本實用新型專利技術提供了一種c向藍寶石晶棒a向平邊加工定向輔助裝置。該定向輔助裝置為直角梯形臺結構，包括斜面、底面和前面，斜面為空心半圓柱面，空心半圓柱的中心軸與底面呈57°36’夾角，與前面呈32°24’夾角，直角梯形臺結構的高度與測量板的高度相同，設置在XRD衍射儀樣品臺上，前面緊貼XRD衍射儀測量板的后面。本實用新型專利技術能夠使r向相對平邊位置一致的操作更簡便、效率更高、定位更準確。
【技術實現步驟摘要】
【專利說明】(一)
本技術提供了一種藍寶石晶棒加工
，具體涉及一種r向與平邊位置由特殊要求的c向藍寶石晶棒a向平邊的定位輔助裝置。(二)
技術介紹
藍寶石(Sapphire，又稱白寶石，分子式為A1203)單晶是一種用途廣泛的基片材料，是當前藍、紫、白光發光二極管(LED)和藍光激光器(LD)工業的首選基片(需首先在藍寶石基片上外延氮化鎵薄膜)，也是重要的超導薄膜基片。藍寶石單晶是一種典型的各向異性晶體，不同方向上晶體性質不同，因此不同晶向的藍寶石材料用途也不一樣。藍寶石晶體最常用的晶面主要有c、a、m和r面，其中a、m與c面垂直，相鄰a面與m面間的夾角為30°，r面與c面間夾角為57° 36'，]"面與111面間夾角為32° 24'。^面為藍寶石晶體中的非極性面，因此r面在藍寶石器件中的位置不同，藍寶石器件的力學、熱學、電學以及光學等性能將產生很大差異，這也將影響藍寶石器件的后續加工性能、加工效率和加工成品率。為了使藍寶石晶棒及后續藍寶石制品的晶體結構一致，目前較常用的方法是在藍寶石晶棒上加工一個a向面，作為加工成晶片后的定位邊，使藍寶石晶片的r向位置保持一致。通常，c向藍寶石晶棒a向平邊的確定方法為:首先將晶棒放置在X射線衍射儀樣品臺上，通過旋轉晶棒找到六個a向的位置，并將它們標示在晶棒端面上；然后找到晶棒上r向所在的位置，并將其標示在晶棒端面；最后根據要求的r面與平邊a面的位置關系，選擇一個a面進行平邊加工。這種確定平邊的方法工藝過程繁瑣，需要先后進行a向和r向的檢測，且每次檢測之前均要對XRD衍射儀相應部位進行調位，檢測過程效率低，檢測時間較長。(三)
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種能夠使r向相對平邊位置一致的操作更簡便、效率更高、定位準確的c向藍寶石晶棒a向平邊加工定向輔助裝置。本技術的目的是這樣實現的:該定向輔助裝置為直角梯形臺結構，包括斜面1、底面2和前面3，斜面1為空心半圓柱面，空心半圓柱的中心軸與底面2呈57° 36’夾角，與前面3呈32° 24’夾角，直角梯形臺結構的高度與測量板的高度相同，設置在XRD衍射儀樣品臺上，前面3緊貼XRD衍射儀測量板的后面。本技術通過在XRD衍射儀上安置一個定向輔助裝置，首先找到一個r向，并在晶棒上標出所對應的位置，然后再標示出與其垂直的a向晶面位置，最后可根據要求選定一個方向進行a向定位邊的加工。本技術的有益效果在于:(1)通過安放輔助裝置，可在普通定向儀上快速、簡便、準確地找到藍寶石晶棒中的r向位置；(2)找到r向后，利用r面與a面的特殊位置關系在藍寶石晶棒端面c面上標示a面，藍寶石晶棒端面只有一個標示面，避免出現選錯a面的問題；(3)平邊確定及加工工藝過程簡單，只需一次定向，就能準確找到所需a向平邊的位置，簡化了定向過程，顯著縮短藍寶石晶棒定位面加工所需時間；(4)加工平邊后，晶棒內r向位置相同，可以顯著提高后續加工的成品率，降低藍寶石晶片的生廣制造成本。(四)【附圖說明】圖1為本技術的結構示意圖。(五)【具體實施方式】下面結合附圖和實施例對本技術進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本專利技術，并不用于限定本專利技術。