【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種捕霧器，并且特別是一種用于氣體減排系統的捕霧器。本專利技術還提供一種用于捕霧器的集水擋板、一種包括捕霧器的減排系統以及一種減緩排氣抽吸放大裝置的主要流動通道中的顆粒積聚的方法。
技術介紹
1、減排設備去除工藝氣體流的組份(例如半導體或平板顯示器制造工藝的化合物)，使得經減排氣體流可以更安全地釋放到環境中。
2、術語濕式洗滌器描述從爐煙氣或從其他氣體流中去除污染物的多種減排裝置。在濕式洗滌器中，通過用液體噴灑被污染的氣體流、通過迫使被污染的氣體流通過液體池或者通過某一其他接觸方法使被污染的氣體流與諸如水的洗滌液體接觸，以便去除污染物。濕式洗滌器還可以通過將固體顆粒捕獲在液體中而去除這些固體顆粒。
3、在離開濕式洗滌器之前，借助于諸如霧過濾器或旋風分離器等稱為除霧器的子部件來分離經洗滌排出氣體流中的液滴。在工廠內進行任何最終排出或回收之前，對所保留洗滌液體和所夾帶污染物進行處理。
4、圖1提供填料塔設計濕式洗滌器(1)的簡化示意圖。所例示霧過濾器(2)位于填料塔的主室(3)內。霧過濾器(2)位于填料(5)與填料塔主室(3)的出口(4)之間。因此，在排出氣體流(6)離開填料塔(1)的主室(3)之前，可以從排出氣體流(6)中去除大致全部霧。
5、在一些情況下，在填料塔濕式洗滌器的下游采用排氣抽吸放大裝置(edad)。顧名思義，排氣抽吸放大裝置增加濕式洗滌器的離開口處的氣體流動速度，沿另外的管道系統引導排氣以便進行處理和/或釋放到大氣中。
6、參考圖2，排氣抽吸
7、據報道，排氣抽吸放大裝置在現場可能展現不令人滿意的平均清潔間隔時間(mtbc)。在一些情況下，排氣抽吸放大裝置可能在其主要流動通道和/或噴射端口的內壁上累積粉末。此粉末通常是減排的副產物，并且普遍呈硅石或二氧化硅的形式。隨著粉末的累積，其改變該裝置的幾何形狀，并且可能降低排氣抽吸放大裝置的效力、特別是在氣體流速度增加的情況下。事實上，據報道，粉末可能累積到一定程度，以至該系統可能因不良壓力條件而觸發警報和/或自動關閉。
8、本專利技術至少部分地解決現有技術的這些問題和其他問題。
技術實現思路
1、因此，在第一方面中，本專利技術提供一種用于濕式洗滌器減排系統的捕霧器。捕霧器包括除霧室，除霧室具有用于接收來自濕式洗滌器減排系統的含霧排出氣體的氣體入口、霧滴可以在其上聚結以形成液體的液體捕獲表面以及相對干燥的氣體可以通過其離開室的氣體出口。捕霧器被配置成使得所捕獲液體的至少第一部分經由氣體入口離開室，以返回到濕式洗滌器減排系統。優選地，液體經由氣體入口流出室。
2、在研究上述問題時，發現包含少量粉末的相對干燥的氣體可以從濕式洗滌器中流出并且通過排氣抽吸放大裝置。不受任何特定理論的約束，據信，將壓縮氣體引入到排氣抽吸放大裝置中可能然后急驟干燥粉末，從而使粉末沉積在排氣抽吸放大裝置的內壁上，在排氣抽吸放大裝置的內壁處，粉末可能逐漸積聚并最終引起堵塞。已經穿過霧過濾器的氣體的低含水量意味著，所輸運粉末不夠潤濕，而無法被排出氣體中保留的任何霧沖走。此外，氣體不夠濕，而無法潤濕edad的表面，并且從而防止蒸發的粉末粘附到所述表面。
3、通過提供獨立捕霧器，可以在氣體流已經穿過排氣抽吸放大裝置之后而非之前從氣體流中去除霧。捕霧器可以捕獲此霧中的一些并將其作為液體重新引導回到濕式洗滌器，從而允許沖洗濕式洗滌器與捕霧器之間的管道系統/管路，該管道系統/管路包括排氣抽吸放大裝置的內表面(諸如主要流動通道)，從而減少粉末在其上的累積。
