掩膜板支撐組件及掩膜裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及一種掩膜板支撐組件及掩膜裝置，上述掩膜板支撐組件中，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸減小，抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于支撐面的高度，抬高的高度彌補玻璃基板在豎直方向上的下垂量，從而很好地減小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙，從而避免了玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色。

Mask plate support assembly and mask device

The utility model relates to a mask support assembly and mask device, the mask support components, each of the supporting bar are respectively connected to one side of at least part of the supporting surface away from the groove, one end of the depth of the groove of the support frame in the near by department to close to the outside of the supporting frame decreases gradually, raise the glass substrate in a vertical direction relative to the support surface height, height to compensate for sagging amount of glass substrate in the vertical direction of the elevation, so as to reduce the gap between the glass substrate and the fine mask in the edge of the form thus, to avoid the glass substrate and the fine mask stick generated when the droop caused by the mask support assembly edge blending.

【技術實現(xiàn)步驟摘要】
掩膜板支撐組件及掩膜裝置
本技術涉及有機顯示器件制造
，特別是涉及一種掩膜板支撐組件及掩膜裝置。
技術介紹
在平板顯示領域中，有機電致發(fā)光(OLED，OrganicLight-EmittingDiode)器件具有自發(fā)光、反應時間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項優(yōu)點，被認為是下一代的平面顯示器的新興應用技術。其中，主動式OLED(ActiveMartixOLED，AMOLED)，通過在每個像素中集成薄膜晶體管(TFT)和電容器，并由電容器維持電壓的方法進行驅動，實現(xiàn)了顯示面板的大尺寸及高分辨率，成為當前研究的重點及未來顯示技術的發(fā)展方向。目前，AMOLED在產(chǎn)品實現(xiàn)方面，需要使用掩膜裝置對玻璃基板進行蒸鍍，掩膜裝置包含框架、支撐條、精細掩膜條以及遮擋條等眾多組件。在蒸鍍過程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色是AMOLED產(chǎn)生混色的主要原因，直接影響了AMOLED量產(chǎn)良率的大小。
技術實現(xiàn)思路
基于此，有必要針對玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色的技術問題，提供一種掩膜板支撐組件及包含所述掩膜框架的掩膜裝置。一種掩膜板支撐組件，包括支撐框架及若干支撐條，所述支撐條設置于所述支撐框架上，所述支撐框架包括至少兩個相對設置的支架，相對設置的兩個所述支架分別具有支撐面，兩個所述支撐面靠近所述支撐框架的中部的一側分別開設有若干凹槽，且兩個所述支撐面的所述凹槽一一對齊，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸減小，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，且每一所述支撐條對齊于兩個對齊的所述凹槽所在的直線。在其中一個實施例中，所述凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部連通，所述第一槽部具有第一槽底，所述第二槽部具有第二槽底，所述第一槽底與所述支撐面平行，所述第二槽底靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸向所述支撐面傾斜。在其中一個實施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之間的夾角為鈍角。在其中一個實施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之間的夾角為140°～160°。在其中一個實施例中，所述第二槽底與所述支撐面的連接處設置為曲面結構。在其中一個實施例中，所述支撐條垂直于所述支架。在其中一個實施例中，所述支撐面上設置有若干凸起部，所述凸起部設置于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，且每一所述凸起部對齊于一所述凹槽，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述凸起部上。在其中一個實施例中，同一所述支撐面上的所述凸起部凸起于所述支撐面的高度相異。在其中一個實施例中，同一所述支撐面上的所述凸起部凸起于所述支撐面的高度相同。一種掩膜裝置，包括多根精細掩膜條、多根遮擋條及上述任一實施例中所述的掩膜板支撐組件，所述精細掩膜條及所述遮擋條設置于所述支撐框架上，且一所述遮擋條設置于兩個所述精細掩膜條之間。