一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，包括密封的反應(yīng)器與沉積罐，所述反應(yīng)器與沉積罐之間通過真空管道連通，所述反應(yīng)器內(nèi)置有若干層用于加熱粗鈦的金屬網(wǎng)，同時(shí)該反應(yīng)器內(nèi)還安裝有伸入到反應(yīng)器底部的碘蒸氣輸送管道；所述沉積罐內(nèi)置有用于沉積純鈦的加熱棒，同時(shí)該沉積罐內(nèi)還設(shè)有用于導(dǎo)出碘蒸氣的導(dǎo)出管，所述加熱棒包括加熱芯與沉積棒，所述加熱芯的外圍設(shè)有沉積棒。本實(shí)用新型專利技術(shù)的碘化鈦的生成與分解分別在不同的空間，可增加海綿鈦的純度，提高生產(chǎn)速率和降低生產(chǎn)成本。加熱過程和加料過程均采用自動(dòng)恒溫并實(shí)現(xiàn)對流量、壓力控制，加熱棒與沉積棒容易分離。

Electronic pure titanium sponge production device

The production device of the utility model relates to an electronic grade titanium sponge, including reactor and sedimentation tank sealing, between the reactor and the deposition tank through the vacuum pipe, the inside of the reactor is provided with a plurality of layers for heating crude titanium metal mesh, while the reactor is installed into the bottom the reactor iodine vapor pipeline; the deposition tank with built-in heating for deposition of pure titanium rod, while the deposition tank is also provided with a lead to the iodine vapor outlet pipe, wherein a heating rod comprises a heating core and the deposition of the heating core rod, the periphery is provided with a deposition rod. The generation and the decomposition of the titanium iodide in the utility model are respectively in different space, the purity of the titanium sponge can be increased, the production rate can be increased and the production cost can be reduced. The heating process and feeding process are controlled by automatic constant temperature and flow and pressure control.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于金屬材料的提純
，具體涉及一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置。
技術(shù)介紹
電子純級(jí)海綿鈦在半導(dǎo)體集成電路中經(jīng)常以鈦硅化合物、氮化鈦、鎢化鈦的薄膜形式存在，因此經(jīng)常用做控制電極擴(kuò)散的阻擋層、配線等材料。制作這些材料主要用濺射法，對原材料的鈦純度要求很高，尤其是在生物材料應(yīng)用領(lǐng)域，高純鈦絲被用做捆扎材料植入人體。由于高純度的鈦金屬具有許多優(yōu)異的特性及其在軍事和高科技領(lǐng)域的大規(guī)模應(yīng)用，今后對高純度鈦金屬需求量將會(huì)大幅提高。