【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置及檢測方法，屬于半導體激光器封裝。
技術介紹
1、由于半導體激光器具有體積小、重量輕、電光轉換效率高、壽命長和可靠性高等優點，已在通訊、醫療、顯示、工業制作和安防等領域逐漸取代了氣體和固體激光器的使用，其應用范圍也在逐步擴展。半導體激光器工作時芯片產生的廢熱需要及時有效的排出，否則會造成激光器芯片溫度過高，降低器件發光效率并誘發激光器的失效。目前廣泛應用的技術方案是將半導體激光器芯片固晶到散熱能力強的熱沉塊上，通過熱沉塊對芯片工作時產生的熱量進行有效疏散。芯片與熱沉塊固晶在一起的過程稱為cos固晶，芯片與熱沉塊固晶后的組合體就是激光器cos。
2、cos作為半導體激光器封裝中最為核心的材料，其質量好壞直接影響激光器的使用壽命。因此cos固晶完成后，需要對cos外觀缺陷進行多角度檢測，由于并沒有專門的cos外觀缺陷檢測裝置，目前常采用的檢測方法為，將cos粘貼到cos固定方盤內的透明白膜上，然后將cos固定方盤正面向上放置到電子顯微鏡滑動平臺上，通過手動調節顯微鏡滑動平臺位置，檢測不同位置的cos正面外觀，然后再將cos固定方盤反轉180°，反向放置到滑動平臺上，手動調節滑動位置，對cos背側外觀進行檢測。最后將cos固定方盤分別放置到45°夾具和90°夾具上，通過顯微鏡對cos進行45°和90°方向的外觀檢測。該cos外觀檢測裝置比較簡單，但操作步驟比較繁瑣，需要更好不同的檢測夾具，并且只能進行單個cos單個方向進行檢測，效率比較低下。同時在檢測過程中
技術實現思路
1、針對現有技術的不足，本專利技術提供一種結構簡單、方便操作、檢測精度高、生產效率高的用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置及檢測方法。
2、本專利技術的技術方案如下：
3、一方面，本專利技術提供一種用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置，包括底座、載入料盤、收納料盤、裝載機構、正面檢測機構、轉移機構、背面檢測機構和cos固定方盤；所述底座位于最下端，載入料盤和收納料盤位于底座前端，所述裝載機構設置于載入料盤和收納料盤之間，裝載機構用于吸取并轉移放置cos固定方盤，通過裝載機構將待檢測的cos由載入料盤轉移到正面固定平臺，待cos檢測完成之后，再將cos由正面固定平臺轉移到收納料盤；
4、所述正面檢測機構用于對放置到正面固定平臺上的cos固定方盤內的cos進行正面朝上時的多個角度進行檢測；所述轉移機構用于將cos固定方盤在正面固定平臺和背面固定平臺之間進行轉移，并對cos固定方盤進行180°反轉；所述背面檢測機構位于正面檢測機構左側，背面檢測機構用于對cos進行背面進行多個角度檢測。
5、優選的，載入料盤用于放置待檢測的cos固定方盤，收納料盤用于放置檢測完成的cos固定方盤，載入料盤和收納料盤的尺寸與cos固定方盤的尺寸相適應。
6、優選的，所述裝載機構包括旋轉電機ⅰ、旋轉盤、升降氣缸ⅰ、固定架和真空吸嘴，所述旋轉電機ⅰ位于裝載機構最下端，旋轉電機ⅰ上端設置旋轉盤，通過旋轉電機ⅰ能夠帶動旋轉盤進行轉動，所述旋轉盤上端設置升降氣缸ⅰ，升降氣缸ⅰ上端設置固定架，真空吸嘴設置于固定架上；
7、優選的，通過旋轉電機ⅰ能夠使固定架進行左右360度轉動，通過升降氣缸ⅰ的上下移動能夠使固定架進行上下移動，進而使真空吸嘴進行在固定架半徑圓周內進行0-360°高精度轉動和上下移動。
8、優選的，所述正面檢測機構位于裝載機構一側，所述正面檢測機構包括正面固定平臺、旋轉電機ⅱ、正面檢測ccd、水平檢測ccd和射燈ⅰ，所述正面檢測機構最下端設有旋轉電機ⅱ，旋轉電機ⅱ上端設置正面固定平臺，正面固定平臺能夠在旋轉電機ⅱ的帶動下實現轉動；正面固定平臺左側設置水平檢測ccd，水平檢測ccd上方設置射燈ⅰ，所述正面固定平臺正上方設置正面檢測ccd。
9、優選的，所述正面固定平臺用于固定cos固定料盤，正面固定平臺上設有n個均勻排列的真空通氣孔，n≥5；cos固定方盤放到正面固定平臺后，通過真空使cos固定方盤與正面固定平臺貼合在一起。
