一種便于清理的單晶爐防爆管道制造技術

本實用新型專利技術涉及一種便于清理的單晶爐防爆管道，包括一個橫置的對稱結構的五通管道，五通管道上設有兩個并列設置的上端管道、兩個側端管道和一個中端管道，兩個上端管道分別與一個大弧度彎管連接，兩個側端管道端口各設置一個防爆單元，中端管道依次連接球閥和直角管。防爆單元包括防爆法蘭、悶蓋、防爆合頁、導向螺釘和滑塊。直角管包括一個氣密清潔部，氣密清潔部與直角管的管道相通。本實用新型專利技術優化了防爆單元結構，利用滑塊卡在悶蓋與側端管道端口之間，避免悶蓋頻繁開合，減少連接部件磨損的同時，保證持續穩定泄壓。采用大弧度彎管及在直角管上設置氣密清潔部，減少了雜物的堆積，降低了管道清理難度，提高了清理效率。提高了清理效率。提高了清理效率。

【技術實現步驟摘要】
一種便于清理的單晶爐防爆管道


[0001]本技術屬于單晶爐管路
，尤其涉及一種便于清理的單晶爐防爆管道。

技術介紹

[0002]直拉單晶爐是一種在惰性氣體環境中，負壓狀態下用直拉法生長無位錯單晶的設備。排氣管道是單晶爐的重要組成部分，在單晶硅的生產過程中，排氣管道起著主設備抽真空以及帶走氧化物的作用。
[0003]特殊情況下，如單晶爐內發生滲水漏水等異常導致氣壓突然增大時，需要及時通過排氣管道的防爆結構進行泄壓，避免發生爆炸等嚴重事故。現在單晶爐排氣管道的防爆結構主要是悶蓋翻板式和垂直自重式。2015年2月25日公開的中國技術專利“單晶爐快速清理及防爆真空管路系統”(CN204174305U)涉及一種悶蓋翻板式防爆泄壓結構，防爆板傾斜放置在管道端口上，管道內氣壓升高時，氣體沖開防爆板放氣泄壓，泄壓完畢后，防爆板利用重力自動回落覆蓋到端口法蘭上，全程無需人工操作。但這種結構在一段時間使用后，由于防爆板不斷開合，容易導致其連接部件，如合頁或鉸鏈出現磨損松動甚至損壞的問題，需要人工查驗或更換部件，提高了生產成本。2020年6月30日公開的中國技術專利“用于單晶爐的防爆蓋安全泄壓裝置”(CN210886320U)涉及一種垂直自重式的防爆泄壓結構，包括設置在防爆通道頂部的防爆蓋，防爆蓋上方設置相適應的防爆罩，管道泄壓時，防爆蓋和防爆罩能靠氣流沖擊自行升起泄壓，且在防爆罩的作用下，防爆蓋不會飛起傷人，起到了一定的安全保護作用。但該種方式為了避免氣流傷人改變了氣流走向，導致泄氣速度放緩，當氣流過大時容易出現泄壓不徹底的問題，同時這種自重式防爆裝置升起高度完全受氣流大小影響，不能實現持續穩定泄壓。
[0004]此外，傳統的單晶爐排氣管道一般采用直角管或小弧度彎管連接的形式，并不利于生產過程中的氧化物等雜質及時排放。特別是在生產完成，進行氧化物清理的時候存在死角，無法徹底清除，影響下一爐的單晶產品品質。

