【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及真空干燥，尤其涉及真空干燥系統(tǒng)及其控制方法。
技術(shù)介紹
1、oled（organic?light-emitting?diode，有機(jī)發(fā)光二極管）面板制造過程中的干燥技術(shù)主要采用空氣吹干、烘箱烘干、真空干燥等方法。其中，真空干燥因其高效性和對有機(jī)材料的溫和處理而受到青睞。
2、然而隨著oled面板向更高分辨率和更大尺寸發(fā)展，?oled面板制造過程中的真空干燥系統(tǒng)在面對快速壓力變化時，往往無法及時調(diào)整，對于壓力變化響應(yīng)速度較慢。由此導(dǎo)致干燥勻性較差，影響了oled面板的最終質(zhì)量。
3、上述內(nèi)容僅用于輔助理解本申請的技術(shù)方案，并不代表承認(rèn)上述內(nèi)容是現(xiàn)有技術(shù)。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本申請的主要目的在于提供一種真空干燥系統(tǒng)及其控制方法，旨在解決真空干燥系統(tǒng)對壓力變化響應(yīng)較慢，影響了oled面板的最終質(zhì)量的技術(shù)問題。
2、為實現(xiàn)上述目的，本申請?zhí)岢鲆环N真空干燥系統(tǒng)，所述真空干燥系統(tǒng)包括干燥腔室、進(jìn)氣組件、抽真空組件、第一出氣閥門和第二出氣閥門；
3、所述進(jìn)氣組件和所述抽真空組件分別與所述干燥腔室連通；
4、所述進(jìn)氣組件包括并聯(lián)的第一進(jìn)氣閥門和第二進(jìn)氣閥門，其中所述第一進(jìn)氣閥門的流經(jīng)氣體流量大于所述第二進(jìn)氣閥門；
5、所述第一出氣閥門和所述第二出氣閥門并聯(lián)后一端與所述抽真空組件連通，另一端與所述干燥腔室連通，其中所述第一出氣閥門的流經(jīng)氣體流量大于所述第二出氣閥門。
6、在一實施例中，所述干燥腔室包括腔室主
7、所述腔室主體內(nèi)由下至上依次設(shè)置加熱組件、基板、冷卻組件；
8、所述進(jìn)氣口和所述出氣口設(shè)置于所述腔室主體上，所述進(jìn)氣口與所述進(jìn)氣組件連通，所述出氣口分別與所述抽真空組件、所述第一出氣閥門和所述第二出氣閥門連通；
9、所述壓力傳感器設(shè)置于所述腔室主體內(nèi)，用于檢測所述腔室主體內(nèi)的實時腔室壓力。
10、在一實施例中，所述加熱組件包括設(shè)置在升降結(jié)構(gòu)上的加熱件。
11、在一實施例中，所述加熱件上設(shè)置有定位銷，用于固定所述基板。
12、在一實施例中，所述第一進(jìn)氣閥門包括破真空閥，所述第二進(jìn)氣閥門包括氣體閥；
13、所述破真空閥和所述氣體閥分別通過管道與所述干燥腔室連通。
14、在一實施例中，所述抽真空組件包括依次連接的分子泵入口閥、分子泵、分子泵出口閥和前級泵，所述分子泵入口閥與所述干燥腔室連通；
15、所述前級泵分別通過所述第一出氣閥門和所述第二出氣閥門與所述干燥腔室連通。
16、在一實施例中，所述第一出氣閥門包括大蝶閥和大角閥，所述第二出氣閥門包括小蝶閥和小角閥；
17、所述大蝶閥和大角閥串聯(lián)后，一端與所述干燥腔室連通，另一端與所述前級泵連通；
18、所述小蝶閥和小角閥串聯(lián)后，一端與所述干燥腔室連通，另一端與所述前級泵連通。
19、此外，為實現(xiàn)上述目的，本申請還提出一種真空干燥系統(tǒng)的控制方法，應(yīng)用于如上所述的真空干燥系統(tǒng)，所述控制方法包括：
20、獲取目標(biāo)干燥步序的目標(biāo)步序壓力和干燥腔室內(nèi)的實時腔室壓力；
21、按照所述目標(biāo)干燥步序?qū)?yīng)的第一開度開啟第一出氣閥門，以對所述干燥腔室抽真空；
22、在所述實時腔室壓力達(dá)到第一步序壓力后，關(guān)閉所述第一出氣閥門并按第二開度開啟第二出氣閥門，其中所述第一步序壓力為所述目標(biāo)步序壓力與第一壓力差值之和，所述第二開度與所述目標(biāo)步序壓力呈負(fù)相關(guān)；