10、優選的，通過旋轉電機ⅱ能夠使正面固定平臺進行0-360°任意角度轉動，從而使放置在正面固定平臺上的cos固定方盤進行轉動，便于對cos的正面方向的多個角度進行外觀檢測；射燈ⅰ用于進行cos檢測時照射到cos表面，增加cos表面亮度，便于檢測到cos表面的缺陷；水平檢測ccd用于對cos側面方向進行檢測，正面檢測ccd用于對cos上表面進行垂直方向外觀檢測，射燈ⅰ、正面檢測ccd和水平檢測ccd采用固定支架結構固定在裝置上，其安裝角度可以進行一定范圍的調節。
11、優選的，所述背面檢測機構位于正面檢測機構左側，所述背面檢測機構包括x軸電機ⅰ、x軸滑軌ⅰ、旋轉電機ⅲ、背面固定平臺、45°檢測ccd、射燈ⅱ和背面檢測ccd；
12、所述x軸電機ⅰ位于背面檢測機構下端，x軸電機ⅰ一側設置x軸滑軌ⅰ，x軸滑軌ⅰ上端設置旋轉電機ⅲ，旋轉電機ⅲ上端設置背面固定平臺；背面固定平臺左右兩側分別設有45°檢測ccd和射燈ⅱ，背面固定平臺上端設置背面檢測ccd。
13、優選的，所述x軸電機ⅰ位于背面檢測機構下端，通過x軸電機ⅰ的轉動能夠使x軸滑軌ⅰ進行左右移動，通過旋轉電機ⅲ能夠使背面固定平臺進行0-360°精確轉動；45°檢測ccd用對cos背面進行45°方向外觀檢測，背面檢測ccd用于對cos進行背面進行垂直方向檢測。
14、優選的，所述轉移機構位于正面檢測機構一側，轉移機構包括電機ⅱ、x軸滑軌ⅱ、z軸氣缸、y軸氣缸、翻轉電機和夾爪，所述電機ⅱ位于轉移機構下端，電機ⅱ一側設置x軸滑軌ⅱ，x軸滑軌ⅱ上端設置z軸氣缸，z軸氣缸一側設置y軸氣缸，y軸氣缸上端設置翻轉電機，翻轉電機前端設置夾爪。
15、優選的，通過電機ⅱ能夠帶動x軸滑軌ⅱ進行左右移動，通過z軸氣缸的上下移動能夠使翻轉電機進行上下移動，y軸氣缸的前后移動能夠使翻轉電機進行前后移動，翻轉電機能夠使夾爪進行0-180°反轉，夾爪可以通過氣動進行開閉。
16、另一方面，本專利技術提供一種半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測方法，通過上述的用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置實現，包括如下步驟：
17、(1)將粘有cos的cos固定方盤放到正面朝上放到載入料盤內；
18、(2)按下裝置的啟動按鈕，裝載機構的真空吸嘴移動到載入料盤端，將cos固定方本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，包括底座、載入料盤、收納料盤、裝載機構、正面檢測機構、轉移機構、背面檢測機構和COS固定方盤；所述底座位于最下端，載入料盤和收納料盤位于底座前端，所述裝載機構設置于載入料盤和收納料盤之間，裝載機構用于吸取并轉移放置COS固定方盤，通過裝載機構將待檢測的COS由載入料盤轉移到正面固定平臺，待COS檢測完成之后，再將COS由正面固定平臺轉移到收納料盤；
2.根據權利要求1所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述裝載機構包括旋轉電機Ⅰ、旋轉盤、升降氣缸Ⅰ、固定架和真空吸嘴，所述旋轉電機Ⅰ位于裝載機構最下端，旋轉電機Ⅰ上端設置旋轉盤，通過旋轉電機Ⅰ能夠帶動旋轉盤進行轉動，所述旋轉盤上端設置升降氣缸Ⅰ，升降氣缸Ⅰ上端設置固定架，真空吸嘴設置于固定架上；
3.根據權利要求2所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述正面檢測機構位于裝載機構一側，所述正面檢測機構包括正面固定平臺、旋轉電機Ⅱ、正面檢測CCD、水平檢測CCD和射燈Ⅰ，所述正面檢
4.根據權利要求3所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述正面固定平臺用于固定COS固定料盤，正面固定平臺上設有N個均勻排列的真空通氣孔，N≥5；COS固定方盤放到正面固定平臺后，通過真空使COS固定方盤與正面固定平臺貼合在一起。
5.根據權利要求4所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，通過旋轉電機Ⅱ能夠使正面固定平臺進行0-360°任意角度轉動，從而使放置在正面固定平臺上的COS固定方盤進行轉動，便于對COS的正面方向的多個角度進行外觀檢測；射燈Ⅰ用于進行COS檢測時照射到COS表面，增加COS表面亮度，便于檢測到COS表面的缺陷；水平檢測CCD用于對COS側面方向進行檢測，正面檢測CCD用于對COS上表面進行垂直方向外觀檢測，射燈Ⅰ、正面檢測CCD和水平檢測CCD采用固定支架結構固定在裝置上。
