【技術實現步驟摘要】
本申請涉及太陽電池生產，特別是涉及一種鍍膜與載板清洗一體化設備。
技術介紹
1、hjt電池(heterojunction?with?intrinsic?thin?layer，異質結電池)是一種高效晶硅太陽能電池結構。hjt電池的制造通常包括制絨清洗、pecvd(plasma?enhancedchemical?vapor?deposition，等離子體增強化學氣相沉積)、pvd(physical?vapordeposition，物理氣相沉積)、絲網印刷四大工序。隨著hjt電池工藝技術的不斷革新，電池片的效率也大幅度提升，機器設備不斷改進創新，生產成本持續降低，生產效率也獲得提升。
2、pvd工序以ar原子為介質，引入磁控濺射技術進行物理氣象沉積，從而對硅片進行tco(透明導電薄膜)鍍膜。在磁控濺射時機臺在對硅片進行鍍膜的同時，也會對載板進行鍍膜。隨著使用時間的增加，載板上的tco膜層疊加隨之變厚，當載板使用圈數到達一定程度時，載板上的tco薄膜會影響到電池片的轉換效率。
3、對此，行業內通常是在每次載板運動一圈后，在自動上料處安排員工對載板進行主動清理和吸塵。當載板上的tco膜層對電池片的效率影響較大且主動清理吸塵效果不佳時，會對載板進行下線，然后將換下來的tco膜層較厚的載板送至生產廠家維修清洗后重新返廠使用。采用這種方式在進行大規模生產時，極大地限制了載板的使用效率，影響生產效率。
技術實現思路
1、基于此，有必要提供一種能夠提高生產效率、提高產能的鍍膜與
2、本申請提出的技術方案如下：
3、本申請的一個方面，提供了一種鍍膜與載板清洗一體化設備，包括：
4、鍍膜裝置；
5、載板清洗裝置，所述載板清洗裝置包括依次設置的保護層形成裝置、鍍層清洗裝置和保護層去除裝置，所述保護層形成裝置用于在載板的與待清洗面相背的掩膜面上形成保護層；
6、載板下料輸送機構，所述載板下料輸送機構的進料端與所述鍍膜裝置的出料端連接，所述載板下料輸送機構的出料端與所述保護層形成裝置的進料端連接；以及
7、載板上料輸送機構，所述載板上料輸送機構的進料端與所述保護層去除裝置的出料端連接，所述載板上料輸送機構的出料端與所述鍍膜裝置的進料端連接。
8、在任意的實施方式中，所述保護層形成裝置包括：
9、正性光刻膠涂膠裝置，所述正性光刻膠涂膠裝置用于在載板的掩膜面上形成正性光刻膠保護層。
10、在任意的實施方式中，所述保護層去除裝置包括：
11、曝光裝置，所述曝光裝置用于對所述載板上的所述正性光刻膠保護層進行曝光；以及
12、正性光刻膠去除裝置，所述正性光刻膠去除裝置用于去除曝光后的所述正性光刻膠保護層。
13、在任意的實施方式中，所述載板清洗裝置還包括：
14、第一緩存腔，所述第一緩存腔設于所述載板下料輸送機構與所述保護層形成裝置之間。
15、在任意的實施方式中，所述載板清洗裝置還包括：
16、第二緩存腔，所述第二緩存腔設于所述保護層去除裝置與所述載板上料輸送機構之間。
17、在任意的實施方式中，所述鍍層清洗裝置包括：
18、第一水洗槽，與所述保護層形成裝置連接；
19、化學清洗槽，與所述第一水洗槽連接；以及
20、第二水洗槽，與所述化學清洗槽連接。
21、在任意的實施方式中，所述鍍膜裝置包括依次設置的第一過渡腔、加熱腔、鍍膜腔、冷卻腔和第二過渡腔，所述第一過渡腔與所述載板上料輸送機構的出料端連接，所述第二過渡腔與所述載板下料輸送機構的進料端連接。
22、在任意的實施方式中，還包括：
23、載板回傳機構，所述載板回傳機構的一端與所述載板下料輸送機構的出料端連接，所述載板回傳機構的另一端與所述載板上料輸送機構的進料端連接。
24、在任意的實施方式中，還包括：
25、攝像裝置，所述攝像裝置設于所述鍍膜裝置的出料端；以及
26、plc控制器，所述plc控制器分別與所述攝像裝置、所述鍍膜裝置、所述載板清洗裝置、載板下料輸送機構、載板上料輸送機構和所述載板回傳機構連接。
27、在任意的實施方式中，沿所述鍍膜與載板清洗一體化設備的高度方向上，所述載板清洗裝置位于所述鍍膜裝置和所述載板回傳機構之間。
28、與現有技術相比，本申請至少具有以下有益效果：
29、本申請的鍍膜與載板清洗一體化設備，通過設置鍍膜裝置、載板清洗裝置、載板下料輸送機構和載板上料輸送機構，其中載板清洗裝置包括保護層形成裝置、鍍層清洗裝置和保護層去除裝置；該鍍膜與載板清洗一體化設備將鍍膜與載板清洗功能集于一體，可以方便地對載板上的鍍層進行清洗并對載板上不需要清洗的部位進行保護，提高硅片鍍膜生產線的生產效率和產能。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述保護層形成裝置(121)包括：
3.根據權利要求2所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述保護層去除裝置(123)包括：
4.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述載板清洗裝置(12)還包括：
5.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述載板清洗裝置(12)還包括：
6.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述鍍層清洗裝置(122)包括：
7.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述鍍膜裝置(11)包括依次設置的第一過渡腔(111)、加熱腔(112)、鍍膜腔(113)、冷卻腔(114)和第二過渡腔(115)，所述第一過渡腔(111)與所述載板上料輸送機構(14)的出料端連接，所述第二過渡腔(115)與所述載板下料輸送機構(13)的進料端連接
8.根據權利要求1至7中任一項所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，還包括：
9.根據權利要求8所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，還包括：
10.根據權利要求8所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，沿所述鍍膜與載板清洗一體化設備(10)的高度方向上，所述載板清洗裝置(12)位于所述鍍膜裝置(11)和所述載板回傳機構(15)之間。
...【技術特征摘要】
1.一種鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述保護層形成裝置(121)包括：
3.根據權利要求2所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述保護層去除裝置(123)包括：
4.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述載板清洗裝置(12)還包括：
5.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述載板清洗裝置(12)還包括：
6.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備(10)，其特征在于，所述鍍層清洗裝置(122)包括：
7.根據權利要求1所述的鍍膜與載板清洗一體化設備...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王陳，
申請(專利權)人：通威太陽能安徽有限公司，
類型：新型
國別省市：
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