陶瓷加熱器和保持構(gòu)件制造技術(shù)

在陶瓷加熱器中，在從所述陶瓷加熱器的厚度方向觀察時(shí)，發(fā)熱體具備：第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)，它們分別作為由在所述發(fā)熱體的徑向上相鄰的兩條發(fā)熱線構(gòu)成的一對(duì)發(fā)熱線，該第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)在所述發(fā)熱體的周向上隔著預(yù)定的分離區(qū)域分開(kāi)配置；第1折回部，其將構(gòu)成所述第1發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)；以及第2折回部，其將構(gòu)成所述第2發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)，在由所述第1折回部和所述第2折回部構(gòu)成的一對(duì)折回部中，所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】陶瓷加熱器和保持構(gòu)件


[0001]本公開(kāi)涉及陶瓷加熱器和保持對(duì)象物的保持構(gòu)件
。

技術(shù)介紹

[0002]作為涉及陶瓷加熱器和保持構(gòu)件的文獻(xiàn)，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種在半導(dǎo)體裝置的制造工序中的成膜裝置
、
蝕刻裝置所使用的晶圓加熱裝置
。
而且，該專(zhuān)利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的晶圓加熱裝置在具備晶圓的支承面的陶瓷基體的內(nèi)部埋設(shè)有用于對(duì)晶圓進(jìn)行加熱的加熱器圖案
。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本專(zhuān)利第
3477062
號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

