一種石英舟清洗飽和工藝制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)涉及太陽能電池板制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種石英舟清洗飽和工藝，包括以下步驟：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：(5?15)的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5?5.5slm的N2、1450?1550sccm的POCL3和350?400sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為115min?125min，反應(yīng)溫度為865℃?875℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在8.8?9.2slm，O2的流量控制在950?1050sccm進行推進處理，處理時間為4.5min?5.5min，溫度控制在870?880℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在27?33slm處理時間為2.5min?3.5min，溫度控制在825?835℃。改變石英舟酸洗配比，減少石英舟在爐管內(nèi)通POCL3沉積時間，從而提升產(chǎn)能。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種石英舟清洗飽和工藝
本專利技術(shù)涉及太陽能電池板制造
，具體為一種石英舟清洗飽和工藝。
技術(shù)介紹
太陽能電池板擴散用石英舟在使用一段時間后會變臟，容易造成電池板卡槽印、崩邊等不良，因此需要對石英舟進行定期清洗。新清洗的石英舟在使用前需進行飽和處理，目的是保證正常生產(chǎn)時，不會造成硅片外觀和方阻異常。之前石英舟清洗飽和工藝流程存在以下問題，飽和時間長，影響產(chǎn)能；清洗飽和過的石英舟外觀效果差，舟尾清洗不干凈；POCL3、O2、N2用量較多；故需要對石英舟清洗飽和流程進行優(yōu)化，來改善清洗效果、降低運營成本及提升產(chǎn)能。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于提供一種石英舟清洗飽和工藝，以解決上述
技術(shù)介紹
中提出的問題。所述石英舟清洗飽和工藝具有減少飽和時間，節(jié)約氣體用量的特點。為實現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供如下技術(shù)方案：一種石英舟清洗飽和工藝，包括以下步驟：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：(5-15)的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min-50min，此過程中用頻率為40HZ的超聲波進行輔助清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5-5.5slm的N2、1450-1550sccm的POCL3和350-400sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為115min-125min，反應(yīng)溫度為865℃-875℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在8.8-9.2slm，O2的流量控制在950-1050sccm進行推進處理，處理時間為4.5min-5.5min，溫度控制在870-880℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在27-33slm，進行冷卻，冷卻時間為2.5min-3.5min，溫度控制在825-835℃。優(yōu)選的，4)中爐管中通過流量穩(wěn)定的5slm的N2、1500sccm的POCL3和375sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為120min，反應(yīng)溫度為870℃。優(yōu)選的，5)中將N2的流量控制在9slm，O2的流量控制在1000sccm進行推進處理，處理時間為5min，溫度控制在875℃。優(yōu)選的，6)中將N2的流量控制在30slm冷卻時間為3min，溫度控制在830℃。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)的有益效果是：優(yōu)化改變石英舟酸洗配比，減少石英舟在爐管內(nèi)通POCL3沉積時間，從而提升產(chǎn)能；氣體流量未變，飽和時間減少，從而減少氣體用量；而且石英舟清洗飽和后效果良好，硅片擴散后無外觀不良，卡槽和舟尾均被清洗干凈。具體實施方式下面將結(jié)合本專利技術(shù)實施例，對本專利技術(shù)實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本專利技術(shù)一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本專利技術(shù)中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本專利技術(shù)保護的范圍。本專利技術(shù)提供幾種技術(shù)方案：實施例11)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：7.5的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗30min，此過程中用頻率為40HZ的超聲波進行輔助清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的5slm的N2、1500sccm的POCL3和375sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為120min，反應(yīng)溫度為870℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在9slm，O2的流量控制在1000sccm進行推進處理，處理時間為5min，溫度控制在875℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在30slm，進行冷卻，冷卻時間為3min，溫度控制在830℃。