠；再將間隔塊213和融石英平片210進(jìn)行光膠或深化光膠，構(gòu)成三腔標(biāo)準(zhǔn)具。對(duì)三腔標(biāo)準(zhǔn)具進(jìn)行濾波特性測(cè)試。然后通過充氣孔209對(duì)第三空氣腔212沖入一定氣壓的氮?dú)猓{(diào)節(jié)其濾波特性與設(shè)計(jì)值一致。完成調(diào)節(jié)后，將充氣孔209密封好，完成第三空氣腔的制作。通過上述步驟完成三腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作，對(duì)于四腔、五腔等更多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法與上述方法類似，可依此類推。圖3為采用本方法設(shè)計(jì)的單、雙、三腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性曲線對(duì)比圖。盡管結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方案具體展示和介紹了本專利技術(shù)，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，在不脫離所附權(quán)利要求書所限定的本專利技術(shù)的精神和范圍內(nèi)，在形式上和細(xì)節(jié)上對(duì)本專利技術(shù)做出的各種變化，均為本專利技術(shù)的保護(hù)范圍。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法，其特征在于，所述的多腔標(biāo)準(zhǔn)具至少2個(gè)腔，還包括如下步驟：步驟1：首先設(shè)計(jì)好多腔標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)，確定其濾波特性，再每次減少一個(gè)腔，確定其濾波特性，直到最后一個(gè)腔，并確認(rèn)其濾波特性；步驟2：加工過程中，首先加工第一個(gè)空氣腔，并根據(jù)設(shè)計(jì)出的單腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性，采用向空氣腔內(nèi)沖入一定氣壓的方法，將單腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性調(diào)節(jié)到與設(shè)計(jì)值一致；步驟3：然后再在第一個(gè)空氣腔的基礎(chǔ)上，加工第二個(gè)空氣腔，并根據(jù)設(shè)計(jì)出的雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性，再次采用向第二個(gè)空氣腔內(nèi)沖入一定氣壓的方法，將雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性調(diào)節(jié)到與設(shè)計(jì)值一致；采用同樣的方法進(jìn)行逐個(gè)加工，最終完成與設(shè)計(jì)出的多腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性一致的多腔標(biāo)準(zhǔn)具。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種多腔標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法，其特征在于，所述的多腔標(biāo)準(zhǔn)具至少2個(gè)腔，還包括如下步驟: 步驟1:首先設(shè)計(jì)好多腔標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)，確定其濾波特性，再每次減少一個(gè)腔，確定其濾波特性，直到最后一個(gè)腔，并確認(rèn)其濾波特性； 步驟2:加工過程中，首先加工第一個(gè)空氣腔，并根據(jù)設(shè)計(jì)出的單腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性，采用向空氣腔內(nèi)沖入一定氣壓的方法，將單腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性調(diào)節(jié)到與設(shè)計(jì)值一致； 步驟3:然后再在第一個(gè)空氣腔的基礎(chǔ)上，加工第二個(gè)空氣腔，并根據(jù)設(shè)計(jì)出的雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性，再次采用向第二個(gè)空氣腔內(nèi)沖入一定氣壓的方法，將雙腔標(biāo)準(zhǔn)具濾波特性調(diào)節(jié)到與設(shè)計(jì)值一致；采用同樣的方法進(jìn)行逐個(gè)...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：吳礪，張新漢，潘忠靈，胡豪成，林磊，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：福州高意通訊有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：福建;35