23、在所述實時腔室壓力與所述目標(biāo)步序壓力匹配后，關(guān)閉所述第二出氣閥門；
24、獲取所述實時腔室壓力與所述目標(biāo)步序壓力之間的實時壓力差，并在所述目標(biāo)干燥步序的執(zhí)行時長內(nèi)根據(jù)所述實時壓力差進(jìn)行抽氣操作或充氣操作，直至所述實時腔室壓力與所述目標(biāo)步序壓力匹配。
25、在一實施例中，在所述目標(biāo)干燥步序的執(zhí)行時長內(nèi)根據(jù)所述實時壓力差進(jìn)行抽氣操作或充氣操作的步驟之后還包括：
26、獲取下一干燥步序的下一步序壓力；
27、在所述目標(biāo)干燥步序的執(zhí)行時長結(jié)束后，若所述下一步序壓力小于所述目標(biāo)步序壓力，則確定所述下一干燥步序的步序壓力降幅，并將所述下一步序壓力作為新的目標(biāo)步序壓力；
28、若所述步序壓力降幅大于預(yù)設(shè)降壓幅度，則開啟所述第一出氣閥門，并執(zhí)行步驟：在所述實時腔室壓力達(dá)到第一步序壓力后，關(guān)閉所述第一出氣閥門并按第二開度開啟第二出氣閥門；
29、若所述步序壓力降幅不大于預(yù)設(shè)降壓幅度，則執(zhí)行步驟：按第二開度開啟第二出氣閥門。
30、在一實施例中，所述第一進(jìn)氣閥門包括破真空閥，所述第二進(jìn)氣閥門包括氣體閥；所述破真空閥和所述氣體閥分別通過管道與所述干燥腔室連通；
31、在所述目標(biāo)干燥步序的執(zhí)行時長結(jié)束的步驟之后還包括：
32、若所述下一步序壓力不小于所述目標(biāo)步序壓力，則確定所述下一干燥步序的步序壓力升幅，并將所述下一步序壓力作為新的目標(biāo)步序壓力；
33、若所述步序壓力升幅大于預(yù)設(shè)升壓幅度，則按照開啟所述破真空閥，并在所述實時腔室壓力達(dá)到第二步序壓力后，關(guān)閉所述破真空閥，其中所述第二步序壓力為所述目標(biāo)步序壓力與第二壓力差值之和；
34、若所述步序壓力升幅不大于預(yù)設(shè)升壓幅度，則按充氣系數(shù)開啟所述氣體閥，并執(zhí)行步驟：獲取所述實時腔室壓力與所述目標(biāo)步序壓力之間的實時壓力差，并在所述目標(biāo)干燥步序的執(zhí)行時長內(nèi)根據(jù)所述實時壓力差進(jìn)行抽氣操作或充氣操作，直至所述實時腔室壓力與所述目標(biāo)步序壓力匹配。
35、本申請?zhí)岢龅囊粋€或多個技術(shù)方案，至少具有以下技術(shù)效果：
36、本申請?zhí)岢隽艘环N真空干燥系統(tǒng)，所述真空干燥系統(tǒng)包括干燥腔室、進(jìn)氣組件、抽真空組件、第一出氣閥門和第二出氣閥門；所述進(jìn)氣組件和所述抽真空組件分別與所述干燥腔室連通；所述進(jìn)氣組件包括并聯(lián)的第一進(jìn)氣閥門和第二進(jìn)氣閥門，所述第一進(jìn)氣閥門的流經(jīng)氣體流量大于所述第二進(jìn)氣閥門；所述第一出氣閥門和所述第二出氣閥門并聯(lián)后一端與所述抽真空組件連通，另一端與所述干燥腔室連通，其中所述第一出氣閥門的流經(jīng)氣體流量大于所述第二出氣閥門。本申請通過可實現(xiàn)不同流經(jīng)氣體流量的第一進(jìn)氣閥門和第二進(jìn)氣閥門以及第一出氣閥門和第二出氣閥門，可以根據(jù)真空干燥系統(tǒng)的壓力需求和壓力變化，選擇不同的閥門組件進(jìn)行開啟，由此可以在壓力變化較大的情況下實現(xiàn)對該壓力變化的快速響應(yīng)，保障了在不同工藝步序中壓力的穩(wěn)定，從而保證了oled面板干燥過程中成膜的均勻性，避免了由于干燥不均勻影響oled面板的發(fā)光均勻性和使用壽命。
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1.一種真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述真空干燥系統(tǒng)包括干燥腔室、進(jìn)氣組件、抽真空組件、第一出氣閥門和第二出氣閥門；
