一種增加加熱元件壽命的方法，此類元件主要包含鉬硅化物和此類基礎材料的合金，當所述元件在低溫工作時，例如在溫度范圍從４００－６００℃。本發明專利技術的特征在于加熱元件材料包含Ｍｏ（Ｓｉ＃－［１－ｘ］Ａｌ＃－［ｘ］）＃－［２］，所述材料含足夠的鋁以基本阻止有害物形成。（*該技術在2021年保護過期，可自由使用*）
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種增加低溫時加熱元件使用壽命的方法，更具體的是鉬硅化物型和鉬鎢硅化物型加熱元件的使用壽命，包括此基礎材料的不同合金。具有這種性質的元件由申請人以多種形式加工而成。當這類元件在相對低溫下工作時，例如溫度在400-550℃左右時，沒有保護性的二氧化硅氧化層，所謂的玻璃皮(skin)形成，正如在高溫下使用此類加熱元件的情況。此外，此類元件會遭受所謂的有害攻擊(pestattack)，意味著在元件表面形成一MoO3和SiO2的非保護層。此混合物是多孔并且易分解的，導致此類元件使用壽命的顯著縮短。然而在許多應用中，此類加熱元件仍然是最好的選擇。這方面的一個例子可以在電路(electronic circuits)生產中的LPCVD(低壓化學氣相沉積)腔的加熱中找到。一種改善此類加熱元件低溫性質的途徑是在大約1500℃或更高的溫度下預氧化此類元件，以形成SiO2氧化層。此氧化層會減慢有害物(pest)的形成。有害物形成是由于MoSi2和O2形成了MoO3和SiO2。此氧化物混合物是相對多孔的，進而對連續的氧化不會起保護作用。然而，對于抵御有害物的形成，此類方法不能提供令人滿意的保護。另一種方法在瑞典專利說明書第0001846-5號中進行了描述。此方法涉及在所述元件工作時，將元件周圍氣氛中的水含量保持在低水平。此方法提供了滿意的防護有害物形成的保護。依據本專利技術的方法顯著的增加了此類元件的使用壽命。本專利技術涉及一種增加加熱元件使用壽命的方法，此類元件的基本組成為鉬硅化物和此類基礎材料合金，當此類元件在低溫下工作，比如溫度范圍400-600℃(含端值)，其中該方法的特征在于加熱元件材料包含Mo(Si1-xAlx)2，其中令此類材料中包含足夠的鋁以明顯地阻止有害物形成。本專利技術試圖增加加熱元件使用壽命，加熱元件的基本組成為鉬硅化物和此類基礎材料合金，當此類元件在低溫下工作，比如溫度范圍為400-600℃(含端值)。此類窯爐的例子已經在上面提到。鉬硅化物和此類基礎材料的合金，指鉬硅化物例如可以與少量鎢合金化。根據本專利技術，加熱元件的防護(resistance)材料包括Mo(Si1-xAlx)2，此材料包含足夠的鋁以顯著阻止有害物形成。已經驚奇地發現當此類材料在所述溫度范圍內工作時，沒有或只有很少數量的有害物形成。這是由于在元件表面Al2O3的形成，進而減少了有害物的形成，或引起所形成物的消失。根據本專利技術的一個優選的實施例，x處在0.2-0.6范圍內。當實施本專利技術的實施例時，與使用在所考慮溫度范圍內的傳統元件相比，幾乎沒有有害物形成。根據本專利技術的一個更優選的實施例，x處在0.45-0.50范圍內。當實施本專利技術的實施例時，沒有有害物形成時。申請人進行了一個試驗，其中一個此類元件在450℃保持了12個月而沒產生有害物。這是非常驚奇的結果。根據本專利技術的一個優選的實施例，加熱元件材料最高含40％體積比的Al2O3。氧化鋁組成了機械元件-穩定(mechanical element-stablishing)相。權利要求1.一種增加加熱元件壽命的方法，此類元件主要包含鉬硅化物和此類基礎材料的合金，當所述元件在低溫工作時，例如溫度范圍400-600℃，其特征在于此類加熱元件材料包含Mo(Si1-xAlx)2，其中所述材料含足夠的鋁以基本上阻止有害物形成。2.根據權利要求1的方法，其特征在于x處于0.2-0.6范圍內。3.根據權利要求1或2方法，其特征在于x處于0.40-0.50范圍內。4.根據權利要求1、2或3，其特征在于此加熱元件材料最高含40％體積百分比的Al2O3。全文摘要一種增加加熱元件壽命的方法，此類元件主要包含鉬硅化物和此類基礎材料的合金，當所述元件在低溫工作時，例如在溫度范圍從400－600℃。本專利技術的特征在于加熱元件材料包含Mo(Si文檔編號F27D99/00GK1466556SQ0181651公開日2004年1月7日 申請日期2001年9月25日 優先權日2000年9月29日專利技術者M·圣德比爾格, M 圣德比爾格 申請人:桑德維克公司本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種增加加熱元件壽命的方法，此類元件主要包含鉬硅化物和此類基礎材料的合金，當所述元件在低溫工作時，例如溫度范圍４００－６００℃，其特征在于此類加熱元件材料包含Ｍｏ（Ｓｉ↓［１－ｘ］Ａｌ↓［ｘ］）↓［２］，其中所述材料含足夠的鋁以基本上阻止有害物形成。
【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：M圣德比爾格，
申請(專利權)人：桑德維克公司，
類型：發明
國別省市：SE[瑞典]
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