[0006]專(zhuān)利技術(shù)要解決的問(wèn)題
[0007]在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的晶圓加熱裝置中，在陶瓷基體中的晶圓的支承面，在加熱器圖案的折回的位置處，拉近了加熱器圖案的折回之間的距離，因此，折回部的中心之間的距離較近，有產(chǎn)生熱點(diǎn)之虞
。
此外，在比相當(dāng)于加熱器圖案的最外周的位置更靠外周側(cè)的最外周部分的位置處，未埋設(shè)加熱器圖案，因此，有溫度降低的傾向，而有產(chǎn)生冷點(diǎn)之虞
。
因此，在陶瓷基體的晶圓的支承面，最外周部分的位置成為溫度特異點(diǎn)，有均熱性降低之虞
。
[0008]因此，本公開(kāi)是為了解決上述的課題而完成的，其目的在于提供能夠提高表面的均熱性的陶瓷加熱器以及具有該陶瓷加熱器的保持構(gòu)件
。
[0009]用于解決問(wèn)題的方案
[0010]為了解決上述課題而完成的本公開(kāi)的一技術(shù)方案是一種陶瓷加熱器，其是板狀的陶瓷加熱器，具有：陶瓷基板；以及發(fā)熱體，其埋設(shè)于所述陶瓷基板，該發(fā)熱體的線狀發(fā)熱線形成為大致同心圓形狀，該陶瓷加熱器的特征在于，在從所述陶瓷加熱器的厚度方向觀察時(shí)，所述發(fā)熱體具備：第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)，它們分別作為由在所述發(fā)熱體的徑向上相鄰的兩條所述發(fā)熱線構(gòu)成的一對(duì)發(fā)熱線，該第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)在所述發(fā)熱體的周向上隔著預(yù)定的分離區(qū)域分開(kāi)配置；第1折回部，其將構(gòu)成所述第1發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)；以及第2折回部，其將構(gòu)成所述第2發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)，在由所述第1折回部和所述第2折回部構(gòu)成的一對(duì)折回部中，所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的一側(cè)的端部處的間隔比所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的中央部處的間隔窄
。
[0011]根據(jù)該技術(shù)方案，一對(duì)折回部的間隔在徑向上的一側(cè)的端部的位置處較窄，因此，能夠提高徑向上的一側(cè)的端部的周邊的加熱量
。
因此，能夠抑制在有溫度降低的傾向的徑向上的一側(cè)的端部的周邊產(chǎn)生冷點(diǎn)
。
此外，一對(duì)折回部的間隔在徑向上的中央部的位置處
較寬，因此，能夠降低徑向上的中央部的周邊的加熱量
。
因此，能夠抑制在溫度有上升傾向的徑向上的中央部的周邊產(chǎn)生熱點(diǎn)
。
因而，能夠改善一對(duì)折回部的周邊的溫度分布，能夠提高陶瓷加熱器的表面的均熱性
。
[0012]優(yōu)選的是，在上述技術(shù)方案中，所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的一側(cè)的端部是所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的外周側(cè)的端部，所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的外周側(cè)的端部處的間隔比所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的內(nèi)周側(cè)的端部處的間隔窄
。
[0013]根據(jù)該技術(shù)方案，一對(duì)折回部的間隔在徑向上的外周側(cè)的端部的位置處較窄，因此，能夠提高徑向上的外周側(cè)的端部的周邊的加熱量
。
因此，能夠抑制在有溫度降低的傾向的徑向上的外周側(cè)的端部的周邊，即，由于發(fā)熱體折回而未配置發(fā)熱體的部分
(
詳細(xì)而言，位于比分離區(qū)域靠徑向上的外周側(cè)的部分
)
產(chǎn)生冷點(diǎn)
。
因而，能夠提高加熱器的表面的均熱性
。
[0014]為了解決上述課題而完成的本公開(kāi)的另一技術(shù)方案是一種陶瓷加熱器，其是板狀的陶瓷加熱器，具有：陶瓷基板；以及發(fā)熱體，其埋設(shè)于所述陶瓷基板，該發(fā)熱體的線狀發(fā)熱線形成為大致同心圓形狀，該陶瓷加熱器的特征在于，在從所述陶瓷加熱器的厚度方向觀察時(shí)，所述發(fā)熱體具備：第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)，它們分別作為由在所述發(fā)熱體的徑向上相鄰的兩條所述發(fā)熱線構(gòu)成的一對(duì)發(fā)熱線，該第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)在所述發(fā)熱體的周向上隔著預(yù)定的分離區(qū)域分開(kāi)配置；第1折回部，其將構(gòu)成所述第1發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)；以及第2折回部，其將構(gòu)成所述第2發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)，在由所述第1折回部和所述第2折回部構(gòu)成的一對(duì)折回部中，所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的外周側(cè)的端部處的間隔比所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的內(nèi)周側(cè)的端部處的間隔窄
。
[0015]根據(jù)該技術(shù)方案，一對(duì)折回部的間隔在徑向上的外周側(cè)的端部的位置處較窄，因此，能夠提高徑向上的外周側(cè)的端部的周邊的加熱量
。
因此，能夠抑制在有溫度降低的傾向的徑向上的外周側(cè)的端部的周邊，即，由于發(fā)熱體折回而未配置發(fā)熱體的部分產(chǎn)生冷點(diǎn)
。
因而，能夠提高加熱器的表面的均熱性
。
[0016]優(yōu)選的是，在上述技術(shù)方案中，所述第1折回部與所述第2折回部之間的間隔隨著從所述發(fā)熱體的徑向上的內(nèi)周側(cè)的端部的位置去向所述發(fā)熱體的徑向上的外周側(cè)的端部的位置而變窄
。
[0017]根據(jù)該技術(shù)方案，在一對(duì)折回部中，能夠隨著從徑向上的內(nèi)周側(cè)的端部的位置去向外周側(cè)的端部的位置來(lái)提高加熱量
。
因此，能夠更有效地提高加熱器的表面的均熱性
。
[0018]優(yōu)選的是，在上述技術(shù)方案中，在所述發(fā)熱體的最外周的位置形成有所述一對(duì)折回部
。
[0019]在比發(fā)熱體的最外周更靠徑向上的外周側(cè)的部分，未配置發(fā)熱體，因此，有溫度降低的傾向，尤其是在比處于位于發(fā)熱體的最外周的一對(duì)折回部之間的分離區(qū)域靠徑向上的外周側(cè)的部分，有溫度大幅降低的傾向，而容易產(chǎn)生冷點(diǎn)
。
因此，根據(jù)該技術(shù)方案，在位于發(fā)熱體的最外周的一對(duì)折回部，能夠提高徑向上的外周側(cè)的端部的周邊的加熱量，因此，能夠
抑制在比處于位于發(fā)熱體的最外周的一對(duì)折回部之間的分離區(qū)域靠徑向上的外周側(cè)的部分產(chǎn)生冷點(diǎn)
。
[0020]優(yōu)選的是，在上述技術(shù)方案中，所述陶瓷基板具備：第1部位，其具備保持對(duì)象物的保持面；以及第2部位，其在所述陶瓷加熱器的厚度方向上相對(duì)于本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】1.
一種陶瓷加熱器，其是板狀的陶瓷加熱器，具有：陶瓷基板；以及發(fā)熱體，其埋設(shè)于所述陶瓷基板，該發(fā)熱體的線狀發(fā)熱線形成為大致同心圓形狀，該陶瓷加熱器的特征在于，在從所述陶瓷加熱器的厚度方向觀察時(shí)，所述發(fā)熱體具備：第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)，它們分別作為由在所述發(fā)熱體的徑向上相鄰的兩條所述發(fā)熱線構(gòu)成的一對(duì)發(fā)熱線，該第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)在所述發(fā)熱體的周向上隔著預(yù)定的分離區(qū)域分開(kāi)配置；第1折回部，其將構(gòu)成所述第1發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)；以及第2折回部，其將構(gòu)成所述第2發(fā)熱線對(duì)的兩條所述發(fā)熱線的所述分離區(qū)域側(cè)的端部彼此連接起來(lái)，在由所述第1折回部和所述第2折回部構(gòu)成的一對(duì)折回部中，所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的一側(cè)的端部處的間隔比所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的中央部處的間隔窄
。2.
根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷加熱器，其中，所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的一側(cè)的端部是所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的外周側(cè)的端部，所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的外周側(cè)的端部處的間隔比所述第1折回部與所述第2折回部之間在所述一對(duì)折回部的
、
所述發(fā)熱體的徑向上的內(nèi)周側(cè)的端部處的間隔窄
。3.
一種陶瓷加熱器，其是板狀的陶瓷加熱器，具有：陶瓷基板；以及發(fā)熱體，其埋設(shè)于所述陶瓷基板，該發(fā)熱體的線狀發(fā)熱線形成為大致同心圓形狀，該陶瓷加熱器的特征在于，在從所述陶瓷加熱器的厚度方向觀察時(shí)，所述發(fā)熱體具備：第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)，它們分別作為由在所述發(fā)熱體的徑向上相鄰的兩條所述發(fā)熱線構(gòu)成的一對(duì)發(fā)熱線，該第1發(fā)熱線對(duì)和第2發(fā)熱線對(duì)在所述發(fā)熱體的周向上隔著...

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鈴木佳祐，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：