結合圖1，本實施例定向輔助裝置為直角梯形臺結構，包括斜面1、底面2和前面3，斜面1為空心半圓柱面，空心半圓柱的中心軸與底面2呈57° 36’夾角，與前面3呈32° 24’夾角，直角梯形臺結構的高度與測量板的高度相同，設置在XRD衍射儀樣品臺上，前面3緊貼XRD衍射儀測量板的后面。本實施例具體工藝過程如下:(1)安放定向輔助裝置:將一個中心軸與X射線定向儀樣品臺平面成57° 36r，與X射線定向儀測量板平面成32° 24r的斜面為空心半圓柱的直角梯形臺安放在XRD衍射儀樣品臺上；(2) XRD衍射儀調位:將XRD衍射儀的入射角和衍射角分別調整到r向的Θ(12。48，)和 2Θ (25。36，)處;(3)放置晶棒:將端面為c面的藍寶石晶棒放置在定向輔助裝置的空心半圓柱內，使晶棒的中心軸平行于定向輔助裝置的中心軸；(4)旋轉晶棒:以晶棒的中心軸為中心旋轉晶棒，旋轉過程中晶棒的中心軸始終平行于定向輔助裝置的空心半圓柱的中心軸；(5)檢測r向:旋轉晶棒，找到r面反射的X射線出現峰值的位置，并在晶棒上標示出來；(6)標示a面:將晶棒固定在r面反射的X射線出現峰值的位置，以晶棒中心軸為中心、沿晶棒圓周方向，在與r向逆時針方向相間90°或與r軸順時針方向相間90°的位置，把相應的a面標示在藍寶石晶棒端面c面上；(7)定位邊加工:根據要求進行a向定位邊加工。以上內容是結合具體的優選實施方式對本專利技術所做的進一步詳細說明，不能認定本專利技術的具體實施只限于這些說明。對于具有本專利技術所屬領域基礎知識的人員來講，可以很容易對本專利技術進行變更和修改，這些變更和修改都應當視為屬于本專利技術所提交的權利要求書確定的專利保護范圍。【主權項】1.一種c向藍寶石晶棒a向平邊加工定向輔助裝置，其特征在于該定向輔助裝置為直角梯形臺結構，包括斜面、底面和前面，斜面為空心半圓柱面，空心半圓柱的中心軸與底面呈57° 36’夾角，與前面呈32° 24’夾角，直角梯形臺結構的高度與測量板的高度相同，設置在XRD衍射儀樣品臺上，前面緊貼XRD衍射儀測量板的后面?！緦＠勘炯夹g提供了一種c向藍寶石晶棒a向平邊加工定向輔助裝置。該定向輔助裝置為直角梯形臺結構，包括斜面、底面和前面，斜面為空心半圓柱面，空心半圓柱的中心軸與底面呈57°36’夾角，與前面呈32°24’夾角，直角梯形臺結構的高度與測量板的高度相同，設置在XRD衍射儀樣品臺上，前面緊貼XRD衍射儀測量板的后面。本技術能夠使r向相對平邊位置一致的操作更簡便、效率更高、定位更準確?！綢PC分類】B28D5/00, B28D7/00【公開號】CN205021837【申請號】CN201520725875【專利技術人】左洪波, 楊鑫宏, 張學軍, 袁志勇 【申請人】哈爾濱奧瑞德光電技術有限公司【公開日】2016年2月10日【申請日】2015年9月19日本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種c向藍寶石晶棒a向平邊加工定向輔助裝置，其特征在于該定向輔助裝置為直角梯形臺結構，包括斜面、底面和前面，斜面為空心半圓柱面，空心半圓柱的中心軸與底面呈57°36’夾角，與前面呈32°24’夾角，直角梯形臺結構的高度與測量板的高度相同，設置在XRD衍射儀樣品臺上，前面緊貼XRD衍射儀測量板的后面。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：左洪波，楊鑫宏，張學軍，袁志勇，
申請(專利權)人：哈爾濱奧瑞德光電技術有限公司，
類型：新型
國別省市：黑龍江;23
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