一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，所述瓶體由外層到內層分別設有導熱油腔體、真空腔體和冷指腔體；所述導熱油腔體外部一側下部設有用于送入導熱油的閥門一，所述導熱油腔體外部另一側上部設有用于送出導熱油的閥門二；所述真空腔體上部設有用于連接真空泵的真空閥門；所述冷指腔體通過連接磨口與冷卻器連接，所述冷卻器頂部設有用于送入冷卻液的閥門三，所述冷卻器上還設有用于送出冷卻液的閥門四。本實用新型專利技術提供的一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，不僅實現了四(二甲胺)鋯的有效提純(純度超過99.99％)，過程中加熱溫度小于100℃，而且保持穩定，有效減低了四(二甲胺)鋯的熱分解可能性。提高了收率，降低了成本。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及四(二甲胺)鋯的分離、提純領域，特別涉及一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置。
技術介紹
隨著IC集成度的進一步提高，器件尺寸不斷減小，四(二甲胺)鋯化合物是一類越來越受到關注的材料，鋯氧化物薄膜是很可能用于COMS和下一代DRAM中的候選高介電常數(高K)絕緣層材料。四(二甲胺)鋯的分離、提純有報道用蒸餾的方法進行提純，雖然能達到一定的提純目的，但由于蒸餾過程中較高的加熱底溫(大于120℃)，造成四(二甲胺)鋯的大量分解，收率較低，增加了工藝成本，同時由于其為低熔點固體，會造成管路系統堵塞，不利于工藝參數的控制，甚至出現安全事故。又如CN204676015U公開了一種二甲胺回收裝置，包括臥式反應蒸發釜、一級精餾塔、二級精餾塔、一級冷凝器、二級冷凝器、尾氣冷凝器、氣液分離器、吸收液中間罐、清水中間罐、回流中間罐、回流泵、進料泵、吸收液泵，所述含二甲胺廢水和液堿在臥式反應蒸發釜進行反應，產生的二甲胺氣體在一級精餾塔和二級精餾塔兩重精餾，本技術通過兩級精餾對二甲胺逐步提純，二甲胺提純濃度高，二甲胺的最終提純濃度高達45％，提純后的釜殘液作為吸收液，進一步提高二甲胺的回收率；利用臥式反應蒸發釜為二級精餾塔提供能源，節約能源；將半成品回流進一級精餾塔循環提純使得二甲胺的提純濃度高。又如CN104402734A公開了一種煙嘧磺隆廢水中回收二甲胺的方法，將含二甲胺鹽酸鹽的煙嘧磺隆廢水與氫氧化鈉水溶液混合，充分反應后，加熱蒸餾出二甲胺，經多次水洗吸附，得回收的二甲胺水溶液。回收的二甲胺水溶液的濃度可達到30％～50％，可用于煙嘧磺隆生產。本專利技術的二甲胺回收方法簡單，操作方便，解決了從含二甲胺鹽酸鹽的煙嘧磺隆廢水中回收二甲胺的技術難題，能產生明顯的經濟效益和社會效益，本方法適用于工業化生產。又如CN203794732U公開了一種用于廢水回收二甲胺的回收裝置，包括廢水池、二甲胺溶液存儲罐，還包括鼓泡池、熱驅動膜蒸發器、蒸發室、降膜蒸發器、汽水分離器、膜分離器、冷凝器、冷卻器和回用水水池。本技術的結構簡單，設有降膜蒸發器，膜分離器，可以實現低溫熱源加熱，可以在廢水沸點以下汽化廢水回收二甲胺，提高了通用性，而且其使用方便快捷，運行能耗較低，節能減排效果明顯，可以同時回收二甲胺和純水，并且一定程度上有效的提高二甲胺的回收效率，同時也降低了回收成本，又實現了無毒清潔生產回收利用，適用性強，實用性好。
技術實現思路