4、因此，捕霧器可以與排氣抽吸放大裝置流體連通，并且被配置成使得經由氣體入口離開室的液體被引導回到排氣抽吸放大裝置中。由此，捕霧器可以防止另外的粉末粘附。
5、除霧室可以包括至少一個排水出口，所捕獲液體的第二部分通過該至少一個排水出口離開室。除霧室可以包括兩個或更多個這樣的排水出口。優選地，至少一個排水出口與儲液罐、優選地用于將液體饋送到減排系統中(諸如饋送到濕式洗滌器的填料塔中)的儲液罐流體連通。
6、含霧空氣可以由濕式洗滌器、特別是由位于濕式洗滌器的填料塔減排室內的霧化器提供。通常，捕霧器結合不包括除霧器的氣體減排系統的濕式洗滌器使用。含霧空氣可以離開濕式洗滌器并且穿過排氣抽吸放大裝置。有利地，這允許含霧氣體在從填料塔穿過排氣抽吸放大裝置到達捕霧器時沖洗排氣抽吸放大裝置的側壁。此沖洗動作可以是除所回收液體沿相反方向從捕霧器流到濕式洗滌器、優選地流入填料床減排室以外的動作。
7、因此，在另外的方面中，本專利技術提供在使用時用水霧清潔來自氣體減排系統的排氣抽吸放大裝置的粉末沉積物的用途，優選地其中，水霧從氣體減排系統的填料塔濕式洗滌器按路線輸送。
8、在另外的方面中，本專利技術提供一種減排系統，其包括排氣抽吸放大裝置和捕霧器，該排氣抽吸放大裝置被配置成將含霧氣體引導到捕霧器中，并且捕霧器被配置成從含霧氣體中去除液體。捕霧器還被配置成使得從含霧氣體中去除的液體的至少一部分被引導回到排氣抽吸放大裝置中，優選地，通過排氣抽吸放大裝置并且進入濕式洗滌器減排室。優選地，含霧空氣由濕式洗滌器提供。優選地，濕式洗滌器包括并不包括除霧器的填料塔。
9、在實施例中，減排系統可以包括根據先前方面的捕霧器。
10、通常，捕霧器豎直地位于排氣抽吸放大裝置和/或填料床減排室上方，使得由捕霧器收集的液體可以在重力的影響下流回通過排氣抽吸放大裝置和/或流入填料塔減排室。
11、在另外的方面中，本專利技術提供一種減緩氣體減排系統的排氣抽吸放大裝置的主要流動通道中的顆粒積聚的方法。該工藝包括如下步驟：引導來自氣體減排工藝的含霧空氣通過排氣抽吸放大裝置的主要流動通道；從已經離開排氣抽吸放大裝置的含霧氣體中去除液體；以及沿相反方向引導所述所去除液體返回到排氣抽吸放大裝置的主要流動通道中。
12、該方法可以使用根據第一方面的捕霧器和/或根據先前方面的減排系統實施。
13、在所有方面中，液體捕獲表面可以由擋板提供，擋板至少部分將捕霧器的氣體出口與捕霧器的氣體入口阻隔開、優選地完全阻隔開。優選地，排出氣體必須在其從氣體入口到氣體出口的路徑上圍繞擋板流動。擋板可以限定一個或多個孔隙，用于提供從入口到出口的流動路徑。通常在使用中，由擋板限定的一個或多個孔隙提供從氣體入口到氣體出口的唯一路線。
14、在實施例中，擋板可以具有一個或多個裙邊，其中優選地由擋板限定的一個或多個孔隙由一個或多個裙邊提供。通常，該裙邊或每一裙邊是堞形的。當是堞形的時，開口(凹槽)可以提供孔隙。然而，將了解的是，一個或多個孔隙不必然限于任何特定形狀或幾何形狀。
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【技術保護點】
1.一種用于濕式洗滌器減排系統的捕霧器，所述捕霧器包括除霧室，所述除霧室具有：氣體入口，其用于接收來自所述濕式洗滌器減排系統的含霧排出氣體；液體捕獲表面，霧滴可以在其上聚結以形成液體；以及氣體出口，相對干燥的氣體可以通過其離開所述室；并且
2.根據權利要求1所述的捕霧器，其中，所述液體捕獲表面由擋板提供，所述擋板至少部分將所述氣體出口與所述氣體入口阻隔開。