2.如權(quán)利要求1所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述干燥腔室包括腔室主體、冷卻組件、基板、加熱組件、進(jìn)氣口、出氣口和壓力傳感器；
3.如權(quán)利要求2所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱組件包括設(shè)置在升降結(jié)構(gòu)上的加熱件。
4.如權(quán)利要求3所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱件上設(shè)置有定位銷，用于固定所述基板。
5.如權(quán)利要求1所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述第一進(jìn)氣閥門包括破真空閥，所述第二進(jìn)氣閥門包括氣體閥；
6.如權(quán)利要求1所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述抽真空組件包括依次連接的分子泵入口閥、分子泵、分子泵出口閥和前級泵，所述分子泵入口閥與所述干燥腔室連通；
7.如權(quán)利要求6所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述第一出氣閥門包括大蝶閥和大角閥，所述第二出氣閥門包括小蝶閥和小角閥；
8.一種真空干燥系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，應(yīng)用于如權(quán)利要求1至7中任一項所述的真空干燥系
9.如權(quán)利要求8所述的控制方法，其特征在于，在所述目標(biāo)干燥步序的執(zhí)行時長內(nèi)根據(jù)所述實時壓力差進(jìn)行抽氣操作或充氣操作的步驟之后還包括：
10.如權(quán)利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述第一進(jìn)氣閥門包括破真空閥，所述第二進(jìn)氣閥門包括氣體閥；所述破真空閥和所述氣體閥分別通過管道與所述干燥腔室連通；
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述真空干燥系統(tǒng)包括干燥腔室、進(jìn)氣組件、抽真空組件、第一出氣閥門和第二出氣閥門；
2.如權(quán)利要求1所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述干燥腔室包括腔室主體、冷卻組件、基板、加熱組件、進(jìn)氣口、出氣口和壓力傳感器；
3.如權(quán)利要求2所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱組件包括設(shè)置在升降結(jié)構(gòu)上的加熱件。
4.如權(quán)利要求3所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱件上設(shè)置有定位銷，用于固定所述基板。
5.如權(quán)利要求1所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述第一進(jìn)氣閥門包括破真空閥，所述第二進(jìn)氣閥門包括氣體閥；
6.如權(quán)利要求1所述的真空干燥系統(tǒng)，其特征在于，所述抽真空組件包括依...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：朱云龍，代志濤，孫曌華，何超，
申請(專利權(quán))人：季華實驗室，
類型：發(fā)明
國別省市：
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