本發(fā)明專利技術(shù)公開一種用于振鏡電機系統(tǒng)中的電容傳感器的控制方法，包括電容傳感器、與電容傳感器相連的相減電路和相加電路，以及給電容傳感器提供能量的高頻電源，包括數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器、增益檔位調(diào)節(jié)器，電容傳感器獲得的值經(jīng)相加電路求和；求和后獲得的值與數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器處理的值共同輸入比較電路；經(jīng)比較電路比較，獲得的增益調(diào)節(jié)值提供給高頻電源；相減電路對電容傳感器獲得的值相減后經(jīng)增益檔位調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)后輸出位置信號。該控制方法的特點在于利用電容傳感器的傳感區(qū)域求和后使用數(shù)字／模擬轉(zhuǎn)換器（ＤＡＣ）進行增益控制，在避免使用超高精度手工調(diào)節(jié)電位器的情況下做到低溫漂增益控制的目的，并使控制獲得數(shù)字接口。
Control method of capacitance sensor
The invention discloses a method for controlling the capacitance sensor of vibration mirror motor in the system, including the subtraction circuit and drive circuit is connected with the capacitance sensor, capacitance sensor, capacitance sensor and to provide energy for high frequency power supply, including digital to analog converter, gain gear regulator, capacitance sensor values obtained by adding circuit summation value; and digital to analog converter with common input value comparison circuit obtained after summation; by comparison circuit compares the gain adjustment value for high frequency power supply; subtraction circuit for capacitive sensor values obtained after subtracting by the gain shift regulator output position signal. The characteristics of this control method is to use capacitance sensor for sensing area and the use of digital to analog converter (DAC) to gain control, to avoid the use of ultra high precision potentiometer manual under the condition of low temperature drift and gain control to do, and to obtain digital interface control.
【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)是關(guān)于一種傳感器的控制方法，尤指一種數(shù)字增益電容傳感器的 控制方法。技術(shù)背景電容傳感器是常見的一種靈敏傳感器，其中差動電容傳感器是性能比較好 的 一種電容傳感器。在振鏡伺服電機中差動電容傳感器更是被普遍采用的， 一般是使兩個差動的極對獲得的數(shù)值相減從而獲得變化量。同時，把兩個差 動的極對獲得的數(shù)值的和作為一個常數(shù)來控制，從而抵抗溫度變化引起的飄 移。該傳統(tǒng)用法的控制框圖可見圖1，傳統(tǒng)的系統(tǒng)是電容傳感器l將兩個差動的極對獲得的數(shù)值通過相加電路2求和得到一個電壓值，該電壓值與精密電 壓源4輸出的電壓值經(jīng)過比較電路3直接相比較，進而輸出電壓值控制高頻 電源5供給給電容傳感器1的能量，使得電容傳感器1的和始終是一個固定 的常數(shù)，從而抵御溫度等環(huán)境變化帶來的漂移。為了與外部控制接口匹配， 電容傳感器1的兩個差動極對獲得的數(shù)值通過相減電路6的相減運算后獲得 的電壓值，再經(jīng)過增益調(diào)節(jié)電路7增益調(diào)節(jié)后輸出位置信號。 這樣的結(jié)構(gòu)有幾個缺點1. 增益調(diào)節(jié)電路使用電位器做增益調(diào)節(jié)將產(chǎn)生較大的漂移，因為電位器 要做精密低溫漂是非常困難和昂貴的，世界上僅有很少的廠家能做出 這樣的電位器。2. 電位器需手工調(diào)節(jié)，費時費力，調(diào)節(jié)的精度不高，隨意性也比較大。3. 低溫漂精密電位器的調(diào)節(jié)壽命很短，調(diào)節(jié)次數(shù)一多就會損壞。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所欲解決的技術(shù)問題是提供一種，利用該 控制方法控制電容傳感器能在振鏡伺服電機等高要求的應(yīng)用場合中，達到高精度、低溫漂的調(diào)節(jié)目的。