一種機械手定位裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術涉及光刻設備技術領域，尤其涉及一種機械手定位裝置。該定位裝置的滑板可移動地設置在基板上，驅動組件驅動滑板在垂直方向上往復運動。定位組件設置在滑板的頂端，用于為機械手進行水平向定位，減震組件連接在滑板與定位組件之間，用于吸收機械手與定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。該滑板能在驅動組件的驅動作用下在垂直方向上往復運動，有效提高了垂向往復運動時的重復性精度，從而減少垂向運動對水平向重復定位精度的影響，提高機械手的水平向重復定位精度；通過設置減震組件，可有效吸收機械手定位時產(chǎn)生的沖擊振動，進一步提高機械手的水平向重復定位精度，從而提高硅片交接和上片位置重復性精度。

A manipulator positioning device

【技術實現(xiàn)步驟摘要】
一種機械手定位裝置
本專利技術涉及光刻設備
，尤其涉及一種機械手定位裝置。
技術介紹
光刻設備的硅片傳輸系統(tǒng)中，需要用機械手快速、準確、可靠的將硅片從預對準工位傳遞至工件臺上。為保證硅片在從預對準工位到工件臺上的位置精度，要求機械手在取片和放片時的水平向重復定位精度達到1μm。在實際工作中機械手末端定位精度與重復性精度較低，重復性精度在50μm左右，而先進光刻機對硅片的上片重復性精度要求遠高于此，因此，僅僅依靠機械手自身的精度是無法滿足使用需求的。目前在硅片傳輸系統(tǒng)中常用的定位方式為V型槽定位結構。如圖1所示，定位結構安裝在預對準工位或工件臺1’上。在機械手腕部2’設置有兩個定位滾輪3’，定位板4’上設置V型槽41’及定位平面42’。當機械手與目標硅片進行交接時，機械手腕部2’的定位滾輪3’與定位板4’接觸，其中一側的定位滾輪3’與定位板的V型槽41’接觸，另一側的定位滾輪3’與定位平面42’接觸，通過三點接觸，限制機械手末端X、Y、Rz三個方向的自由度，從而對片叉5’的取片或放片過程進行定位。該定位過程中，機械手與定位板4’接觸時會產(chǎn)生沖擊振動，影響水平向定位精度及重復性精度。另一方面，如圖2所示，目前光刻設備的機械手定位結構，其垂向運動單元為電機6’驅動滾珠絲杠結構。由于滾珠絲杠結構自身存在配合間隙，垂向往復運動時的重復性精度較低，垂向運動會影響機械手水平向的重復定位精度，進而影響機械手取片和放片位置的準確性。因此，亟需提供一種機械手定位裝置，以克服現(xiàn)有技術中存在的機械手定位時易產(chǎn)生沖擊振動及水平向重復定位精度低的技術問題。
技術實現(xiàn)思路
本專利技術的目的在于提供一種機械手定位裝置，該定位裝置能夠有效吸收機械手定位時產(chǎn)生的沖擊振動，提高機械手水平向重復定位精度。為達此目的，本專利技術采用以下技術方案：一種機械手定位裝置，包括：基板；滑板，其可移動地設置在所述基板上；驅動組件，所述驅動組件被配置為能夠驅動所述滑板在垂直方向上往復運動；定位組件，其設置在所述滑板的頂端，所述定位組件用于為機械手進行水平向定位；減震組件，其連接在所述滑板與所述定位組件之間，用于吸收所述機械手與所述定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述驅動組件包括電機和凸輪，所述凸輪設置于所述電機的輸出軸上，所述滑板上設置有從動輪，所述從動輪與所述凸輪的周面配合。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，還包括彈性件，所述彈性件的一端固定在所述基板上，另一端固定在所述滑板上，所述彈性件被配置為使所述從動輪始終與所述凸輪周面接觸。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述定位組件包括定位板和調整板，所述定位板上設置有若干定位凸臺，若干所述定位凸臺均與所述調整板接觸。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述定位凸臺與所述定位板一體成型。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述定位板的一端設置有V型槽，另一端設置有定位平面，所述機械手上的兩個定位滾輪分別與所述V型槽和所述定位平面接觸定位。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述減震組件包括兩個簧片，分別設置在所述滑板頂部的兩端，所述簧片呈U型，所述簧片包括底部和兩個側部，所述底部固定在所述滑板上，兩個所述側部分別固定在所述定位板和所述調整板上。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述減震組件包括兩組彈簧，分別設置在所述滑板頂部的兩端，每組所述彈簧均包括第一彈簧和第二，所述第一彈簧連接所述滑板和所述定位板，所述第二彈簧連接所述滑板和所述調整板。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述滑板與所述基板之間通過導軌與滑塊連接。作為上述機械手定位裝置的優(yōu)選技術方案，所述滑板與所述基板之間通過交叉滾子導軌連接。與現(xiàn)有技術相比，本專利技術的優(yōu)點及有益效果在于：本專利技術提供的機械手定位裝置，滑板可移動地設置在基板上，驅動組件能夠驅動滑板在垂直方向上往復運動。定位組件設置在滑板的頂端，用于為機械手進行水平向定位，減震組件連接在滑板與定位組件之間，用于吸收機械手與定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。該機械手定位裝置中的滑板能在驅動組件的驅動作用下在垂直方向上往復運動，相較于現(xiàn)有技術中的滾珠絲杠垂向運動結構自身存在的間隙誤差，有效提高了垂向往復運動時的重復性精度，從而減少垂向運動對水平向重復定位精度的影響，提高機械手的水平向重復定位精度；通過設置減震組件，可有效吸收機械手定位時產(chǎn)生的沖擊振動，進一步提高機械手的水平向重復定位精度，從而提高硅片交接和上片位置重復性精度。附圖說明圖1是現(xiàn)有技術提供的機械手定位裝置工作時的俯視圖；圖2是現(xiàn)有技術提供的機械手定位裝置的垂向運動單元的結構示意圖；圖3是本專利技術提供的機械手定位裝置的結構示意圖；圖4是本專利技術提供的機械手定位裝置的主視圖；圖5是本專利技術提供的機械手定位裝置的側視圖；圖6是本專利技術提供的導軌與滑塊的結構示意圖；圖7是本專利技術提供的交叉滾子導軌的結構示意圖；圖8是本專利技術提供的定位板的安裝示意圖；圖9是本專利技術提供的定位板的另一安裝示意圖；圖10是本專利技術提供的機械手工作時的結構簡圖。圖中：1’-預對準工位或工件臺；2’-機械手腕部；3’-定位滾輪；4’-定位板；41’-V型槽；42’-定位平面；5’-片叉；6’-電機；1-基板；2-滑板；3-減震組件；4-電機；5-凸輪；6-從動輪；7-彈性件；8-定位板；81-定位凸臺；9-調整板；10-導軌；11-滑塊；12-交叉滾子導軌；13-定位滾輪；14-片叉。具體實施方式下面結合附圖和實施方式進一步說明本專利技術的技術方案。可以理解的是，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本專利技術，而非對本專利技術的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本專利技術相關的部分而非全部。如圖3-圖5所示，本實施例提供了一種機械手定位裝置，用于對機械手在將硅片從預對準工位傳遞至工件臺過程中的取片和放片進行定位。該定位裝置包括基板1、滑板2、驅動組件、定位組件和減震組件3。其中，基板1固定在機架上，滑板2可移動地設置在基板1上。驅動組件被配置為能夠驅動滑板2在垂直方向上往復運動。定位組件設置在滑板2的頂端，用于為機械手進行水平向定位。減震組件3連接在滑板2與定位組件之間，用于吸收機械手與定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。具體地，參見圖3-5，上述驅動組件包括電機4，以及連接在電機4輸出軸上的凸輪5，電機4的旋轉驅動凸輪5旋轉。滑板2上設置有從動輪6，從動輪6與凸輪5的周面配合。滑板2與基板1之間設置有彈性件7，該彈性件7被配置為使得滑板2相對于基板1在垂直上方移動。以此方式，從動輪6始終與凸輪5的外周面的下緣緊密配合，并由凸輪5的外周輪廓形狀限定滑板2的垂直運動軌跡，從而將凸輪5的旋轉運動轉換成滑板2的直線運動。滑板2與基板1之間通過滑軌10與本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
1.一種機械手定位裝置，其特征在于，包括：/n基板(1)；/n滑板(2)，其可移動地設置在所述基板(1)上；/n驅動組件，所述驅動組件被配置為能夠驅動所述滑板(2)在垂直方向上往復運動；/n定位組件，其設置在所述滑板(2)的頂端，所述定位組件用于為機械手進行水平向定位；/n減震組件(3)，其連接在所述滑板(2)與所述定位組件之間，用于吸收所述機械手與所述定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。/n

