排氣裝置及排氣方法制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種用于玻璃微粒沉積體制造裝置的排氣裝置及排氣方法，其有效地從來自反應容器的廢氣中回收硅氧烷，并且檢測殘留在廢氣中的硅氧烷的氣體檢測器的檢測性能不會降低。排氣裝置(1)經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體G的反應容器(100)中排出至廢氣處理裝置(200)，具有：原料回收部(10)，其設置于排氣線路中，并且回收廢氣中所含的原料；去除機構(20)，其設置于排氣線路中的原料回收部(10)的后段，并且除去廢氣中所含的玻璃微粒和水分以用于濃度檢測；以及氣體檢測器(30)，其利用經由去除機構(20)而被除去了玻璃微粒和水分的濃度檢測用氣體來檢測原料濃度。

Exhaust device and method

【技術實現步驟摘要】
排氣裝置及排氣方法
本專利技術涉及用于玻璃微粒沉積體制造裝置的排氣裝置及排氣方法。
技術介紹
專利文獻1記載了合成石英玻璃制造裝置中的排氣裝置，并且記載了壓力檢測方法作為排氣裝置內的參數檢測方法的一個例子。[現有技術文獻][專利文獻][專利文獻1]日本特開2008-137871號公報
技術實現思路
[專利技術所要解決的問題]由于在從玻璃微粒沉積體制造裝置的反應容器中排出的廢氣中含有殘留的原料氣體或玻璃微粒等，因而通過使用了靜電除塵機等的清潔塔等廢氣處理裝置來進行處理。作為玻璃微粒沉積體制造用的原料氣體，通常使用四氯化硅，但是有時也使用硅氧烷。硅氧烷具有容易起火的性質，如果廢氣中存在有未反應的硅氧烷，則靜電或由靜電除塵機產生的火花等可能引起火焰，硅氧烷可能會起火。因此，期望的是，在檢測到排氣管中的廢氣的硅氧烷濃度在被送到廢氣處理裝置之前就已經達到了爆炸極限濃度的基準值以上的情況下，實施停止原料氣體的供給并停止設備等措施。然而，若在排氣管內設置用于檢測硅氧烷的氣體檢測器，則通常在排氣管內的環境下，玻璃微粒沉積在氣體檢測器中等，因而檢測性能迅速降低。另外，由于在硅氧烷的氧化反應中生成水，因而當在氣體檢測器中發生結露時，檢測性能也會降低。此外，期望的是，在將廢氣輸送到廢氣處理裝置之前從廢氣中回收硅氧烷以降低硅氧烷的濃度。因此，本專利技術的目的在于提供一種排氣裝置及排氣方法，其中能夠在有效地從由反應容器排出的廢氣中回收硅氧烷的同時準確地檢測殘留在廢氣中的硅氧烷的濃度。[用于解決問題的手段]根據本專利技術一個方面的排氣裝置，其經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體的反應容器中排出至廢氣處理裝置，具有：原料回收部，其設置于所述排氣線路中，并且回收所述廢氣中所含的所述原料；去除機構，其設置于所述排氣線路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述廢氣中所含的玻璃微粒和水分以用于濃度檢測；以及氣體檢測器，其利用經由所述去除機構而被除去了玻璃微粒和水分的濃度檢測用氣體來檢測原料濃度。另外，根據本專利技術一個方面的排氣方法，其經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體的反應容器中排出至廢氣處理裝置，包括：原料回收步驟，其中通過設置于所述排氣線路中的原料回收部，從而回收所述廢氣中所含的所述原料；除去步驟，其中通過設置于所述排氣線路中的所述原料回收部的后段的去除機構，從而除去所述廢氣中所含的玻璃微粒和水分以用于濃度檢測；以及原料濃度檢測步驟，其中通過氣體檢測器來檢測經由所述除去步驟而被除去了玻璃微粒和水分的濃度檢測用氣體的原料濃度，并且當檢測出的原料濃度超過預定值時發出警告。[專利技術的效果]根據上述專利技術所涉及的排氣裝置及排氣方法，能夠在有效地從由反應容器排出的廢氣中回收硅氧烷的同時準確地檢測殘留在廢氣中的硅氧烷的濃度。附圖簡要說明[圖1]是根據本專利技術實施方式的排氣裝置的示意性結構圖。[符號說明]1：排氣系統10：原料回收部11：L形管11a：開口部12：有底圓筒形管13：吸附劑14：冷卻機構20：去除機構21：吸管21a：吸入口22：玻璃微粒回收箱22a：玻璃微粒回收結構22b：水分吸附劑23(23a、23b)：多級過濾器24：流量計25：輸出管25a：輸出口30：氣體檢測器40：恒溫槽100：反應容器101：排出口150：排氣管200：廢氣處理裝置G：玻璃微粒沉積體具體實施方式(本專利技術的實施方式的說明)首先，列出本專利技術的實施方式來進行說明。