聲表面波濾波器制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種聲表面波濾波器，包括兩個(gè)叉指換能器和兩個(gè)反射柵，所述兩個(gè)叉指換能器并排設(shè)置在壓電基片上，所述兩個(gè)叉指換能器的兩對(duì)匯流條分別延伸出兩對(duì)導(dǎo)電端子，所述兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子為差分輸入端或差分輸出端，兩個(gè)反射柵分別設(shè)置在所述兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)，用于反射所述兩個(gè)叉指換能器產(chǎn)生的聲表面波；通過(guò)將兩個(gè)叉指換能器并排設(shè)置，分別在各自的匯流條上延伸出導(dǎo)電端子，將兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子作為差分輸入端或差分輸出端，并在兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)分別設(shè)置反射柵，形成差分結(jié)構(gòu)；可以抑制該聲表面波濾波器的共模干擾，增強(qiáng)信噪比，占用面積小、成本低廉。

Surface acoustic wave filter

The invention relates to a surface acoustic wave filter, including two IDTs and two reflectors, the two interdigital transducers are arranged on the piezoelectric substrate, wherein the two interdigital transducer two of the bus bars are respectively extended out of two pairs of conductive terminals, wherein the two interdigital two a conductive terminal transducer on the same side as the differential input and differential output, two reflectors are respectively arranged in the two interdigital transducer are used for reflecting the two interdigital transducer generates acoustic wave; the two interdigital transducer are arranged respectively extend out the conductive terminal in the bus, the two interdigital two conductive terminals at the same side of the transducer as the differential input and differential output, and IDT are formed on both sides of the reflector in the two fork, forming a differential structure which can be inhibited; The common mode interference of surface acoustic wave filter (SNR) increases the signal-to-noise ratio (SNR), occupies a small area and costs low.

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
聲表面波濾波器
本專利技術(shù)涉及濾波領(lǐng)域，特別是涉及一種聲表面波濾波器。
技術(shù)介紹
由于差分結(jié)構(gòu)具有抑制共模干擾，信噪比高等優(yōu)點(diǎn)，因而得到了廣泛的應(yīng)用，如差分濾波器，差分放大器等。在聲表面濾波器領(lǐng)域，一般通過(guò)多個(gè)諧振器來(lái)實(shí)現(xiàn)差分結(jié)構(gòu)。如圖1所示，最簡(jiǎn)單的差分結(jié)構(gòu)的聲表面濾波器包括兩個(gè)串聯(lián)諧振器X和一個(gè)并聯(lián)諧振器Y，通過(guò)該方式得到的聲表面波濾波器占用面積大，成本高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
基于此，有必要提供一種聲表面波濾波器，可以實(shí)現(xiàn)差分結(jié)構(gòu)，抑制該聲表面波濾波器的共模干擾，增強(qiáng)信噪比，占用面積小、成本低廉。一方面，本專利技術(shù)提出一種聲表面波濾波器，包括：兩個(gè)叉指換能器，并排設(shè)置在壓電基片上，所述兩個(gè)叉指換能器的兩對(duì)匯流條分別延伸出兩對(duì)導(dǎo)電端子，所述兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子為差分輸入端或差分輸出端；兩個(gè)反射柵，分別設(shè)置在所述兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)，用于反射所述兩個(gè)叉指換能器產(chǎn)生的聲表面波。上述聲表面波濾波器，通過(guò)將兩個(gè)叉指換能器并排設(shè)置，分別在各自的匯流條上延伸出導(dǎo)電端子，將兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子作為差分輸入端或差分輸出端，并在兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)分別設(shè)置反射柵，形成差分結(jié)構(gòu)；可以抑制該聲表面波濾波器的共模干擾，增強(qiáng)信噪比，占用面積小、成本低廉。