上述掩膜板支撐組件及掩膜裝置，所述掩膜板支撐組件中，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸減小，抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于支撐面的高度，抬高的高度彌補玻璃基板在豎直方向上的下垂量，從而很好地減小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙，從而避免了玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色。附圖說明圖1為一個實施例中掩膜板支撐組件的結構示意圖；圖2為圖1中A處的放大圖；圖3為一個實施例中凹槽的局部結構示意圖；圖4為一個實施例中掩膜裝置的結構示意圖。具體實施方式為使本技術的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本技術的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本技術。但是本技術能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本技術內涵的情況下做類似改進，因此本技術不受下面公開的具體實施例的限制。需要說明的是，術語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本技術的描述中，“若干”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。此外，當元件被稱為“固定于”或“設置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。例如，一種掩膜板支撐組件，包括支撐框架及若干支撐條，所述支撐條設置于所述支撐框架上，所述支撐框架包括至少兩個相對設置的支架，相對設置的兩個所述支架分別具有支撐面，兩個所述支撐面靠近所述支撐框架的中部的一側分別開設有若干凹槽，且兩個所述支撐面的所述凹槽一一對齊，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸減小，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，且每一所述支撐條對齊于兩個對齊的所述凹槽所在的直線。請一并參閱圖1及圖2，一實施例的掩膜板支撐組件10，包括支撐框架100及若干支撐條200，支撐條200設置于支撐框架100上。在蒸鍍過程中，所述支撐框架及所述支撐條用于支撐玻璃基板。支撐框架100包括兩對相對設置的支架110，相對設置的兩個支架110分別具有支撐面120，兩個支撐面120靠近支撐框架100的中部的一側分別開設有若干凹槽130(被支撐條120遮擋)，且兩個支撐面120的凹槽130一一對齊，凹槽130的深度由靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側的一端逐漸減小，每一支撐條200的兩端分別抵接于支撐面120遠離凹槽130的一側，且每一支撐條200對齊于兩個對齊的凹槽130所在的直線。凹槽130包括第一槽部131和第二槽部132，第一槽部131和第二槽部132連通，第一槽部131具有第一槽底133，第二槽部132具有第二槽底134，第一槽底133與支撐面120平行，第二槽底134靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側的一端逐漸向支撐面120傾斜，即當支撐框架100水平放置時，支撐面120水平設置，這時，第一槽部131在豎直方向上的平均深度大于第二槽部132在豎直方向上的平均深度，第二槽底134靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側的一端逐漸向上傾斜。需要說明的是，在蒸鍍過程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色是AMOLED產(chǎn)生混色的主要原因，直接影響了AMOLED量產(chǎn)良率的大小。所述邊緣混色具體是指：當玻璃基板放置在所述掩膜板支撐組件上，玻璃基板與支撐框架的支撐面抵持時，玻璃基板由于自身重力在豎直方向上產(chǎn)生下垂形變，所述支撐框架到所述玻璃基板中心方向上的距離為1.5cm～2cm位置處產(chǎn)生的下垂形變，導致所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成間隙，所述間隙導致的混色被稱為邊緣混色。為了更好地解決上述邊緣混色的問題，掩膜板支撐組件10中，每一支撐條20本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種掩膜板支撐組件，包括支撐框架及若干支撐條，所述支撐條設置于所述支撐框架上，其特征在于，所述支撐框架包括至少兩個相對設置的支架，相對設置的兩個所述支架分別具有支撐面，兩個所述支撐面靠近所述支撐框架的中部的一側分別開設有若干凹槽，且兩個所述支撐面的所述凹槽一一對齊，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸減小，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，且每一所述支撐條對齊于兩個對齊的所述凹槽所在的直線。

【技術特征摘要】
1.一種掩膜板支撐組件，包括支撐框架及若干支撐條，所述支撐條設置于所述支撐框架上，其特征在于，所述支撐框架包括至少兩個相對設置的支架，相對設置的兩個所述支架分別具有支撐面，兩個所述支撐面靠近所述支撐框架的中部的一側分別開設有若干凹槽，且兩個所述支撐面的所述凹槽一一對齊，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸減小，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側，且每一所述支撐條對齊于兩個對齊的所述凹槽所在的直線。2.根據(jù)權利要求1所述的掩膜板支撐組件，其特征在于，所述凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部連通，所述第一槽部具有第一槽底，所述第二槽部具有第二槽底，所述第一槽底與所述支撐面平行，所述第二槽底靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側的一端逐漸向所述支撐面傾斜。3.根據(jù)權利要求2所述的掩膜板支撐組件，其特征在于，所述第一槽底和所述第二槽底之間的夾角為鈍角。4.根據(jù)權利要求3所述的掩膜板支...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：何文雙，吳煒欽，羅武峰，蔡曉義，柯賢軍，蘇君海，李建華，
申請(專利權)人：信利惠州智能顯示有限公司，
類型：新型
國別省市：廣東,44