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    工業用機器人的手及工業用機器人制造技術

    技術編號:24002859 閱讀:48 留言:0更新日期:2020-05-01 23:22
    本發明專利技術提供一種工業用機器人手,是搬運搬運對象物的工業用機器人的手,可以適當地裝載各種尺寸的搬運對象物。搬運搬運對象物(2)的工業用機器人的手(3)具備:多個手叉(16),該多個手叉(16)形成為直線狀且互相平行配置;支承部件(17),該支承部件(17)配置于手叉(16)的上表面側,支承搬運對象物(2)的下表面并且限制搬運對象物(2)在手叉(16)的長度方向上的移動;以及移動機構(19),該移動機構(19)使支承部件(17)在手叉(16)的長度方向上移動。

    Industrial robot hand and industrial robot

    【技術實現步驟摘要】
    工業用機器人的手及工業用機器人
    本專利技術涉及一種搬運搬運對象物的工業用機器人的手。另外,本專利技術涉及具備這種手的工業用機器人。
    技術介紹
    目前,已知有一種工業用機器人,搬運曝光裝置中使用的掩模(例如,參照專利文獻1)。專利文獻1所記載的工業用機器人具備裝載掩模的手、支承手的基端側的線性驅動部以及支承線性驅動部的本體部。手具備形成為直線狀的兩根手叉。兩根手叉互相平行配置。掩模裝載于兩根手叉上。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2010-76066號公報
    技術實現思路
    專利技術所要解決的技術問題在專利文獻1所記載的工業用機器人被用于例如制造各種尺寸的掩模的掩模生產線的情況下,該工業用機器人需要將各種尺寸的掩模裝載于手上進行搬運。于是,本專利技術的技術問題在于提供一種工業用機器人的手,是搬運搬運對象物的工業用機器人的手,可以適當地裝載各種尺寸的搬運對象物。另外,本專利技術的技術問題在于提供一種具備這種手的工業用機器人。解決技術問題所采用的技術方案為了解決上述技術問題,本專利技術的工業用機器人的手是搬運搬運對象物的工業用機器人手,其特征在于,具備:多個手叉,該多個手叉形成為直線狀且互相平行配置;支承部件,該支承部件配置于手叉的上表面側,支承搬運對象物的下表面并且限制搬運對象物在手叉的長度方向上的移動;以及移動機構,該移動機構使支承部件在手叉的長度方向上移動。本專利技術的工業用機器人的手具備使支承部件在手叉的長度方向上移動的移動機構,該支承部件支承搬運對象物的下表面并且限制搬運對象物在手叉的長度方向上的移動。因此,在本專利技術中,能夠根據搬運對象物的尺寸,使支承部件移動到能適當地支承搬運對象物的下表面的位置。因此,在本專利技術中,可以將各種尺寸的搬運對象物適當地裝載在手上。在本專利技術中,理想的是,手具備支承部件和第二支承部件,所述支承部件相對于手叉能在手叉的長度方向上移動,所述第二支承部件固定于手叉的上表面側并支承搬運對象物的下表面,支承部件限制搬運對象物向手叉的長度方向上的一側移動,第二支承部件限制搬運對象物向手叉的長度方向上的另一側移動。當以這種方式構成時,與限制搬運對象物向手叉的長度方向上的另一側移動的第二支承部件相對于手叉能在手叉的長度方向上移動的情況相比,能夠簡化手的結構。在本專利技術中,理想的是,手具備:固定部件,所述固定部件固定支承部件;橡膠墊,所述橡膠墊為橡膠制,固定于固定部件的下表面;以及第二移動機構,所述第二移動機構使固定部件在橡膠墊以規定接觸壓與手叉的上表面接觸的接觸位置和橡膠墊從手叉的上表面分離的分離位置之間移動。當以這種方式構成時,當固定部件配置于接觸位置時,可以利用橡膠墊和手叉的上表面的摩擦力使支承部件在手叉的長度方向上的規定位置停止。另外,當以這種方式構成時,通過使固定部件移動到分離位置,可以利用移動機構使支承部件在手叉的長度方向上容易地移動。在本專利技術中,理想的是,第二移動機構是氣缸,當固定部件配置于接觸位置時,橡膠墊通過氣缸與手叉的上表面接觸或被按壓在手叉的上表面。當以這種方式構成時,可以增大固定部件配置于接觸位置時的橡膠墊和手叉的上表面之間的摩擦力,所以,可以使支承部件可靠地停止在手叉的長度方向上的規定位置。本專利技術的手可以應用于工業用機器人,所述工業用機器人是具備連接手并且保持手的手保持部的工業用機器人,將手叉的長度方向的一方設為第一方向、將第一方向的相反方向設為第二方向時,搬運對象物裝載于手叉的第二方向側部分,移動機構的驅動源配置于比手與手保持部的連接部分靠第一方向側的位置。在這種工業用機器人中,可以將各種尺寸的搬運對象物適當地裝載在手上。另外,在這種工業用機器人中,在手叉的長度方向上,可以使裝載在手上的搬運對象物和移動機構的驅動源之間的距離較遠,所以,即使在將溫度較高的搬運對象物裝載在手上的情況下,也能夠防止由搬運對象物的熱量的影響導致的移動機構的驅動源的損傷。本專利技術的手可以應用于工業用機器人,所述工業用機器人是具備連接手并且保持手的手保持部的工業用機器人,將手叉的長度方向的一方設為第一方向、將第一方向的相反方向設為第二方向時,搬運對象物裝載于手叉的第二方向側部分,手具備可動部件,該可動部件安裝第二移動機構并且與支承部件一起在手叉的長度方向上移動,移動機構的驅動源配置于比手與手保持部的連接部分靠第一方向側的位置,第二移動機構安裝于可動部件的第一方向端側。在這種工業用機器人中,可以將各種尺寸的搬運對象物適當地裝載在手上。另外,在這種工業用機器人中,在手叉的長度方向上,可以使裝載在手上的搬運對象物和移動機構的驅動源之間的距離較遠,并且可以使裝載在手上的搬運對象物和第二移動機構之間的距離較遠。因此,即使在將溫度較高的搬運對象物裝載在手上的情況下,也能夠防止由搬運對象物的熱量的影響導致的移動機構的驅動源及第二移動機構的損傷。本專利技術的手可以應用于具備手保持部和傾斜修正機構的工業用機器人,所述手保持部連接手并且保持手,所述傾斜修正機構修正裝載于手叉上的搬運對象物相對于水平方向的傾斜。在這種工業用機器人中,可以將各種尺寸的搬運對象物適當地裝載在手上。另外,在這種工業用機器人中,即使手叉因裝載在手叉上的搬運對象物的重量而彎曲,也能夠修正裝載在手叉上的搬運對象物相對于水平方向的傾斜。(專利技術效果)如上所述,在本專利技術的工業用機器人的手中,可以將各種尺寸的搬運對象物適當地裝載在手上。另外,在本專利技術的工業用機器人中,可以將各種尺寸的搬運對象物適當地裝載在手上。附圖說明圖1是本專利技術實施方式的工業用機器人的側視圖。圖2是圖1所示的工業用機器人的俯視圖。圖3是用于說明圖1所示的手的結構的俯視圖。圖4是用于說明圖1所示的手的結構的圖。圖5中,(A)是用于說明圖1的E部的結構的放大圖,(B)是用于說明說明圖1的F部的結構的放大圖。圖6中,(A)是用于說明圖2的G部的結構的放大圖,(B)是用于說明圖2的H部的結構的放大圖。圖7中,(A)是用于說明圖4的(A)的J部的放大圖,(B)是圖4的(B)的K部的放大圖。圖8是用于說明圖1的M部的結構的放大圖。圖9是用于說明圖8的N-N截面的結構進行說明的圖。附圖標記說明1機器人(工業用機器人)2掩模(搬運對象物)3手4臂(手保持部)16手叉17支承部件18支承部件(第二支承部件)19移動機構20固定部件20A接觸位置20B分離位置21橡膠墊22氣缸(第二移動機構)23關節部(手與手保持部的連接部分)29電動機(移動機構的驅動源)34可動部件46傾斜修正機構X手叉的長度方向X1第二方向X2第一方向具體實施方式以下,參照附圖對本專利技術的實施方式進行說明。(工業用機器人的整體結構)圖1是本專利技術實施方本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    1.一種手,是搬運搬運對象物的工業用機器人的手,其特征在于,具備:/n多個手叉,所述多個手叉形成為直線狀且互相平行配置;/n支承部件,所述支承部件配置于所述手叉的上表面側,支承所述搬運對象物的下表面并且限制所述搬運對象物在所述手叉的長度方向上的移動;以及/n移動機構,所述移動機構使所述支承部件在所述手叉的長度方向上移動。/n