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述差分輸入端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為(1.5+n)P(n＝1，2，3…)，所述差分輸出端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為(0.5+n)P(n＝1，2，3…)；其中，P為所述叉指換能器的周期。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述差分輸入端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為1.5P，所述差分輸出端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為0.5P；其中，P為所述叉指換能器的周期。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述差分輸入端和/或差分輸出端連接平衡-不平衡變換器。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述差分輸入端和/或差分輸出端連接平衡橋?yàn)V波器。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述反射柵的一端與相鄰的所述叉指換能器同側(cè)的匯流條電連接。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述匯流條的厚度大于所述叉指換能器的電極條的厚度和所述反射柵的電極條的厚度。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述反射柵的半波長(zhǎng)與所述叉指換能器的半波長(zhǎng)相同。另一方面，本專利技術(shù)提出一種聲表面波濾波器處理漏聲波的應(yīng)用，所述聲表面波濾波器為上述聲表面波濾波器。附圖說(shuō)明圖1為現(xiàn)有的差分結(jié)構(gòu)聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為第一實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為第二實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為第三實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為第四實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為第五實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為第六實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式參見圖2，圖2為第一實(shí)施例中聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖。在本實(shí)施例中，該聲表面波濾波器包括兩個(gè)叉指換能器(InterdigitalTransduce，IDT)和兩個(gè)反射柵20(ReflectingGrating，REF)。兩個(gè)叉指換能器并排設(shè)置在壓電基片上，所述兩個(gè)叉指換能器的兩對(duì)匯流條分別延伸出兩對(duì)導(dǎo)電端子，所述兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子為差分輸入端或差分輸出端。叉指換能器包括兩根匯流條和多根電極條，電極條交叉設(shè)置并與設(shè)置在兩側(cè)的匯流條電連接。上述兩個(gè)叉指換能器包括叉指換能器10和叉指換能器11，叉指換能器10包括匯流條101、匯流條102，以及多根電極條103，叉指換能器11包括匯流條111、匯流條112，以及多根電極條113，兩個(gè)叉指換能器設(shè)置在壓電基片上，并位于聲波的傳播通道上。從叉指換能器10的匯流條101上引出導(dǎo)電端子1，從匯流條102上引出導(dǎo)電端子3，從叉指換能器11的匯流條111上引出導(dǎo)電端子2，從匯流條112上引出導(dǎo)電端子4，將導(dǎo)電端子1和導(dǎo)電端子2作為差分輸入端，導(dǎo)電端子3和導(dǎo)電端子4作為差分輸出端。電源從差分輸入端輸入，信號(hào)從差分輸出端輸出，形成差分結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器，可以起到抑制共模干擾，增強(qiáng)信噪比的作用。兩個(gè)反射柵20分別設(shè)置在所述兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)，用于反射所述兩個(gè)叉指換能器產(chǎn)生的聲表面波。電源加載在兩個(gè)叉指換能器上，使得壓電基片激發(fā)雙向的聲表面波，反射柵20接收到該聲表面波后將其反射回來(lái)，實(shí)現(xiàn)聲表面波的傳輸。該電源為交流電壓信號(hào)，叉指換能器對(duì)頻率非常敏感，將交流電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為壓電基片的機(jī)械振動(dòng)，進(jìn)而形成聲表面波，并通過(guò)反射柵20反射回來(lái)。在現(xiàn)有技術(shù)中，圖1所示的差分結(jié)構(gòu)聲表面波濾波器需要兩個(gè)串聯(lián)諧振器X和一個(gè)并聯(lián)諧振器Y來(lái)實(shí)現(xiàn)。一個(gè)串聯(lián)諧振器X的結(jié)構(gòu)為REF+IDT+REF，僅兩個(gè)串聯(lián)諧振器就需要占用兩個(gè)該結(jié)構(gòu)的空間和面積，較本實(shí)施例的REF+IDT+IDT+REF差分結(jié)構(gòu)占用面積大，空間大，成本相應(yīng)增加。