本申請公開了一種探針的定位方法及裝置、非易失性存儲介質、處理器。其中，該方法包括：獲取聚焦后得到的探針圖像，并對探針圖像進行二值化處理，生成探針圖像對應的二值圖；從連通域中確定目標連通域；獲取目標連通域構成的集合中在目標半徑范圍內的第一目標連通域，獲取每個第一目標連通域對應的目標二值圖，獲取目標二值圖中的第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點；對目標邊緣輪廓點進行函數擬合，并依據擬合結果確定探針的位置信息。本申請解決了由于現有的探針識別是基于針尖發亮區域計算其質心，并將所述質心作為探針圖像中的探針中心,造成的探針識別過程中存在較大定位偏差以及穩定性不足的技術問題。位偏差以及穩定性不足的技術問題。位偏差以及穩定性不足的技術問題。
【技術實現步驟摘要】
探針的定位方法及裝置、非易失性存儲介質、處理器
[0001]本申請涉及探針臺探針定位
，具體而言，涉及一種探針的定位方法及裝置、非易失性存儲介質、處理器。
技術介紹
[0002]隨著現代電子裝置對小型化、輕量化、高性能化、多功能化、低功耗化和低成本化方面的要求不斷提高，集成電路芯片的特征尺寸不斷縮小，且集成規模迅速擴大，芯片封裝技術也在不斷革新，凸點加工工藝也因此發展起來，凸點加工工藝過程中的晶圓測試也越來越流行，晶圓測試需要采用特殊的探針進行扎針測試，其中皇冠針居多。而測試的過程中需要進行對針，即確定探針所在的位置，對針過程中一方面要確定晶圓上凸點的坐標位置，另一方面要確定探針的坐標位置。
[0003]但是，相對于常規的探針，皇冠針具有形態上的特殊性，且不同拍攝角度和高度形態會有較大變化。傳統的懸臂針在形態上呈現發亮團狀，懸臂針識別算法基于發亮區域計算其質心，并將質心作為圖像中的探針中心。而皇冠針由于與常規探針在形態上存在差異，發亮區域呈現不穩定的狀態，無法將發亮區域的質心作為皇冠針的定位中心，而目前也沒有一套公開的對皇冠針識別的算法。
[0004]針對上述的問題，目前尚未提出有效的解決方案。
技術實現思路
[0005]本申請實施例提供了一種探針的定位方法及裝置、非易失性存儲介質、處理器，以至少解決由于現有的探針識別是基于針尖發亮區域計算其質心，并將所述質心作為探針圖像中的探針中心,造成的探針識別過程中存在較大定位偏差以及穩定性不足的技術問題。
[0006]根據本申請實施例的一個方面，提供了一種探針的定位方法，包括：獲取聚焦后得到的探針圖像，并對探針圖像進行二值化處理，生成探針圖像對應的二值圖，其中，探針的針柱部分為二值圖中的第一顏色分量構成的連通域，探針的針柱以外的部分為二值圖中的第二顏色分量；從連通域中確定目標連通域；獲取目標連通域構成的集合中在目標半徑范圍內的第一目標連通域，獲取每個第一目標連通域對應的目標二值圖，獲取目標二值圖中的第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點；對目標邊緣輪廓點進行函數擬合，并依據擬合結果確定探針的位置信息。
[0007]可選地，從連通域中確定目標連通域，包括：通過形態學操作中的膨脹操作連接多個連通域，得到第一連通域；將第一顏色分量填充至第一連通域內的第二顏色分量中，確定目標連通域。
[0008]可選地，確定目標連通域之后，方法還包括：去除目標連通域邊緣凸起的毛刺。
[0009]可選地，獲取目標二值圖中的第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點，包括：獲取第一目標連通域的邊緣輪廓；根據第一目標連通域的邊緣輪廓，獲取第一目標連通域的邊緣輪廓對應的目標包圍框，其中，目標包圍框為四條邊全部與第一目標連通域的邊
緣輪廓相切的矩形；獲取第一目標連通域的邊緣輪廓點中與目標包圍框上的點坐標相同的目標點，將目標點確定為異常邊緣輪廓點；將異常邊緣輪廓點從邊緣輪廓點中去除,確定目標邊緣輪廓點。
[0010]可選地，獲取第一目標連通域的邊緣輪廓之前，方法還包括：去除第一目標連通域的邊緣輪廓的凸出部分；填充第一目標連通域的邊緣輪廓的凹陷部分。
[0011]可選地，對目標邊緣輪廓點進行函數擬合，并依據擬合結果確定探針的位置信息，包括：利用圓擬合算法計算目標邊緣輪廓點的邊緣函數；根據邊緣函數確定探針的圓心坐標以及探針的半徑。
[0012]可選地，根據目標邊緣輪廓點的坐標以及邊緣函數確定探針的圓心坐標以及探針的半徑之后，方法還包括：確定與探針圖像中心的距離為目標距離的目標探針的圓心坐標和半徑；當目標探針的圓心坐標超過第一設定閾值時，重新獲取探針圖像。
[0013]可選地，對探針圖像進行二值化處理之前，方法還包括：將探針圖像進行灰度化處理；降低探針圖像中亮度值超過第二設定閾值的區域的亮度；確定探針圖像的背景亮度為目標背景亮度。
[0014]可選地，確定探針圖像的背景亮度為目標背景亮度，包括：確定探針圖像中目標像素點的數量，其中，目標像素點為像素值超過目標預設值的像素點；將目標像素點的數量與探針圖像的目標面積進行比較，其中，目標面積為根據探針圖像面積的預設比例確立的面積；若目標像素點的數量大于目標面積，確定探針圖像的背景亮度為目標背景亮度；若目標像素點的數量不大于目標面積，確定探針圖像的背景亮度不為目標背景亮度，并生成告警信息。
[0015]可選地，獲取目標連通域構成的集合中在目標半徑范圍內的第一目標連通域，包括：當目標連通域構成的集合中在目標半徑范圍內不存在連通域時，生成報警信息并重新獲取探針圖像。
[0016]根據本申請實施例的再一方面，還提供了一種非易失性存儲介質，存儲介質包括存儲的程序，其中，程序運行時控制存儲介質所在的設備執行以上的探針的定位方法。