    【技術特征摘要】
    20181024 JP 2018-2000121.一種手,是搬運搬運對象物的工業用機器人的手,其特征在于,具備:
    多個手叉,所述多個手叉形成為直線狀且互相平行配置;
    支承部件,所述支承部件配置于所述手叉的上表面側,支承所述搬運對象物的下表面并且限制所述搬運對象物在所述手叉的長度方向上的移動;以及
    移動機構,所述移動機構使所述支承部件在所述手叉的長度方向上移動。


    2.根據權利要求1所述的手,其特征在于,具備:
    所述支承部件,所述支承部件相對于所述手叉能在所述手叉的長度方向上移動;以及
    第二支承部件,所述第二支承部件固定于所述手叉的上表面側并支承所述搬運對象物的下表面,
    所述支承部件限制所述搬運對象物向所述手叉的長度方向上的一側移動,
    所述第二支承部件限制所述搬運對象物向所述手叉的長度方向上的另一側移動。


    3.根據權利要求1或2所述的手,其特征在于,具備:
    固定部件,所述固定部件固定所述支承部件;
    橡膠墊,所述橡膠墊為橡膠制,固定于所述固定部件的下表面;以及
    第二移動機構,所述第二移動機構使所述固定部件在所述橡膠墊以規定接觸壓與所述手叉的上表面接觸的接觸位置和所述橡膠墊從所述手叉的上表面分離的分離位置之間移動。


    4.根據權利要求3所述的手,其特征在于,
    所述第二移動機構是氣...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:矢澤隆之中島弘登
    申請(專利權)人:日本電產三協株式會社
    類型:發明
    國別省市:日本;JP

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