本專利技術(shù)所釆用的技術(shù)方案是 一種用于振鏡電機系統(tǒng)中的電容傳感器的 控制方法，包:fe電容傳感器、與電容傳感器相連的相減電路和相加電路，以 及給電容傳感器提供能量的高頻電源，包括數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器、增益檔位調(diào)節(jié) 器，電容傳感器獲得的值經(jīng)相加電路求和；求和后獲得的值與數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換 器處理的值共同輸入比較電路；經(jīng)比較電路比較，獲得的增益調(diào)節(jié)值提供給輸出位置信號。所述電容傳感器包括一對或多對差動電容極對。電容傳感器包括公共的能量發(fā)射源面、位移檢測區(qū)域、與位移相關(guān)的中 間介質(zhì)。中間介質(zhì)為陶瓷。微型處理器與計算機相連，計算機對微型處理器進行操作。增益檔位調(diào)節(jié)器采用數(shù)字電位器，數(shù)字電位器與微型處理器相連，微型 處理器設(shè)定數(shù)字電位器的檔位選擇系數(shù)。數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器分別與精密電壓源和微型處理器相連，微型處理器設(shè)定 的電壓值和精密電壓源提供的電壓共同輸入數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器進行處理。本專利技術(shù)所達到的技術(shù)效果是本專利技術(shù)通過數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器(DAC)代替 傳統(tǒng)的精密電壓參考源，同時用高穩(wěn)定的數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器代替增益調(diào)節(jié) 電路，非常方便地達到了高精度低溫漂的調(diào)節(jié)目的；由于采用數(shù)字調(diào)節(jié)的方 案使得調(diào)節(jié)可以通過計算機進行，減少了勞動強度和調(diào)節(jié)的人為隨意性。附圖說明下面參照附圖結(jié)合實施例對本專利技術(shù)作進一步的描述。 圖l是本專利技術(shù)差動電容傳感器現(xiàn)有技術(shù)的工作流程框圖。 圖2是本專利技術(shù)差動電容傳感器的工作流程框圖。具體實施方式本專利技術(shù)是一種創(chuàng)新的振鏡系統(tǒng)使用的位移、轉(zhuǎn)角差動電容傳感器的控制方 法。該控制方法的特點在于利用差動電容傳感器的傳感區(qū)域求和后使用數(shù)字/ 模擬轉(zhuǎn)換器(DAC)進行增益控制，在避免使用超高精度手工調(diào)節(jié)電位器的 情況下做到低溫漂增益控制的調(diào)節(jié)目的，并使控制獲得數(shù)字接口 。如圖2所示，本專利技術(shù)的電容傳感器IO包括一對差動電容極對11，其中包 括公共的能量發(fā)射源面12、兩個電學(xué)上獨立的位移檢測區(qū)域13、 14、 一個與 位移相關(guān)的中間介質(zhì)15。本專利技術(shù)的中間介質(zhì)15為陶瓷。電容傳感器IO還可 采用多對差動電容才及對。本專利技術(shù)與電容傳感器10相連有相減電路70、相加電路20、高頻電源50， 與相減電路70連接有數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器80,與相加電路20連接有比較電 路30，與比較電路30進一步連接有數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 60，以及與數(shù) 字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 60連接有精密電壓源40，高頻電源50與比較電路30 連接。相加電路20、比較電路30、數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 60和精密電壓 源40構(gòu)成本專利技術(shù)的增益控制調(diào)節(jié)環(huán)，另有微型處理器90與數(shù)字增益檔位調(diào) 節(jié)器80、數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 60和計算機100分別相連。電容傳感器10的檢測區(qū)域13、 14同時與一個相減電路70連接，差動的 極對11獲得的值經(jīng)相減電路70運算后經(jīng)數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器80增益調(diào)節(jié)， 從而輸出位置信息或信號。微型處理器卯與數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器80相連， 并可對其設(shè)置可變的設(shè)定檔位值。所述的數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器80在本專利技術(shù)中 是使用數(shù)字電位器進行選擇的。