The utility model relates to a part processing machine, comprising a machine frame, a first adjusting arm, a second adjusting arm, a driving mechanism, a polishing disc, a grinding table and a sealing device. The first adjusting arm and the frame is pivoted with the first second adjustable arm adjusting arm, the driving mechanism comprises a driving motor and a telescopic member, left end disc set in and through the telescopic member inserted in telescopic member connected to the drive shaft and the rotor of the drive motor, the grinding table comprises a bearing plate and the liquid collecting plate. The sealing device comprises a transparent sealing box and an exhaust pipe, wherein the polishing disc is accommodated in the transparent sealing box, and one end of the exhaust pipe is communicated with the inside of the transparent sealing box, and the other end is communicated with the external. The mechanical parts processing, solves the technical problems of easy operation Taiwan outflow polishing liquid in the machining process, so as to improve the efficiency of grinding and polishing; in a transparent sealing box cover, polishing process of polishing liquid decomposition and emitted a pungent odor can be discharged to the outside from the exhaust pipe, and improves the environmental sanitation.
【技術實現(xiàn)步驟摘要】
零件加工機械
本技術涉及零部件加工
,特別是涉及一種零件加工機械。
技術介紹
零件加工機械在晶片加工行業(yè)中應用比較廣泛,主要用于晶片的銅拋光與CMP拋光,屬于高精密加工,產品尺寸的精度要求較高。目前,研磨機在晶片的研磨拋光等精加工過程中所使用的研磨拋光液,在加工過程中容易流出操作臺,影響研磨機周圍的衛(wèi)生環(huán)境。此外,在拋光操作過程拋光液會分解并發(fā)出刺激性氣味,給操作用戶帶了諸多不便。
技術實現(xiàn)思路
基于此,有必要針對拋光液在加工過程中容易流出操作臺、刺激性氣味給操作用戶帶了諸多不便的技術問題,提供一種零件加工機械。一種零件加工機械,該零件加工機械包括機架、第一調節(jié)臂、第二調節(jié)臂、驅動機構、拋光盤、研磨臺及密封裝置。所述第一調節(jié)臂與所述機架樞接,所述第二調節(jié)臂與所述第一調節(jié)臂鉸接。所述驅動機構包括驅動電機及伸縮件,所述驅動電機設置于所述第二調節(jié)臂上,所述伸縮件設置于所述第二調節(jié)臂上。所述拋光盤設置于所述伸縮件的末端并通過穿設于所述伸縮件的驅動軸與所述驅動電機的轉子連接。所述研磨臺包括承載盤和集液板,所述承載盤設置于所述集液板的中部區(qū)域,所述集液板設置于所述機架上,所述集液板具有多個集液槽,多個所述集液槽圍繞所述承載盤分布。所述密封裝置包括透明密封箱和排氣管,所述透明密封箱具有開口,所述透明密封箱用于通過所述開口蓋設所述研磨臺,所述透明密封箱的頂部與所述伸縮件連接,所述拋光盤收容于所述透明密封箱中,所述排氣管的一端連通所述透明密封箱的內部,另一端用于連通外部。在其中一個實施例中,所述透明密封箱為一側開口的中空長方體。在其中一個實施例中,所述透明密封箱于所述開口的邊 ...
【技術保護點】
一種零件加工機械,其特征在于,包括:機架;第一調節(jié)臂,所述第一調節(jié)臂與所述機架樞接;第二調節(jié)臂,所述第二調節(jié)臂與所述第一調節(jié)臂鉸接;驅動機構,所述驅動機構包括驅動電機及伸縮件,所述驅動電機設置于所述第二調節(jié)臂上,所述伸縮件設置于所述第二調節(jié)臂上;拋光盤,所述拋光盤設置于所述伸縮件的末端并通過穿設于所述伸縮件的驅動軸與所述驅動電機的轉子連接;研磨臺,所述研磨臺包括承載盤和集液板,所述承載盤設置于所述集液板的中部區(qū)域,所述集液板設置于所述機架上,所述集液板具有多個集液槽,多個所述集液槽圍繞所述承載盤分布;密封裝置,所述密封裝置包括透明密封箱和排氣管,所述透明密封箱具有開口,所述透明密封箱用于通過所述開口蓋設所述研磨臺,所述透明密封箱的頂部與所述伸縮件連接,所述拋光盤收容于所述透明密封箱中,所述排氣管的一端連通所述透明密封箱的內部,另一端用于連通外部。
【技術特征摘要】
1.一種零件加工機械,其特征在于,包括:機架;第一調節(jié)臂,所述第一調節(jié)臂與所述機架樞接;第二調節(jié)臂,所述第二調節(jié)臂與所述第一調節(jié)臂鉸接;驅動機構,所述驅動機構包括驅動電機及伸縮件,所述驅動電機設置于所述第二調節(jié)臂上,所述伸縮件設置于所述第二調節(jié)臂上;拋光盤,所述拋光盤設置于所述伸縮件的末端并通過穿設于所述伸縮件的驅動軸與所述驅動電機的轉子連接;研磨臺,所述研磨臺包括承載盤和集液板,所述承載盤設置于所述集液板的中部區(qū)域,所述集液板設置于所述機架上,所述集液板具有多個集液槽,多個所述集液槽圍繞所述承載盤分布;密封裝置,所述密封裝置包括透明密封箱和排氣管,所述透明密封箱具有開口,所述透明密封箱用于通過所述開口蓋設所述研磨臺,所述透明密封箱的頂部與所述伸縮件...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:周利虎,劉宇杰,宋軍,
申請(專利權)人:德米特蘇州電子環(huán)保材料有限公司,
類型:新型
國別省市:江蘇,32
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