【技術特征摘要】
1.一種機械手定位裝置，其特征在于，包括：
基板(1)；
滑板(2)，其可移動地設置在所述基板(1)上；
驅動組件，所述驅動組件被配置為能夠驅動所述滑板(2)在垂直方向上往復運動；
定位組件，其設置在所述滑板(2)的頂端，所述定位組件用于為機械手進行水平向定位；
減震組件(3)，其連接在所述滑板(2)與所述定位組件之間，用于吸收所述機械手與所述定位組件接觸時產(chǎn)生的沖擊振動。


2.根據(jù)權利要求1所述的機械手定位裝置，其特征在于，所述驅動組件包括電機(4)和凸輪(5)，所述凸輪(5)設置于所述電機(4)的輸出軸上，所述滑板(2)上設置有從動輪(6)，所述從動輪(6)與所述凸輪(5)的周面配合。


3.根據(jù)權利要求2所述的機械手定位裝置，其特征在于，還包括彈性件(7)，所述彈性件(7)的一端固定在所述基板(1)上，另一端固定在所述滑板(2)上，所述彈性件(7)被配置為使所述從動輪(6)始終與所述凸輪(5)周面接觸。


4.根據(jù)權利要求1所述的機械手定位裝置，其特征在于，所述定位組件包括定位板(8)和調整板(9)，所述定位板(8)上設置有若干定位凸臺(81)，若干所述定位凸臺(81)均與所述調整板(9)接觸。


5.根據(jù)權利...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：文靜，張闊峰，陶洪建，鄭鋒標，
申請(專利權)人：上海微電子裝備集團股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：上海;31