在已公開的碘化法生產(chǎn)電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)方法及裝置的技術(shù)資料中，主要有：（一）采用鈦制反應(yīng)罐，鈦原料至于反應(yīng)罐中心金屬網(wǎng)環(huán)中，通過對罐體外壁加溫，供給鈦原料熱量，碘與鈦原料反應(yīng)生成碘化鈦，在1100度-1300度的罐內(nèi)壁發(fā)生分解，鈦沉積在罐壁上獲得高純度鈦；（二）采用較多的方法是氣化與沉積在同一容器空間完成，這樣設(shè)計(jì)的結(jié)果是罐內(nèi)空間占用較多，既影響產(chǎn)量又造成多種化學(xué)成分污染，使雜質(zhì)含量升高，影響產(chǎn)品的純度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的在于，針對上述缺陷，提供一種氣化和沉積分屬在不同容器內(nèi)的電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置。為了達(dá)到上述技術(shù)的目的，采取的技術(shù)方案如下：一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，包括密封的反應(yīng)器與沉積罐，所述反應(yīng)器與沉積罐之間通過真空管道連通，所述反應(yīng)器內(nèi)置有若干層用于加熱粗鈦的金屬網(wǎng)，同時(shí)該反應(yīng)器內(nèi)還安裝有伸入到反應(yīng)器底部的碘蒸氣輸送管道；所述沉積罐內(nèi)置有用于沉積純鈦的加熱棒，同時(shí)該沉積罐內(nèi)還設(shè)有用于導(dǎo)出碘蒸氣的導(dǎo)出管，所述加熱棒包括加熱芯與沉積棒，所述加熱芯的外圍設(shè)有沉積棒。進(jìn)一步的，所述碘蒸氣輸送管道與供碘裝置相連，且在碘蒸氣輸送管道上設(shè)有碘蒸汽閥和真空閥，在真空閥的附近設(shè)置有壓力表。進(jìn)一步的，所述導(dǎo)出管上設(shè)置有真空閥，在真空閥的附近設(shè)置有壓力表。進(jìn)一步的，所述反應(yīng)器上部設(shè)置壓力溫度檢測儀。進(jìn)一步的，所述沉積罐上部設(shè)置有測溫儀。進(jìn)一步的，所述反應(yīng)器與沉積罐之間的連通管道內(nèi)設(shè)置有流量檢測儀與管道閥門。進(jìn)一步的，所述加熱棒上連接有電源。進(jìn)一步的，所述加熱棒與沉積罐之間通過密封墊密封。進(jìn)一步的，所述反應(yīng)器的外部設(shè)置有加熱爐。本技術(shù)的有益效果：本技術(shù)的碘化鈦的生成與分解分別在不同的空間，可增加海綿鈦的純度，提高生產(chǎn)速率和降低生產(chǎn)成本。加熱過程和加料過程均采用自動(dòng)恒溫并實(shí)現(xiàn)對流量、壓力控制，加熱棒與沉積棒容易分離。附圖說明圖1為本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本技術(shù)的技術(shù)方案作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。如圖1所示，一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，包括密封的反應(yīng)器1與沉積罐2，所述反應(yīng)器1與沉積罐2之間通過真空管道3連通，所述反應(yīng)器1內(nèi)置有若干層用于加熱粗鈦的金屬網(wǎng)4，反應(yīng)器1的外部設(shè)置有加熱爐5，同時(shí)該反應(yīng)器1內(nèi)還安裝有伸入到反應(yīng)器1底部的碘蒸氣輸送管道6；碘蒸氣輸送管道6與供碘裝置相連，且在碘蒸氣輸送管道6上設(shè)有碘蒸汽閥7和真空閥8，在真空閥8的附近設(shè)置有壓力表9，所述沉積罐2內(nèi)置有用于沉積純鈦的加熱棒10，加熱棒10上連接有電源11，且加熱棒10與沉積罐2之間通過密封墊密封，同時(shí)該沉積罐2內(nèi)還設(shè)有用于導(dǎo)出碘蒸氣的導(dǎo)出管12，導(dǎo)出管12上設(shè)置有真空閥8，在真空閥8的附近設(shè)置有壓力表9，所述加熱棒10包括加熱芯13與沉積棒14，所述加熱芯13的外圍設(shè)有沉積棒14。進(jìn)一步的，為了對反應(yīng)器1內(nèi)的壓力、溫度實(shí)現(xiàn)控制，在所述反應(yīng)器1上部設(shè)置壓力溫度檢測儀15。同理，在所述沉積罐2上部設(shè)置壓力溫度檢測儀15。