為克服上述現有技術的不足，本技術提供一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，所述瓶體由外層到內層分別設有導熱油腔體、真空腔體和冷指腔體；所述導熱油腔體一側下部設有用于送入導熱油的閥門一，所述導熱油腔體另一側上部設有用于送出導熱油的閥門二；所述真空腔體上部設有用于連接真空泵的真空閥門；所述冷指腔體通過連接磨口與冷卻器連接，所述冷卻器頂部設有用于送入冷卻液的閥門三，所述冷卻器上還設有用于送出冷卻液的閥門四。優選地，所述導熱油腔體外側壁上設有把手。優選地，所述導熱油腔體外側底部設有支架。優選地，所述導熱油腔體上設有溫度計。優選地，所述真空腔體上設有真空表。本技術提供一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，通過采用該裝置，不僅實現了四(二甲胺)鋯的有效提純；降低了四(二甲胺)鋯的熱分解，提高了收率；同時純化過程穩定，利于工藝參數的控制。與現有技術相比，本技術的有益效果是：通過本技術方案，其一是，保證了四(二甲胺)鋯的純度(大于99.99％)；其二是，提高了四(二甲胺)鋯的提純收率，(大于90％)；純化過程穩定(溫度30-100℃，真空度1-10mmHg)。附圖說明圖1為一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置結構示意圖；具體實施方式下面結合具體實施方式，進一步闡明本技術，應理解下述具體實施方式僅用于說明本技術而不用于限制本技術的范圍。實施例1如圖所示，一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，所述瓶體由外層到內層分別設有導熱油腔體8、真空腔體9和冷指腔體10；所述導熱油腔體8外側壁上設有方便搬運的把手13，所述導熱油腔體8外側底部設有用于固定安放的支架12，所述導熱油腔體8上設有溫度計7，所述導熱油腔體8外部一側下部設有用于送入導熱油的閥門一4，所述導熱油腔體8外部另一側上部設有用于送出導熱油的閥門二5；所述真空腔體9上部設有用于連接真空泵的真空閥門3，所述真空腔體9上設有真空表14；所述冷指腔體10通過連接磨口6與冷卻器11連接，所述冷卻器11頂部設有用于送入冷卻液的閥門三1，所述冷卻器11上還設有用于送出冷卻液的閥門四2。四(二甲胺)鋯通過連接磨口6加入到真空腔體9中；通過真空閥門3連接真空泵，
導熱油經過閥門一4進入導熱油腔體8，由閥門二5回到循環導熱油爐，并由溫度計7監控溫度。冷卻液由閥門三1進入冷卻器11，并經閥門四2進入冷卻循環泵。在加熱、抽真空過程中，四(二甲胺)鋯不斷蒸發，并在冷指腔體10處不斷累積，實現粗、純品的分離。除上述實施例外，本技術還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本技術要求的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，其特征在于：所述瓶體由外層到內層分別設有導熱油腔體(8)、真空腔體(9)和冷指腔體(10)；所述導熱油腔體(8)外部一側下部設有用于送入導熱油的閥門一(4)，所述導熱油腔體(8)外部另一側上部設有用于送出導熱油的閥門二(5)；所述真空腔體(9)上部設有用于連接真空泵的真空閥門(3)；所述冷指腔體(10)通過連接磨口(6)與冷卻器(11)連接，所述冷卻器(11)頂部設有用于送入冷卻液的閥門三(1)，所述冷卻器(11)上還設有用于送出冷卻液的閥門四(2)。

【技術特征摘要】
1.一種四(二甲胺)鋯升華提純裝置，包括瓶體，其特征在于：所述瓶體由外層到內層分別設有導熱油腔體(8)、真空腔體(9)和冷指腔體(10)；所述導熱油腔體(8)外部一側下部設有用于送入導熱油的閥門一(4)，所述導熱油腔體(8)外部另一側上部設有用于送出導熱油的閥門二(5)；所述真空腔體(9)上部設有用于連接真空泵的真空閥門(3)；所述冷指腔體(10)通過連接磨口(6)與冷卻器(11)連接，所述冷卻器(11)頂部設有用于送入冷卻液的閥門三(1)，所述冷卻器(11)上還設有...

【專利技術屬性】
技術研發人員：不公告發明人，
申請(專利權)人：蘇州復納電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32