一種懸掛式旋轉靶座制造技術

本實用新型專利技術涉及一種懸掛式旋轉靶座，包括轉軸、皮帶輪、固定螺母、推力軸承、推力軸承座、固定座和懸掛裝置，固定螺母位于皮帶輪下面并抵壓推力軸承，推力軸承安裝在固定于所述固定座上的推力軸承座中，固定座內設置有上軸承和下軸承，固定座墊在其下方的非導電密封墊圈一起固定在真空鍍膜箱體上，懸掛裝置位于真空鍍膜箱體內，皮帶輪、固定螺母、推力軸承、上軸承、下軸承和懸掛裝置依次安裝在所述轉軸上，皮帶輪通過電機驅動所述轉軸旋轉。采用本實用新型專利技術，能夠解決現有靶管因靶座的同心度不同而卡死停機以及銅套磨損影響現場清潔度和生產穩定性的問題。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及真空鍍膜設備領域，具體地說涉及一種懸掛式旋轉靶座。
技術介紹
在現有真空鍍膜設備中，用于固定旋轉靶管的靶座固定在真空鍍膜箱體的上下兩側上。由于真空鍍膜箱體比較高，只要固定在兩側靶座上的靶管同心度有一點小偏差，就容易造成靶管卡死停機，影響生產。此外，現有靶座的固定座上方設有銅圈，皮帶輪下側上具有很多孔，彈簧放置在該孔中，銅套套設在彈簧上，該銅套通過彈簧抵壓銅圈，隨著皮帶輪的旋轉，銅套與銅圈摩擦配合作為電極。但是，銅套與銅圈摩擦會產生很多碎屑，影響現場清潔度，并且銅套隨著時間磨損會越來越大，因此需要停機更換，這也會影響生產穩定性。
技術實現思路
本技術旨在提供一種懸掛式旋轉靶座，以解決現有靶管因靶座的同心度不同而卡死停機以及銅套磨損影響現場清潔度和生產穩定性的問題。為此，本技術采用的具體方案如下：一種懸掛式旋轉靶座，包括轉軸、皮帶輪、固定螺母、推力軸承、推力軸承座、固定座、非導電密封墊圈和懸掛裝置，所述固定螺母位于所述皮帶輪下面并抵壓所述推力軸承，所述推力軸承安裝在固定于所述固定座上的所述推力軸承座中，所述固定座內設置有上軸承和下軸承，所述固定座與墊在其下方的非導電密封墊圈一起固定在真空鍍膜箱體上，所述懸掛裝置位于真空鍍膜箱體內，所述的皮帶輪、固定螺母、推力軸承、上軸承、下軸承和懸掛裝置依次安裝在所述轉軸上，所述皮帶輪通過電機驅動所述轉軸旋轉。進一步地，所述轉軸是中空的，用于通水的中空螺栓從其中穿過。進一步地，所述非導電密封墊圈由聚四氟乙烯制成。進一步地，所述的轉軸、皮帶輪、固定螺母、推力軸承、推力軸承座、固定座和懸掛裝置均由不銹鋼制成。本技術通過采用上述技術方案，具有的有益效果是：由于靶管是懸掛在懸掛裝置下面，因此不會出現卡死停機的情況。并且，推力軸承可以與固定螺母配合作為電極，由此解決了現有靶座采用銅套與銅圈摩擦配合作為電極帶來的現場清潔度不好和生產不穩定的問題。附圖說明圖1示出了本技術的立體示意圖；圖2示出了沿圖1的A-A方向截取的剖視圖。具體實施方式為進一步說明各實施例，本技術提供有附圖。這些附圖為本技術揭露內容的一部分，其主要用以說明實施例，并可配合說明書的相關描述來解釋實施例的運作原理。配合參考這些內容，本領域普通技術人員應能理解其他可能的實施方式以及本技術的優點。圖中的組件并未按比例繪制，而類似的組件符號通常用來表示類似的組件。現結合附圖和具體實施方式對本技術進一步說明。參照圖1和2，描述懸掛式旋轉靶座1。