本專利技術(shù)為了對位置輸出信號進行增益控制， 首先通過圖2中的數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器80進行增益范圍的選擇，由于采用數(shù) 字電位器進行增益放大，而數(shù)字電位器芯片內(nèi)的精密電阻在同 一個芯片內(nèi)， 所以一致性很好(溫度相同)，溫度變化引起的比例變化就很小， 一般可以達 到5PPM也就是百萬分之五。電容傳感器IO的位移檢測區(qū)域13、 14與一個相加電路20連接，經(jīng)相加 電路20求和后用于增益控制調(diào)節(jié)環(huán)節(jié)；增益控制環(huán)包括相加電路20、比較電 路30、數(shù)字摸擬轉(zhuǎn)換器60、以及精密電壓源40，相加電路20對自差動電容 極對11獲得的值相加求和后給增益控制環(huán)提供一個反饋的值微型處理器90 和精密電壓源40分別與數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 60相連，微型處理器90可 以對數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器60給定一個可以改變的電壓信號，精密電壓源40提供 預(yù)定電壓值，二者電壓值經(jīng)數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC) 60后給增益控制環(huán)提供 控制的目標(biāo)值，經(jīng)相加電路20輸出的反饋電壓值和經(jīng)數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器(DAC ) 60輸出的目標(biāo)值再進一步經(jīng)比較電路30比較后輸出至高頻電源50，高頻電 源50用于給電容傳感器IO的公共能量發(fā)射源面12提供能量，高頻電源50 的頻率范圍為1MHZ-500MHZ。總之，增益控制環(huán)用于調(diào)節(jié)高頻電源50的能量。上述的增益控制環(huán)的控制目標(biāo)是通過上述數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器60給定的一個可以改變的電壓信號，同時把差動電容傳感器10的和與數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器60 進行比較控制高頻電源50的輸出能量，對電容傳感器IO的增益進行微調(diào)。 由于數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器60的精度比較高，通常為十-l/2LSB，并且有內(nèi)建的反饋 電阻，所以精度也很高。于是，通過這樣創(chuàng)新的控制結(jié)構(gòu)就做到了避免使用 超高精度的傳統(tǒng)人工調(diào)節(jié)電位器，但卻得到了比傳統(tǒng)方法更好的效果。本專利技術(shù)的微型處理器(MCU) 90與計算機IOO相連，通過計算機IOO利 用軟件對微型處理器卯進行控制和設(shè)定值。故本專利技術(shù)調(diào)節(jié)方法還能非常方便 地通過通訊接口與計算機接口，從而使調(diào)節(jié)不需要拆裝機器的外殼。又由于 所采用的器件都是無觸點的調(diào)節(jié)方案，所以比傳統(tǒng)的高精度電位器壽命大大 提高，傳統(tǒng)的高精度電位器一般的使用壽命為調(diào)節(jié)200次就要報廢，但本發(fā) 明新的調(diào)節(jié)方案卻可以調(diào)節(jié)上千萬次，大大提高了該電容傳感器的可靠性。本專利技術(shù)技術(shù)方案可行性的理論驗證推理步驟如下設(shè)精密電壓源40提供的值為Uref，通過計算機IOO及微型處理器90給 數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器60設(shè)定值為Vda，數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器60的滿值為VfUll, U為 電容傳感器IO的零點輸出值，AU為電容傳感器IO因位移移動引起的變化 量，k為微型處理器卯為數(shù)字增益檔位調(diào)節(jié)器80設(shè)置本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護點】
一種用于振鏡電機系統(tǒng)中的電容傳感器的控制方法，包括電容傳感器、與電容傳感器相連的相減電路和相加電路，以及給電容傳感器提供能量的高頻電源，其特征在于：包括數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器、增益檔位調(diào)節(jié)器，控制方法包括以下步驟，電容傳感器獲得的值經(jīng)相加電路求和；求和后獲得的值與數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器處理的值共同輸入比較電路；經(jīng)比較電路比較，獲得的增益調(diào)節(jié)值提供給高頻電源；相減電路對電容傳感器獲得的值相減后經(jīng)增益檔位調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)后輸出位置信號。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：高云峰，陳克勝，
申請(專利權(quán))人：深圳市大族激光科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：94[中國|深圳]
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