6.根據權利要求5所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述背面檢測機構位于正面檢測機構左側，所述背面檢測機構包括X軸電機Ⅰ、X軸滑軌Ⅰ、旋轉電機Ⅲ、背面固定平臺、45°檢測CCD、射燈Ⅱ和背面檢測CCD；
7.根據權利要求6所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述X軸電機Ⅰ位于背面檢測機構下端，通過X軸電機Ⅰ的轉動能夠使X軸滑軌Ⅰ進行左右移動，通過旋轉電機Ⅲ能夠使背面固定平臺進行0-360°精確轉動；45°檢測CCD用對COS背面進行45°方向外觀檢測，背面檢測CCD用于對COS進行背面進行垂直方向檢測。
8.根據權利要求7所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述轉移機構位于正面檢測機構一側，轉移機構包括電機Ⅱ、X軸滑軌Ⅱ、Z軸氣缸、Y軸氣缸、翻轉電機和夾爪，所述電機Ⅱ位于轉移機構下端，電機Ⅱ一側設置X軸滑軌Ⅱ，X軸滑軌Ⅱ上端設置Z軸氣缸，Z軸氣缸一側設置Y軸氣缸，Y軸氣缸上端設置翻轉電機，翻轉電機前端設置夾爪。
9.根據權利要求8所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，通過電機Ⅱ能夠帶動X軸滑軌Ⅱ進行左右移動，通過Z軸氣缸的上下移動能夠使翻轉電機進行上下移動，Y軸氣缸的前后移動能夠使翻轉電機進行前后移動，翻轉電機能夠使夾爪進行0-180°反轉，夾爪通過氣動進行開閉。
10.一種半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測方法，其特征在于，通過權利要求1-9任一所述的用于半導體激光器COS外觀缺陷多角度快速檢測裝置實現，包括如下步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，包括底座、載入料盤、收納料盤、裝載機構、正面檢測機構、轉移機構、背面檢測機構和cos固定方盤；所述底座位于最下端，載入料盤和收納料盤位于底座前端，所述裝載機構設置于載入料盤和收納料盤之間，裝載機構用于吸取并轉移放置cos固定方盤，通過裝載機構將待檢測的cos由載入料盤轉移到正面固定平臺，待cos檢測完成之后，再將cos由正面固定平臺轉移到收納料盤；
2.根據權利要求1所述的用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述裝載機構包括旋轉電機ⅰ、旋轉盤、升降氣缸ⅰ、固定架和真空吸嘴，所述旋轉電機ⅰ位于裝載機構最下端，旋轉電機ⅰ上端設置旋轉盤，通過旋轉電機ⅰ能夠帶動旋轉盤進行轉動，所述旋轉盤上端設置升降氣缸ⅰ，升降氣缸ⅰ上端設置固定架，真空吸嘴設置于固定架上；
3.根據權利要求2所述的用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述正面檢測機構位于裝載機構一側，所述正面檢測機構包括正面固定平臺、旋轉電機ⅱ、正面檢測ccd、水平檢測ccd和射燈ⅰ，所述正面檢測機構最下端設有旋轉電機ⅱ，旋轉電機ⅱ上端設置正面固定平臺，正面固定平臺能夠在旋轉電機ⅱ的帶動下實現轉動；正面固定平臺左側設置水平檢測ccd，水平檢測ccd上方設置射燈ⅰ，所述正面固定平臺正上方設置正面檢測ccd。
4.根據權利要求3所述的用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，所述正面固定平臺用于固定cos固定料盤，正面固定平臺上設有n個均勻排列的真空通氣孔，n≥5；cos固定方盤放到正面固定平臺后，通過真空使cos固定方盤與正面固定平臺貼合在一起。
5.根據權利要求4所述的用于半導體激光器cos外觀缺陷多角度快速檢測裝置，其特征在于，通過旋轉電機ⅱ能夠使正面固定平臺進行0-360°任意角度轉動，從而使放置在正面固定平臺上的cos固定方盤進行轉動，便于對cos的正面方向...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張廣明，李沛旭，姚爽，
申請(專利權)人：山東華光光電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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