懸掛式旋轉靶座1包括轉軸10、皮帶輪20、固定螺母30、推力軸承40、推力軸承座50、固定座60、不導電密封墊圈70和懸掛裝置80。固定螺母30位于皮帶輪20下面并抵壓推力軸承40，推力軸承40安裝在固定于固定座60上的推力軸承座50中。固定座60內設置有上軸承610、下軸承620。固定座60與墊在其下面的不導電密封墊片70一起固定在真空鍍膜箱體（未示出）上，懸掛裝置80位于該真空鍍膜箱體內。皮帶輪20、固定螺母30、推力軸承40、上軸承610、下軸承620和懸掛裝置80安裝在轉軸10上，皮帶輪20通過電機驅動轉軸10旋轉，固定螺母30、懸掛裝置80隨著轉軸10旋轉。靶管（未示出）懸掛于懸掛裝置80下面，因此，其也隨著轉軸10旋轉。此外，轉軸10是中空的，中空螺栓90從其中穿過。中空螺栓90用于通水，以將水引入在真空鍍膜箱體內的冷卻水管中。中空螺栓90是固定的，即，其不隨著轉軸10旋轉。此外，非導電密封墊圈70由聚四氟乙烯制成，其一方面用于使固定座60與真空鍍膜箱體電隔離，另一方面使真空不會從固定座和真空鍍膜箱體之間泄露。此外，轉軸10、皮帶輪20、固定螺母30、推力軸承40、推力軸承座50、固定座60和懸掛裝置80均由不銹鋼制成。在本技術中，推力軸承40可以承受懸掛于懸掛裝置80下面的靶管的重力，并且固定螺母30與推力軸承40之間的摩擦配合作為電極可以取代現有靶座中的彈簧銅套與銅圈摩擦配合作為電極。因此，采用本技術，能夠解決現有靶管因靶座的同心度不同而卡死停機以及銅套磨損影響現場清潔度和生產穩定性的問題。盡管結合優選實施方案具體展示和介紹了本技術，但所屬領域的技術人員應該明白，在不脫離所附權利要求書所限定的本技術的精神和范圍內，在形式上和細節上可以對本技術做出各種變化，均為本技術的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種懸掛式旋轉靶座，其特征在于：其包括轉軸、皮帶輪、固定螺母、推力軸承、推力軸承座、固定座、非導電密封墊圈和懸掛裝置，所述固定螺母位于所述皮帶輪下面并抵壓所述推力軸承，所述推力軸承安裝在固定于所述固定座上的所述推力軸承座中，所述固定座內設置有上軸承和下軸承，所述固定座與墊在其下方的非導電密封墊圈一起固定在真空鍍膜箱體上，所述懸掛裝置位于真空鍍膜箱體內，所述的皮帶輪、固定螺母、推力軸承、上軸承、下軸承和懸掛裝置依次安裝在所述轉軸上，所述皮帶輪通過電機驅動所述轉軸旋轉。

【技術特征摘要】
1.一種懸掛式旋轉靶座，其特征在于：其包括轉軸、皮帶輪、固定螺母、推力軸承、推力軸承座、固定座、非導電密封墊圈和懸掛裝置，所述固定螺母位于所述皮帶輪下面并抵壓所述推力軸承，所述推力軸承安裝在固定于所述固定座上的所述推力軸承座中，所述固定座內設置有上軸承和下軸承，所述固定座與墊在其下方的非導電密封墊圈一起固定在真空鍍膜箱體上，所述懸掛裝置位于真空鍍膜箱體內，所述的皮帶輪、固定螺母、推力軸承、上軸承...

【專利技術屬性】
技術研發人員：鐘賜春，
申請(專利權)人：廈門萬德宏光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：福建;35