此外，該聲表面波濾波器還可以有其他使用方法，如只將一個(gè)叉指換能器10或叉指換能器11接入電路，將其作為一個(gè)諧振器來(lái)使用，可根據(jù)電路需求靈活選擇。在其中一個(gè)實(shí)施例中，差分輸入端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為(1.5+n)P(n＝1，2，3…)，差分輸出端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為(0.5+n)P(n＝1，2，3…)，其中，P為所述叉指換能器的周期，該周期具體為連接在同一根匯流條上的兩個(gè)相鄰電極條的中心距離。當(dāng)兩個(gè)叉指換能器的間距滿足上述條件時(shí)，兩個(gè)叉指換能器的結(jié)構(gòu)是同步的，二者耦合度高，諧振強(qiáng)度大，濾波效果好。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，n＝1，差分輸入端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為1.5P，差分輸出端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為0.5P。最小化該聲表面波濾波器的占用面積。差分輸入端兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為1.5P，大于差分輸出端兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離0.5P，輸入叉指換能器對(duì)輸入功率是很敏感的，換能器相鄰指條間距越大，越能承受較大的輸入功率。在其中一個(gè)實(shí)施例中，參見圖3和圖4，差分輸入端和/或差分輸出端連接平衡-不平衡變換器(Balance-unbalance，BALUN)30。BALUN可以實(shí)現(xiàn)差分端口到單端口的轉(zhuǎn)換，同時(shí)還可以實(shí)現(xiàn)阻抗轉(zhuǎn)換，使得該差分結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器使用更靈活，濾波效果更好。在其中一個(gè)實(shí)施例中，參見圖5和圖6，所述差分輸入端和/或差分輸出端連接平衡橋?yàn)V波器40(BalanceBridgeFilter，BBF)，可平衡輸入和輸出信號(hào)。在其中一個(gè)實(shí)施例中，參見圖7，反射柵20的一端與相鄰的所述叉指換能器同側(cè)的匯流條電連接。具體為，與叉指換能器10相鄰的反射柵的一端與叉指換能器10同側(cè)的匯流條101電連接，與叉指換能器11相鄰的反射柵的一端與叉指換能器11同側(cè)的匯流條111電連接。通過(guò)增加壓焊線的焊盤或塊連接，可以最小化插入損耗，增強(qiáng)該聲表面波濾波器的有用功率。在其中一個(gè)實(shí)施例中，匯流條的厚度大于叉指換能器的電極條的厚度和所述反射柵20的電極條的厚度，可以減小該聲表面波濾波器的電阻損耗。其中，反射柵20的電極條201如圖2所示。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述反射柵20的半波長(zhǎng)與所述叉指換能器的半波長(zhǎng)相同。反射柵的半波長(zhǎng)和叉指換能器的半波長(zhǎng)是指相鄰兩個(gè)電極條的中心距離。在其中一個(gè)實(shí)本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種聲表面波濾波器，其特征在于，包括：兩個(gè)叉指換能器，并排設(shè)置在壓電基片上，所述兩個(gè)叉指換能器的兩對(duì)匯流條分別延伸出兩對(duì)導(dǎo)電端子，所述兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子為差分輸入端或差分輸出端；兩個(gè)反射柵，分別設(shè)置在所述兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)，用于反射所述兩個(gè)叉指換能器產(chǎn)生的聲表面波。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種聲表面波濾波器，其特征在于，包括：兩個(gè)叉指換能器，并排設(shè)置在壓電基片上，所述兩個(gè)叉指換能器的兩對(duì)匯流條分別延伸出兩對(duì)導(dǎo)電端子，所述兩個(gè)叉指換能器同側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)電端子為差分輸入端或差分輸出端；兩個(gè)反射柵，分別設(shè)置在所述兩個(gè)叉指換能器的兩側(cè)，用于反射所述兩個(gè)叉指換能器產(chǎn)生的聲表面波。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器，其特征在于，所述差分輸入端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為(1.5+n)P(n＝1，2，3…)，所述差分輸出端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為(0.5+n)P(n＝1，2，3…)；其中，P為所述叉指換能器的周期。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器，其特征在于，所述差分輸入端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩個(gè)電極條的中心距離為1.5P，所述差分輸出端的兩個(gè)叉指換能器上相鄰兩...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王寧，董啟明，盧翠，張偉，劉紹侃，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：深圳華遠(yuǎn)微電科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：廣東,44