進(jìn)一步的，反應(yīng)器1與沉積罐2之間的連通管道內(nèi)設(shè)置有流量檢測儀16與管道閥門17。在本實(shí)施例中，電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置中反應(yīng)器與金屬網(wǎng)以及沉積罐，均是由不與碘發(fā)生反應(yīng)的金屬材料鎢、鉭、鉬中的一種或幾種制作，或者用做內(nèi)襯層。加熱棒由加熱芯與沉積棒兩部分組成，沉積棒所用材料為鎢，加熱芯為發(fā)熱元件，如電熱絲或電熱棒，尺寸與沉積棒內(nèi)層一直。本技術(shù)的工作原理為：將碘蒸氣加入真空密封反應(yīng)器內(nèi)，反應(yīng)器內(nèi)金屬網(wǎng)層上的粗鈦被加熱至200到550度，碘與熱的粗鈦反應(yīng)生成揮發(fā)性碘化鈦氣體，粗鈦原料中的雜質(zhì)留在金屬網(wǎng)上或沉積到反應(yīng)器底部，潔凈的碘化鈦蒸汽通過輸送管道進(jìn)入沉積罐，于罐體中心部位的加熱棒表面進(jìn)行沉積，生成純鈦和碘蒸氣，碘蒸氣通過真空管道回到碘回收系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)利用，純鈦達(dá)到一定產(chǎn)量后啟動(dòng)剝離裝置進(jìn)行剝離，鈦棒脫落到底部，可繼續(xù)進(jìn)行沉積。剝離的方法是：利用加熱棒內(nèi)部的加熱芯給沉積鈦棒加熱，加熱到1700度左右，沉積棒內(nèi)部與加熱芯相接部位軟化，由于重力作用，自然分離脫落沉積于罐底。形成電子純級(jí)海綿鈦。本技術(shù)的碘化鈦的生成與分解分別在不同的空間，可增加海綿鈦的純度，提高生產(chǎn)速率和降低生產(chǎn)成本。加熱過程和加料過程均采用自動(dòng)恒溫并實(shí)現(xiàn)對流量、壓力控制，加熱棒與沉積棒容易分離。上面結(jié)合附圖對本技術(shù)的實(shí)施做了詳細(xì)說明，但本技術(shù)并不限于上述實(shí)施例，在本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所具備的知識(shí)范圍，還可以在不脫離本技術(shù)宗旨的前提下做出各種變化。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，其特征在于，包括密封的反應(yīng)器與沉積罐，所述反應(yīng)器與沉積罐之間通過真空管道連通，所述反應(yīng)器內(nèi)置有若干層用于加熱粗鈦的金屬網(wǎng)，同時(shí)該反應(yīng)器內(nèi)還安裝有伸入到反應(yīng)器底部的碘蒸氣輸送管道；所述沉積罐內(nèi)置有用于沉積純鈦的加熱棒，同時(shí)該沉積罐內(nèi)還設(shè)有用于導(dǎo)出碘蒸氣的導(dǎo)出管，所述加熱棒包括加熱芯與沉積棒，所述加熱芯的外圍設(shè)有沉積棒。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，其特征在于，包括密封的反應(yīng)器與沉積罐，所述反應(yīng)器與沉積罐之間通過真空管道連通，所述反應(yīng)器內(nèi)置有若干層用于加熱粗鈦的金屬網(wǎng)，同時(shí)該反應(yīng)器內(nèi)還安裝有伸入到反應(yīng)器底部的碘蒸氣輸送管道；所述沉積罐內(nèi)置有用于沉積純鈦的加熱棒，同時(shí)該沉積罐內(nèi)還設(shè)有用于導(dǎo)出碘蒸氣的導(dǎo)出管，所述加熱棒包括加熱芯與沉積棒，所述加熱芯的外圍設(shè)有沉積棒。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，其特征在于，所述碘蒸氣輸送管道與供碘裝置相連，且在碘蒸氣輸送管道上設(shè)有碘蒸汽閥和真空閥，在真空閥的附近設(shè)置有壓力表。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子純級(jí)海綿鈦的生產(chǎn)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)出管上設(shè)置有真空閥，在真空閥的附...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張永杰，鄭云萍，王全喜，孫虎林，韓凌江，程一民，程一軍，
申請(專利權(quán))人：山西卓鋒鈦業(yè)有限公司，
類型：新型
國別省市：山西;14