本實用新型專利技術涉及一種波長調諧移相干涉系統，由激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)、參考鏡(5)、成像透鏡(6)和CCD(7)構成，按照激光光路方向依次設置激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)和參考鏡(5)，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡(4)兩側分別設置成像透鏡(6)和被測鏡(9)。本系統選用波長可調諧的半導體激光器作為光源，同時利用其波長可調諧的特點，控制注入電流，產生連續的、速率可調的相移，實現移相器的作用。
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種利用移相干涉測量技術進行測試的波長調諧移相干涉系統，屬于干涉儀領域。
技術介紹
移相干涉術是以光波波長為單位的非接觸式測量技術，具有極高的測量精度和靈敏度，被認為是檢測精密元件的最準確技術之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現象，并開始有計劃的控制干涉現象。但是直到I960年第一臺紅寶石激光器的研制成功，干涉現象才開始廣泛應用于測量領域。傳統的干涉測量技術主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計算測量結果的方式進行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領域中的相位探測技術引入到光學測量中，使經典的干涉測量技術從微米級跨入納米級，實現光學計量測試的重大突破。80年代以來，隨著激光技術、光電探測技術、計算機技術、圖像處理技術和精密機械等技術在光學測試中的逐步應用，移相干涉技術得到進一步發展，實現了實時、快速、多參數、自動化的測量。正是因為移相干涉測試技術的高精度和高靈敏性，輕微的擾動都會造成干涉圖的扭曲、抖動和模糊，這使得很多測量都需要在封閉室內的隔振臺上才能進行，嚴重限制了移相干涉技術在現場測試中的應用。如何消除干涉測量中的振動影響，實現現場測試，是當前干涉測量方面的主要研究課題之一。
技術實現思路
為了克服現有技術的不足，解決好現有技術的問題，彌補現有目前市場上現有產品的不足。本技術提供了一種波長調諧移相干涉系統，由激光器、擴束透鏡、準直透鏡、分光棱鏡、參考鏡、成像透鏡和CCD構成，按照激光光路方向依次設置激光器、擴束透鏡、準直透鏡、分光棱鏡和參考鏡，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡兩側分別設置成像透鏡和被測鏡。優選的，上述CXD設置在成像透鏡外側。優選的，上述參考鏡連接有壓電陶瓷驅動器。優選的，上述壓電陶瓷驅動器配設有驅動裝置。優選的，上述參考鏡設置在壓電陶瓷驅動器控制的平臺上。本系統選用波長可調諧的半導體激光器作為光源，同時利用其波長可調諧的特點，控制注入電流，產生連續的、速率可調的相移，實現移相器的作用。【附圖說明】圖1為本技術結構示意圖。附圖標記:1_激光器；2_擴束透鏡；3_準直透鏡；4_分光棱鏡；5_參考鏡；6-成像透鏡；7-(XD ;8-壓電陶瓷驅動器；9-被測鏡。【具體實施方式】為了便于本領域普通技術人員理解和實施本技術，下面結合附圖及【具體實施方式】對本技術作進一步的詳細描述。如圖1所示，本技術提供的波長調諧移相干涉系統，由激光器1、擴束透鏡2、準直透鏡3、分光棱鏡4、參考鏡5、成像透鏡6和(XD7構成，按照激光光路方向依次設置激光器1、擴束透鏡2、準直透鏡3、分光棱鏡4和參考鏡5，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡4兩側分別設置成像透鏡6和被測鏡9。(XD7設置在成像透鏡6外側。參考鏡5連接有壓電陶瓷驅動器8。壓電陶瓷驅動器8配設有驅動裝置。參考鏡5設置在壓電陶瓷驅動器8控制的平臺上。時頻域雙重分析抗干擾移相干涉測量方法對移相方式沒有限制，為減小由于額外的機械振動和干擾引入的誤差，本系統選用波長可調諧的半導體激光器作為光源，同時利用其波長可調諧的特點，控制注入電流，產生連續的、速率可調的相移，實現移相器的作用。為了評估系統抗振性能，將參考鏡至于壓電陶瓷推動的平臺上，利用電壓控制壓電陶瓷的伸縮變化，定量模擬環境振動的頻率和振幅，分析不同振動條件下的測量精度。以上所述之【具體實施方式】為本技術的較佳實施方式，并非以此限定本技術的具體實施范圍，本技術的范圍包括并不限于本【具體實施方式】，凡依照本技術之形狀、結構所作的等效變化均在本技術的保護范圍內。【主權項】1.一種波長調諧移相干涉系統，其特征在于:所述波長調諧移相干涉系統由激光器(I)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)、參考鏡(5)、成像透鏡(6)和CCD (7)構成，按照激光光路方向依次設置激光器(I)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)和參考鏡(5)，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡(4)兩側分別設置成像透鏡(6)和被測鏡(9)。2.根據權利要求1所述的波長調諧移相干涉系統，其特征在于:所述CCD(7)設置在成像透鏡(6)外側。3.根據權利要求1所述的波長調諧移相干涉系統，其特征在于:所述參考鏡(5)連接有壓電陶瓷驅動器(8)。4.根據權利要求3所述的波長調諧移相干涉系統，其特征在于:所述壓電陶瓷驅動器(8)配設有驅動裝置。5.根據權利要求1所述的波長調諧移相干涉系統，其特征在于:所述參考鏡(5)設置在壓電陶瓷驅動器(8)控制的平臺上。【專利摘要】本技術涉及一種波長調諧移相干涉系統，由激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)、參考鏡(5)、成像透鏡(6)和CCD(7)構成，按照激光光路方向依次設置激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)和參考鏡(5)，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡(4)兩側分別設置成像透鏡(6)和被測鏡(9)。本系統選用波長可調諧的半導體激光器作為光源，同時利用其波長可調諧的特點，控制注入電流，產生連續的、速率可調的相移，實現移相器的作用。【IPC分類】G02B26/06, G01B9/02【公開號】CN204881513【申請號】CN201520297068【專利技術人】王靈浩 【申請人】王靈浩【公開日】2015年12月16日【申請日】2015年5月4日本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種波長調諧移相干涉系統，其特征在于：所述波長調諧移相干涉系統由激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)、參考鏡(5)、成像透鏡(6)和CCD(7)構成，按照激光光路方向依次設置激光器(1)、擴束透鏡(2)、準直透鏡(3)、分光棱鏡(4)和參考鏡(5)，在與激光光路方向相互垂直方向上的分光棱鏡(4)兩側分別設置成像透鏡(6)和被測鏡(9)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：王靈浩，
申請(專利權)人：王靈浩，
類型：新型
國別省市：福建;35
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。