技術實現思路

[0005]有鑒于此，本技術旨在提供一種便于清理的單晶爐防爆管道，以解決現有技術中存在的排氣管道防爆結構連接部件易損壞，不能持續穩定泄壓，以及排氣管道雜物無法徹底清理的問題。
[0006]為達到上述目的，本技術的技術方案是這樣實現的：
[0007]提供一種便于清理的單晶爐防爆管道，包括一個橫置的對稱結構的五通管道，所述五通管道包括兩個并列設置的上端管道、兩個側端管道和一個中端管道。所述兩個上端管道分別與一個大弧度彎管通過波紋管連接，所述兩個側端管道的端口各設置一個防爆單元，所述中端管道依次連接球閥和直角管，所述兩個大弧度彎管的另一端各設有一個水冷段，所述水冷段與單晶爐主設備連接。大弧度彎管的使用避免了雜物堆積和清理死角，降低
了清理難度，提高了清理效率。側端管道端口設置防爆單元，能夠在生產情況異常導致氣壓突增時快速泄壓，避免出現事故。
[0008]進一步的，所述防爆單元包括防爆法蘭、悶蓋、防爆合頁、導向螺釘和滑塊，所述防爆法蘭設置在所述側端管道端口上，所述防爆合頁固定于側端管道端口的上部，所述悶蓋覆蓋在所述側端管道端口上，并與所述防爆合頁活動連接，所述導向螺釘與悶蓋固定連接，所述滑塊位于所述導向螺釘上部，并能沿著導向螺釘上下滑動。管道內氣壓增大時，悶蓋被管道內氣流沖擊，繞防爆合頁向斜上方打開，此時滑塊沿導向螺釘向下移動，卡在悶蓋與側端管道端口之間，避免悶蓋回落，留出泄壓通道，實現持續穩定泄壓。
[0009]進一步的，所述悶蓋呈45
°
角或60
°
角覆蓋在所述側端管道端口上。適宜的覆蓋角度保證即使是小氣流也能把悶蓋沖開，確保防爆單元的工作靈敏度。
[0010]進一步的，所述直角管包括一個氣密清潔部，所述氣密清潔部與直角管的管道相通，包括連接件、清潔合頁、氣密翻蓋及鎖緊裝置，所述清潔合頁和鎖緊裝置位于連接件上。所述氣密翻蓋覆蓋在所述連接件上，所述氣密翻蓋一邊與所述清潔合頁活動連接，另一邊與所述鎖緊裝置適配。氣密清潔部的設置實現了從一個入口對直角管水平方向和豎直方向的雙向清理，確保清理徹底無死角。
[0011]進一步的，所述鎖緊裝置為螺釘螺母鎖緊裝置或鉸鏈鎖緊裝置，適宜結構的鎖緊裝置能夠實現悶蓋的快速鎖緊，且不易損壞。
[0012]進一步的，所述大弧度彎管、五通管道及直角管的內壁均為拋光結構，從而避免了氧化物等雜物在管道內的沉積，抽氣及清理雜物時更加順暢。
[0013]進一步的，所述波紋管內部設有光滑襯套，所述光滑襯套內壁為拋光結構，從而避免了氧化物等雜物在波紋管的沉積，抽氣及雜物清理更加方便。
[0014]進一步的，所述大弧度彎管的弧度為120
°?
179
°
之間。
[0015]本技術的有益效果是：優化了防爆單元結構，利用滑塊卡在悶蓋與側端管道端口之間，避免悶蓋在泄壓過程中頻繁開合，減少了連接部件磨損的同時，保證持續穩定泄壓。另一方面，通過采用大弧度彎管及在直角管上設置氣密清潔部，減少了雜物的堆積，且確保管道清理更徹底，降低了管道清理難度，提高了清理效率。
附圖說明
[0016]構成本技術的一部分的附圖用來提供對本技術的進一步理解，本技術的示意性實施例及其說明用于解釋本技術，并不構成對本技術的不當限定。在附圖中：
[0017]圖1為本技術一種便于清理的單晶爐防爆管道結構示意圖；
[0018]圖2為管道真空狀態時防爆單元結構示意圖；
[0019]圖3為本技術防爆單元泄壓狀態時結構示意圖；
[0020]圖4為本技術的管道清理路線俯視圖；
[0021]圖5為本技術的管道清理路線右視圖
[0022]附圖標記說明：
[0023]1?
大弧度彎管；2
?
五通管道；3
?
波紋管；4
?
直角管；5
?
球閥；6
?
氣密翻蓋；7
?
光滑襯套；8
?
防爆單元；9
?
連接件；10
?
清潔合頁；11
?
導向螺釘；12
?
悶蓋；13
?
滑塊；14
?
防爆合頁；
15
?
鎖緊裝置
具體實施方式
[0024]需要說明的是，在不沖突的情況下，本技術中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0025]在本技術的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以通過具體情況理解上述術語在本技術中的具體含義。
[0026]下面將參考本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種便于清理的單晶爐防爆管道，其特征在于：包括一個橫置的對稱結構的五通管道(2)，所述五通管道(2)包括兩個并列設置的上端管道、兩個側端管道和一個中端管道；所述兩個上端管道分別與一個大弧度彎管(1)通過波紋管(3)連接；所述兩個側端管道的端口各設置一個防爆單元(8)；所述中端管道依次連接球閥(5)和直角管(4)；所述兩個大弧度彎管(1)的另一端各設有一個水冷段，所述水冷段與單晶爐主設備連接。2.根據權利要求1所述的便于清理的單晶爐防爆管道，其特征在于：所述防爆單元(8)包括防爆法蘭、悶蓋(12)、防爆合頁(14)、導向螺釘(11)和滑塊(13)，所述防爆法蘭設置在所述側端管道端口上，所述防爆合頁(14)固定于側端管道端口的上部，所述悶蓋(12)覆蓋在所述側端管道端口上，并與所述防爆合頁(14)活動連接，所述導向螺釘(11)與悶蓋(12)固定連接，所述滑塊(13)位于所述導向螺釘(11)上部，并能沿著導向螺釘(11)上下滑動。3.根據權利要求2所述的便于清理的單晶爐防爆管道，其特征在于：所述悶蓋(12)呈45
°
角或60
°
角覆蓋在所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：謝劍舟，袁華中，朱一鳴，史冰冰，來迪文，陳妙榮，
申請(專利權)人：浙江精功科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：