根據本專利技術的一個方面的排氣裝置，(1)一種排氣裝置，其經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體的反應容器中排出至廢氣處理裝置，具有：原料回收部，其設置于所述排氣線路中，并且回收所述廢氣中所含的所述原料；去除機構，其設置于所述排氣線路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述廢氣中所含的玻璃微粒和水分以用于濃度檢測；以及氣體檢測器，其利用經由所述去除機構而被除去了玻璃微粒和水分的濃度檢測用氣體來檢測原料濃度。根據上述構成，通過設置在排氣線路中的原料回收部，從而可以有效地回收作為玻璃微粒沉積體的原料的硅氧烷。另外，通過利用去除機構來除去廢氣中所含的玻璃微粒和水分，從而可以制成適合于硅氧烷濃度檢測的氣體。通過利用氣體檢測器來測定該濃度檢測用氣體的硅氧烷濃度，從而可以準確地檢測出殘留在廢氣中的硅氧烷濃度。由此，可以準確地檢測出廢氣中的硅氧烷濃度是否達到爆炸極限濃度的基準值以上。若硅氧烷的濃度為爆炸極限濃度的基準值以上，則可以進行停止原料氣體的供給等措施。因此，可以防止硅氧烷在廢氣處理裝置內起火。(2)所述去除機構可以具有：玻璃微粒回收箱，其內部設置有玻璃微粒回收結構并且配置有水分吸附劑；多級過濾器，其設置在所述玻璃微粒回收箱的后段；以及流量計，其設置在所述多級過濾器的后段，并且用于確認所述濃度檢測用氣體的流量。根據上述構成，由于玻璃微粒回收結構設置在玻璃微粒回收箱的內部，因而可以在路徑途中除去玻璃微粒，此外還可以通過多級過濾器來更精確地過濾并除去玻璃微粒。另外，可以利用水分吸附劑來除去水分。而且，通過流量計確認濃度檢測用氣體的流量，從而可以將適量的濃度檢測用氣體輸送至氣體檢測器。(3)具有恒溫槽，所述多級過濾器、所述流量計以及所述氣體檢測器可以設置在所述恒溫槽內。根據上述構成，由于將多級過濾器、流量計以及氣體檢測器設置在恒溫槽內，因而可以防止濃度檢測用氣體的結露。因此，可以防止由結露所造成的氣體檢測器的檢測性能的劣化。(4)所述原料回收部可以具有：L形管，其被配置為使得前端的開口部朝下；有底圓筒形管，其被設置成覆蓋所述L形管的開口部，其底部封閉并且上部連通至所述廢氣處理裝置；吸附劑，其配置于所述有底圓筒形管的底部；以及冷卻機構，其對所述有底圓筒形管的底部進行冷卻。根據上述構成，由于L形管的前端的開口部被配置為朝下，因而將通過了L形管的廢氣吹至有底圓筒形管的底部以使其接觸到配置于底部的吸附劑。另外，通過對底部進行冷卻的冷卻機構，從而使廢氣中所含的硅氧烷液化并容易被吸附劑吸附。另外，根據本專利技術的一個方面的排氣方法，(5)一種排氣方法，其經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體的反應容器中排出至廢氣處理裝置，包括：原料回收步驟，其中通過設置于所述排氣線路的原料回收部，從而回收所述廢氣中所含的所述原料；除去步驟，其中通過設置于所述排氣線路中的所述原料回收部的后段的去除機構，從而除去所述廢氣中所含的玻璃微粒和水分以本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種排氣裝置，其經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體的反應容器中排出至廢氣處理裝置，具有：/n原料回收部，其設置于所述排氣線路中，并且回收所述廢氣中所含的所述原料；/n去除機構，其設置于所述排氣線路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述廢氣中所含的玻璃微粒和水分以用于濃度檢測；以及/n氣體檢測器，其利用經由所述去除機構而被除去了玻璃微粒和水分的濃度檢測用氣體來檢測原料濃度。/n

【技術特征摘要】
20181204 JP 2018-2271141.一種排氣裝置，其經由排氣線路而將廢氣從以硅氧烷作為原料來制造玻璃微粒沉積體的反應容器中排出至廢氣處理裝置，具有：
原料回收部，其設置于所述排氣線路中，并且回收所述廢氣中所含的所述原料；
去除機構，其設置于所述排氣線路中的所述原料回收部的后段，并且除去所述廢氣中所含的玻璃微粒和水分以用于濃度檢測；以及
氣體檢測器，其利用經由所述去除機構而被除去了玻璃微粒和水分的濃度檢測用氣體來檢測原料濃度。


2.根據權利要求1所述的排氣裝置，
所述去除機構具有：
玻璃微粒回收箱，其內部設置有玻璃微粒回收結構、并且配置有水分吸附劑；
多級過濾器，其設置在所述玻璃微粒回收箱的后段；以及
流量計，其設置在所述多級過濾器的后段，并且用于確認所述濃度檢測用氣體的流量。


3.根據權利要求2所述的排氣裝置，其具有恒溫槽，
所述多級過濾器、所述流量計以...

【專利技術屬性】
技術研發人員：守屋知巳，
申請(專利權)人：住友電氣工業株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP