旋轉陰極排水裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術提供一種旋轉陰極排水裝置。該排水裝置包括進水軸和出水軸，進水軸和出水軸相互連接，進水軸內開設有進水通道，進水通道內用于容置旋轉陰極和冷卻水；出水軸內開設有出水通道，出水軸內還設置有開關結構，開關結構設置在進水通道和出水通道的對接處，開關結構能控制出水通道開啟和關閉，以控制冷卻水從出水通道排出。該排水裝置通過設置出水軸，并在出水軸內設置出水通道和開關結構，能夠方便地控制出水通道的開啟和關閉，從而在更換靶材時方便地控制該排水裝置排水，該排水裝置排水時無需進行管路拆卸，操作簡便，且該排水裝置結構簡單，易于操作，不僅提高了旋轉陰極排水裝置的排水效率，而且提高了靶材的更換效率。

Rotating cathode drain

【技術實現步驟摘要】
旋轉陰極排水裝置
本技術屬于太陽能電池制備
，具體涉及一種旋轉陰極排水裝置。
技術介紹
旋轉圓柱靶磁控濺射技術的靶材利用率＞80％，濺射過程穩定、工作效率高，適用于大面積沉積柔性基材和平板玻璃等功能性薄膜。特別是適用于太陽能電池等薄膜的制備。由于在磁控濺射設備運行中，陰極會產生大量的熱，需要冷卻水進行冷卻，靶管內充滿了冷卻水，在更換靶材的時候需要將冷卻水先排出。傳統的方法是使用壓縮空氣向旋轉陰極進出水管的一路中吹氣，使冷卻水從另外一路流出，該排水過程需要拆卸冷卻水管路，此排水方法操作繁雜。
技術實現思路
本技術針對現有技術中的問題，提供一種旋轉陰極排水裝置。該排水裝置相對于現有的排水方法，該排水裝置排水時無需進行管路拆卸，操作簡便，且該排水裝置結構簡單，易于操作，不僅提高了旋轉陰極排水裝置的排水效率，而且提高了靶材的更換效率。本技術提供一種旋轉陰極排水裝置，包括進水軸和出水軸，所述進水軸和所述出水軸相互連接，所述進水軸內開設有進水通道，所述進水通道內用于容置所述旋轉陰極和冷卻水；所述出水軸內開設有出水通道，所述出水軸內還設置有開關結構，所述開關結構設置在所述進水通道和所述出水通道的對接處，所述開關結構能控制所述出水通道開啟和關閉，以控制所述冷卻水從所述出水通道排出。優選地，所述開關結構包括設置在所述出水通道內的轉軸通道、旋轉蓋板和轉軸；所述旋轉蓋板設置在所述出水通道的與所述進水通道對接的入口；所述旋轉蓋板連接在所述轉軸的一端，所述轉軸設置于所述轉軸通道內，且能在所述轉軸通道內轉動，以帶動所述旋轉蓋板將所述出水通道的入口封閉或者開啟。優選地，所述出水通道為橢圓柱腔，所述旋轉蓋板為橢圓形板；所述旋轉蓋板的板面面積大于所述出水通道入口的開口面積。優選地，所述出水軸的與所述進水軸連接的連接端內嵌于所述進水軸內，所述出水軸的連接端端面上設置有第一凸臺和第二凸臺，所述第一凸臺位于所述出水通道入口的長軸方向上，所述第二凸臺位于所述出水通道入口的短軸方向上，所述第一凸臺和所述第二凸臺能對所述旋轉蓋板進行旋轉位置限定。優選地，所述轉軸通道貫穿所述出水軸，所述轉軸延伸至所述出水軸外，所述開關結構還包括手輪，所述手輪設置在所述轉軸的伸出至所述出水軸外的端部，通過所述手輪能操控所述旋轉蓋板旋轉。優選地，所述出水軸的靠近所述手輪的端部開設有出口，能使所述冷卻水排出。優選地，所述出水軸的與所述進水軸連接的連接端還設置有端蓋，所述端蓋蓋合在所述進水軸的連接端端部，所述端蓋與所述進水軸之間通過連接件固定連接。優選地，所述端蓋與所述進水軸之間還設置有第一密封件，用于對所述進水軸和所述出水軸的連接處進行密封。優選地，所述旋轉蓋板上還設置有第二密封件，用于在所述旋轉蓋板對所述出水通道入口封閉時對入口進行密封。優選地，所述轉軸通道內壁形成有內螺紋，所述轉軸相應位置上形成有外螺紋，所述內螺紋與所述外螺紋相互適配。本技術的有益效果：本技術所提供的旋轉陰極排水裝置，通過設置與進水軸連接的出水軸，并在出水軸內設置出水通道和開關結構，能夠方便地控制出水通道的開啟和關閉，從而在更換靶材時方便地控制該排水裝置排水，相對于現有的排水方法，該排水裝置排水時無需進行管路拆卸，操作簡便，且該排水裝置結構簡單，易于操作，不僅提高了旋轉陰極排水裝置的排水效率，而且提高了靶材的更換效率。附圖說明圖1為本技術旋轉陰極排水裝置的結構剖視示意圖；圖2為本技術旋轉陰極排水裝置不排水時旋轉蓋板的位置俯視示意圖；圖3為本技術旋轉陰極排水裝置排水時旋轉蓋板的位置俯視示意圖；圖4為本技術旋轉陰極排水裝置從手輪側觀看的結構俯視圖。其中附圖標記為：1、進水軸；2、出水軸；3、進水通道；4、出水通道；5、轉軸通道；6、旋轉蓋板；7、轉軸；8、第一凸臺；9、第二凸臺；10、手輪；11、出口；12、端蓋；13、連接件；14、第一密封件；15、第二密封件。具體實施方式為使本領域技術人員更好地理解本技術的技術方案，下面結合附圖和具體實施方式對本技術一種旋轉陰極排水裝置作進一步詳細描述。為解決現有的旋轉陰極排水裝置排水操作繁雜的問題，本技術實施例提供一種旋轉陰極排水裝置，如圖1所示，包括進水軸1和出水軸2，進水軸1和出水軸2相互連接，進水軸1內開設有進水通道3，進水通道3內用于容置旋轉陰極和冷卻水；出水軸2內開設有出水通道4，出水軸2內還設置有開關結構，開關結構設置在進水通道3和出水通道4的對接處，開關結構能控制出水通道4開啟和關閉，以控制冷卻水從出水通道4排出。通過設置與進水軸1連接的出水軸2，并在出水軸2內設置出水通道4和開關結構，能夠方便地控制出水通道4的開啟和關閉，從而在更換靶材時方便地控制該排水裝置排水，相對于現有的排水方法，排水時無需進行管路拆卸，操作簡便，且該排水裝置結構簡單，易于操作，不僅提高了旋轉陰極排水裝置的排水效率，而且提高了靶材的更換效率。本實施例中，開關結構包括設置在出水通道4內的轉軸通道5、旋轉蓋板6和轉軸7；旋轉蓋板6設置在出水通道4的與進水通道3對接的入口；旋轉蓋板6連接在轉軸7的一端，轉軸7設置于轉軸通道5內，且能在轉軸通道5內轉動，以帶動旋轉蓋板6將出水通道4的入口封閉或者開啟。優選的，本實施例中，出水通道4為橢圓柱腔，旋轉蓋板6為橢圓形板；旋轉蓋板6的板面面積大于出水通道4入口的開口面積。如此設置，旋轉蓋板6能夠通過轉動對出水通道4的入口進行封閉或者開啟，且在封閉時，旋轉蓋板6能夠完全蓋合該出水通道4入口，以防止冷卻水漏出。另外，本實施例中，進水通道3為圓柱腔。轉軸通道5為圓柱腔，轉軸7為圓柱形桿。當然，進水通道3也可以是其他形狀，這里不做限定。轉軸通道5與轉軸7結合，結構穩定，不易發生轉軸7偏轉導致冷卻水泄漏的問題。本實施例中，如圖2和圖3所示，出水軸2的與進水軸1連接的連接端內嵌于進水軸1內，出水軸2的連接端端面上設置有第一凸臺8和第二凸臺9，第一凸臺8位于出水通道4入口的長軸方向上，第二凸臺9位于出水通道4入口的短軸方向上，第一凸臺8和第二凸臺9能對旋轉蓋板6進行旋轉位置限定。第一凸臺8的設置，能使旋轉蓋板6旋轉至與其接觸時無法再旋轉，從而保持出水通道4的入口被旋轉蓋板6封閉，此時，冷卻水無法從排水裝置中排出，從而使進水軸1內的靶材能夠冷卻；第二凸臺9的設置，能使旋轉蓋板6旋轉至與其接觸時無法再旋轉，從而保持出水通道4的入口開啟，此時，冷卻水從排水裝置中排出，從而方便地進行靶材更換。本實施例中，轉軸通道5貫穿出水軸2，轉軸7延伸至出水軸2外，開關結構還包括手輪10，手輪10設置在轉軸7的伸出至出水軸2外的端部，通過手輪10能操控旋轉蓋板6旋轉。如人手轉動手輪，能夠實現對旋轉蓋板6的旋轉操控。其中，如圖4所示，手輪10與轉軸7端部通過螺釘螺母固定連接。手輪10的設置，使該排水裝本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種旋轉陰極排水裝置，其特征在于，包括進水軸(1)和出水軸(2)，所述進水軸(1)和所述出水軸(2)相互連接，所述進水軸(1)內開設有進水通道(3)，所述進水通道(3)內用于容置所述旋轉陰極和冷卻水；所述出水軸(2)內開設有出水通道(4)，所述出水軸(2)內還設置有開關結構，所述開關結構設置在所述進水通道(3)和所述出水通道(4)的對接處，所述開關結構能控制所述出水通道(4)開啟和關閉，以控制所述冷卻水從所述出水通道(4)排出。/n