[0017]根據本申請實施例的再一方面，還提供了一種處理器，處理器用于運行存儲在存儲器中的程序，其中，程序運行時執行以上的探針的定位方法。
[0018]在本申請實施例中，采用獲取聚焦后得到的探針圖像，并對探針圖像進行二值化處理，生成探針圖像對應的二值圖，其中，探針的針柱部分為二值圖中的第一顏色分量構成的連通域，探針的針柱以外的部分為二值圖中的第二顏色分量；從連通域中確定目標連通域；獲取目標連通域構成的集合中在目標半徑范圍內的第一目標連通域，獲取每個第一目標連通域對應的目標二值圖，獲取目標二值圖中的第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點；對目標邊緣輪廓點進行函數擬合，并依據擬合結果確定探針的位置信息的方式，通過對探針二值圖進行形態學操作、孔洞填充、去除邊緣毛刺等操作以及對探針邊緣輪廓點進行篩選，達到了提升探針邊緣提取精度的目的，從而實現了更加精準以及更加穩定的進行探針定位的技術效果，進而解決了由于現有的探針識別是基于針尖發亮區域計算其質心，并將所述質心作為探針圖像中的探針中心,造成的探針識別過程中存在較大定位偏差以及穩定性不足技術問題。
附圖說明
[0019]此處所說明的附圖用來提供對本申請的進一步理解，構成本申請的一部分，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中：
[0020]圖1是根據本申請實施例的一種探針的定位方法的流程圖；
[0021]圖2是本申請實施例的一種從連通域中確定目標連通域的流程圖；
[0022]圖3a是本申請實施例的一種獲取目標二值圖中的第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點的流程圖；
[0023]圖3b是本申請實施例的一種對第一目標連通域的邊緣輪廓進行處理的流程圖；
[0024]圖4a是本申請實施例的一種利用圓擬合算法計算目標邊緣輪廓點的邊緣函數，并依據擬合結果確定探針的位置信息的流程圖；
[0025]圖4b是本申請實施例的一種重新獲取探針圖像的流程圖；
[0026]圖5a是本申請實施例的一種確定探針圖像的背景亮度的流程圖；
[0027]圖5b是本申請實施例的一種確定探針圖像的背景亮度為目標背景亮度的流本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種探針的定位方法，其特征在于，包括：獲取聚焦后得到的探針圖像，并對所述探針圖像進行二值化處理，生成所述探針圖像對應的二值圖，其中，所述探針的針柱部分為所述二值圖中的第一顏色分量構成的連通域，所述探針的針柱以外的部分為所述二值圖中的第二顏色分量；從所述連通域中確定目標連通域；獲取所述目標連通域構成的集合中在目標半徑范圍內的第一目標連通域，獲取每個所述第一目標連通域對應的目標二值圖，獲取所述目標二值圖中的所述第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點；對所述目標邊緣輪廓點進行函數擬合，并依據擬合結果確定所述探針的位置信息。2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，從所述連通域中確定目標連通域，包括：通過形態學操作中的膨脹操作連接多個所述連通域，得到第一連通域；將所述第一顏色分量填充至所述第一連通域內的所述第二顏色分量中，確定所述目標連通域。3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，確定所述目標連通域之后，所述方法還包括：去除所述目標連通域邊緣凸起的毛刺。4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，獲取所述目標二值圖中的所述第一目標連通域的邊緣輪廓的目標邊緣輪廓點，包括：獲取所述第一目標連通域的所述邊緣輪廓；根據所述第一目標連通域的所述邊緣輪廓，獲取所述第一目標連通域的所述邊緣輪廓對應的目標包圍框，其中，所述目標包圍框為四條邊全部與所述第一目標連通域的所述邊緣輪廓相切的矩形；獲取所述第一目標連通域的邊緣輪廓點中與所述目標包圍框上的點坐標相同的目標點，將所述目標點確定為異常邊緣輪廓點；將所述異常邊緣輪廓點從所述邊緣輪廓點中去除,確定所述目標邊緣輪廓點。5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，獲取所述第一目標連通域的所述邊緣輪廓之前，所述方法還包括：去除所述第一目標連通域的邊緣輪廓的凸出部分；填充所述第一目標連通域的邊緣輪廓的凹陷部分。6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，對所述目標邊緣輪廓點進行函數擬合，并依據擬合結果確定所述探針的位置信息，包括：利用圓擬合算法計算所述目標邊緣輪廓點的邊緣函數；根據所述邊緣函數確定所述探針的圓心坐標以及所述探針的半徑。7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，根據所述邊緣函數確定所述探針的圓心坐標以及所述探針...
【專利技術屬性】
技術研發人員：蔡超鵬，陳思鄉，楊奉利，梁思文，戴啟輝，
申請(專利權)人：杭州長川科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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