【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
用于多晶硅生產中含氯硅烷廢氣淋洗廢水的專用處理系統，其特征在于：含氯硅烷廢氣淋洗產生的廢水(1)從污水調節罐(2)進口端進入，所述污水調節罐(2)的出口端與污泥池(4)的一個入口端連接，所述污泥池(4)出口端與壓濾機(5)入口端連接，所述壓濾機(5)的一個出口端與中和罐(7)的一個入口端連接，壓濾機(5)另一個出口端排出廢渣(6)，所述中和罐(7)出口端與過濾器(8)入口端連接，所述過濾器(8)的一個出口端與出水罐(10)入口端連接，過濾器(8)另一個出口端排出濾渣(9)，所述濾渣(9)通過污泥池(4)的第二個入口端進入污泥池(4)內，所述出水罐(10)一個出口端與盛納指標合格水容器連接，出水罐(10)另一個出口端與應急水池(11)入口端連接，所述應急水池(11)出口端與污泥池(4)的第三個入口端連接，濃硫酸儲罐(3)的一個出口端與污泥池(4)的第四個入口端連接，濃硫酸儲罐(3)的另一個出口端與中和罐(7)的另一個入口端連接。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：蔣曉龍，茍文娜，張輝，屈杰，張鵬濤，趙輝，張俊峰，
申請(專利權)人：陜西天宏硅材料有限責任公司，
類型：發明
國別省市：陜西;61
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