【技術特征摘要】
1.一種旋轉陰極排水裝置，其特征在于，包括進水軸(1)和出水軸(2)，所述進水軸(1)和所述出水軸(2)相互連接，所述進水軸(1)內開設有進水通道(3)，所述進水通道(3)內用于容置所述旋轉陰極和冷卻水；所述出水軸(2)內開設有出水通道(4)，所述出水軸(2)內還設置有開關結構，所述開關結構設置在所述進水通道(3)和所述出水通道(4)的對接處，所述開關結構能控制所述出水通道(4)開啟和關閉，以控制所述冷卻水從所述出水通道(4)排出。


2.根據權利要求1所述的旋轉陰極排水裝置，其特征在于，所述開關結構包括設置在所述出水通道(4)內的轉軸通道(5)、旋轉蓋板(6)和轉軸(7)；
所述旋轉蓋板(6)設置在所述出水通道(4)的與所述進水通道(3)對接的入口；
所述旋轉蓋板(6)連接在所述轉軸(7)的一端，所述轉軸(7)設置于所述轉軸通道(5)內，且能在所述轉軸通道(5)內轉動，以帶動所述旋轉蓋板(6)將所述出水通道(4)的入口封閉或者開啟。


3.根據權利要求2所述的旋轉陰極排水裝置，其特征在于，所述出水通道(4)為橢圓柱腔，所述旋轉蓋板(6)為橢圓形板；所述旋轉蓋板(6)的板面面積大于所述出水通道(4)入口的開口面積。


4.根據權利要求3所述的旋轉陰極排水裝置，其特征在于，所述出水軸(2)的與所述進水軸(1)連接的連接端內嵌于所述進水軸(1)內，所述出水軸(2)的連接端端面上設置有第一凸臺(8)和第二凸臺(9)，所述第一凸臺(8)位于所述出水通道(4)入口的長軸方向上，所述第二凸臺(9)位于所述出水通道(4)入口的短...

【專利技術屬性】
技術研發人員：崔振宇，
申請(專利權)人：東泰高科裝備科技有限公司，
類型：新型
國別省市：北京;11