【技術實現步驟摘要】
【】本技術涉及隔熱保溫，尤其涉及一種真空隔熱保溫腔體。
技術介紹
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技術介紹
1、真空設備內部安裝有加熱器，對待鍍膜載板進行加熱，一方面可以去除載板在外界攜帶的水汽，另一方面也使得載板上的硅片達到工藝溫度，為制程做準備。現有真空設備中，為了使載板保持在合適的溫度，加熱器消耗的電能過大，原因是腔體的保溫性能弱，加熱板產生的熱量通過傳導、輻射和對流的方式到達腔體的所有內側壁，通過腔體的內側壁傳導至外側壁，接著外側壁通過傳導、輻射和對流的方式消耗熱量，使得熱量大量地被浪費。
2、因此，有必要研究一種真空隔熱保溫腔體來應對現有技術的不足，以解決或減輕上述一個或多個問題。
技術實現思路
0、
技術實現思路
1、有鑒于此，本技術提供了一種真空隔熱保溫腔體，可減少熱量損失，從而達到保溫的目的。
2、一方面，本技術提供一種真空隔熱保溫腔體，所述真空隔熱保溫腔體包括加熱結構和設置在腔壁上的隔熱保溫結構，所述隔熱保溫結構由位于腔壁上的凹槽、填充所述凹槽內的隔熱層，以及所述凹槽上的封板構成。
3、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述隔熱層為氣凝膠。
4、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述腔壁和封板均為金屬材料。
5、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述真空隔熱保溫腔體還包括互聯管道；所述隔熱保溫結構上設置有連通孔，至少兩個所述隔熱保
6、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述封板靠近所述加熱板一側的表面是鏡面。
7、如上所述的方面和任一可能的實現方式，進一步提供一種實現方式，所述加熱結構為加熱板。
8、與現有技術相比，本技術可以獲得包括以下技術效果：
9、本技術真空隔熱保溫腔體，在腔體的真空側的內部都有隔熱層，并且隔熱層都由封板來覆蓋好，用焊接(不局限于焊接)等方式把封板和腔體一體化。有了這樣的真空隔熱保溫腔體，原本熱量從加熱器傳導、輻射和對流至腔體外側壁的通路，已被此隔熱層隔斷，大大減少了腔體內部熱量的損失，從而達到隔熱保溫的目的。并且，隔熱層在封裝在腔體的內部，不會影響到腔內的真空度和潔凈度。
10、當然，實施本技術的任一產品并不一定需要同時達到以上所述的所有技術效果。
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1.一種真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述真空隔熱保溫腔體包括加熱結構和設置在腔壁上的隔熱保溫結構，所述隔熱保溫結構包括位于腔壁上的凹槽、填充所述凹槽內的隔熱層，以及所述凹槽上的封板；所述腔壁包括上腔壁、側壁，以及下腔壁中的至少一個。
2.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述隔熱層為氣凝膠。
3.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述腔壁和封板均為金屬材料。
4.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述真空隔熱保溫腔體還包括互聯管道；所述隔熱保溫結構上設置有連通孔，至少兩個所述隔熱保溫結構上的所述連通孔通過所述互聯管道連通，且至少一個所述隔熱保溫結構上的所述連通孔與抽真空系統相連，以便對所述隔熱保溫結構進行抽真空處理。
5.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述封板靠近所述加熱結構一側的表面是鏡面。
6.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述加熱結構為加熱板。
【技術特征摘要】
1.一種真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述真空隔熱保溫腔體包括加熱結構和設置在腔壁上的隔熱保溫結構，所述隔熱保溫結構包括位于腔壁上的凹槽、填充所述凹槽內的隔熱層，以及所述凹槽上的封板；所述腔壁包括上腔壁、側壁，以及下腔壁中的至少一個。
2.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述隔熱層為氣凝膠。
3.根據權利要求1所述真空隔熱保溫腔體，其特征在于，所述腔壁和封板均為金屬材料。
4.根據權利要求1所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：蔣建新，孫健，劉亞南，
申請(專利權)人：蘇州邁為科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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