實施例21)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：5的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min，此過程中用頻率為40HZ的超聲波進行輔助清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5slm的N2、1450sccm的POCL3和350sccm的O2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為115min，反應(yīng)溫度為865℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在8.8slm，O2的流量控制在950sccm進行推進處理，處理時間為4.5min，溫度控制在870℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在27slm，進行冷卻，冷卻時間為2.5min，溫度控制在825℃。實施例31)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：15的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗50min，此過程中用頻率為40HZ的超聲波進行輔助清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的5.5slm的N2、1550sccm的POCL3和400sccm的O2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為125min，反應(yīng)溫度為875℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在9.2slm，O2的流量控制在1050sccm進行推進處理，處理時間為5.5min，溫度控制在880℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在33slm，進行冷卻，冷卻時間為3.5min，溫度控制在835℃。對比組：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為2：1：(5-15)的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min-50min；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的5slm的N2、1500sccm的POCL3和375sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為180min，反應(yīng)溫度為860℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在9slm，O2的流量控制在1000sccm進行推進處理，處理時間為5min，溫度控制在860℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在30slm，進行冷卻，冷卻時間為3min，溫度控制在830℃。如下表：項目每月產(chǎn)能每月用POCL3每月用O2每月用N2實施例1488733片11520L3200L47040L實施例2486793片10758L2996L43365L實施例3490672片12280L3433L50715L對比組465460片17280L4640L66240L綜合對比各個實施例，產(chǎn)量增量高時，氣體節(jié)約量降低；產(chǎn)量增量低時，氣體節(jié)約量升高；綜合各個因素選擇最佳實施例1，通過對比可以看出：1、優(yōu)化改變石英舟酸洗配比，減少石英舟在爐管內(nèi)通POCL3沉積時間，從而提升產(chǎn)能。2、優(yōu)化后的方案，石英舟清洗飽和后效果良好，硅片擴散后無外觀不良，優(yōu)化前清洗飽和過的石英舟，卡槽和舟尾無法清洗干凈，并且白色粉末很難除去；優(yōu)化方案后清洗飽和過的石英舟，卡槽和舟尾干凈并且白色粉被洗凈。3、POCL3、O2、N2量節(jié)省優(yōu)化前后氣體流量未變，優(yōu)化后時間節(jié)省60min，按現(xiàn)行飽和工藝，每個車間月節(jié)省POCL3、O2、N2分別為：5760L、1440L、19200L。4、優(yōu)化前后單線產(chǎn)能對比每個車間擴散工序8條線共計64個舟，每舟飽和時間減少1小時，合計每個月共節(jié)省64小時，按照目前產(chǎn)線運行的工藝方案，生產(chǎn)1單需66分鐘每個月可以多生產(chǎn)64×60/66本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種石英舟清洗飽和工藝，其特征在于，包括以下步驟：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：(5?15)的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min?50min，此過程中用頻率為40HZ的超聲波進行輔助清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5?5.5slm的N2、1450?1550sccm的POCL3和350?400sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為115min?125min，反應(yīng)溫度為865℃?875℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在8.8?9.2slm，O2的流量控制在950?1050sccm進行推進處理，處理時間為4.5min?5.5min，溫度控制在870?880℃；6)推進結(jié)束后停止O2的通入，將N2的流量控制在27?33slm,進行冷卻，冷卻時間為2.5min?3.5min，溫度控制在825?835℃。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種石英舟清洗飽和工藝，其特征在于，包括以下步驟：1)在石英舟清洗槽內(nèi)加入配比為3：1：(5-15)的HF、HCL和純水的混合物；2)將石英舟放入清洗槽內(nèi)浸泡清洗15min-50min，此過程中用頻率為40HZ的超聲波進行輔助清洗；3)采用氣體對清洗后的石英舟進行吹干處理；4)將石英舟放入爐管中通過流量穩(wěn)定的4.5-5.5slm的N2、1450-1550sccm的POCL3和350-400sccmO2進行沉積反應(yīng)，反應(yīng)時間為115min-125min，反應(yīng)溫度為865℃-875℃；5)沉積結(jié)束后，停止POCL3的通入，將N2的流量控制在8.8-9.2slm，O2的流量控制在950-1050sccm進行推進處理，處理時間為4.5min-5.5min，溫度控制在870...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：錢忠剛，鄭傲然，詹杰于，偉濤，
申請(專利權(quán))人：通威太陽能合肥有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：安徽,34