3.根據權利要求2所述的捕霧器，其中，所述擋板限定一個或多個孔隙，以便提供從所述氣體入口到所述氣體出口的流動路徑。
4.根據權利要求2或權利要求3所述的捕霧器，其中，所述擋板具有一個或多個裙邊，優選地其中，所述擋板的一個或多個孔隙由所述一個或多個裙邊提供。
5.根據任一前述權利要求所述的捕霧器，其中，所述除霧室包括至少一個排水出口，所述所捕獲液體的第二部分通過所述至少一個排水出口離開所述室。
6.一種用于氣體減排系統的捕霧器的集水擋板，所述擋板包括大體平坦主體以及鄰近所述主體的外周邊的從所述主體延伸的裙邊，所述裙邊限定一個或多個孔隙，所述一個或多個孔隙被配置成準許氣體
7.根據權利要求3至5中任一項權利要求所述的捕霧器或者根據權利要求6所述的擋板，其中，所述孔隙或每一孔隙的大小是可調節的。
8.根據權利要求4或5或7所述的捕霧器或者根據權利要求6或7所述的擋板，其中，所述裙邊或每一裙邊是堞形的。
9.根據權利要求1至5中任一項或7或8所述的捕霧器，其中，所述捕霧器與排氣抽吸放大裝置流體連通，并且被配置成使得經由所述氣體入口離開所述室的液體被引導回到所述排氣抽吸放大裝置中。
10.一種減排系統，其包括排氣抽吸放大裝置和捕霧器，所述排氣抽吸放大裝置被配置成將含霧氣體引導到所述捕霧器中，并且所述捕霧器被配置成從含霧氣體中去除液體，并且其中捕霧器還被配置成使得從所述含霧氣體中去除的液體的至少一部分被引導回到所述排氣抽吸放大裝置中。
11.根據權利要求10所述的減排系統，其中，所述捕霧器是根據權利要求1至5或7或8中任一項的。
12.根據權利要求9所述的捕霧器或者根據權利要求10或11所述的減排系統，其中，被引導通過所述排氣抽吸放大裝置的液體返回到填料床減排室。
13.根據權利要求1至5中任一項或7至9所述的捕霧器或者根據權利要求10至12中任一項所述的減排系統，其包括根據權利要求6至8中任一項所述的捕霧器擋板。
14.一種減緩氣體減排系統的排氣抽吸放大裝置的主要流動通道中的顆粒積聚的方法，所述方法包括如下步驟：
15.根據權利要求14所述的方法，其使用根據權利要求1至5中任一項或7至9中任一項權利要求所述的捕霧器或者根據權利要求10至12中任一項所述的減排系統來實施。
16.一種在使用時用水霧清潔來自氣體減排系統的排氣抽吸放大裝置的粉末沉積物的用途，優選地其中，所述水霧從所述氣體減排系統的填料塔濕式洗滌器按路線輸送。
...【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種用于濕式洗滌器減排系統的捕霧器，所述捕霧器包括除霧室，所述除霧室具有：氣體入口，其用于接收來自所述濕式洗滌器減排系統的含霧排出氣體；液體捕獲表面，霧滴可以在其上聚結以形成液體；以及氣體出口，相對干燥的氣體可以通過其離開所述室；并且
2.根據權利要求1所述的捕霧器，其中，所述液體捕獲表面由擋板提供，所述擋板至少部分將所述氣體出口與所述氣體入口阻隔開。
3.根據權利要求2所述的捕霧器，其中，所述擋板限定一個或多個孔隙，以便提供從所述氣體入口到所述氣體出口的流動路徑。
4.根據權利要求2或權利要求3所述的捕霧器，其中，所述擋板具有一個或多個裙邊，優選地其中，所述擋板的一個或多個孔隙由所述一個或多個裙邊提供。
5.根據任一前述權利要求所述的捕霧器，其中，所述除霧室包括至少一個排水出口，所述所捕獲液體的第二部分通過所述至少一個排水出口離開所述室。
6.一種用于氣體減排系統的捕霧器的集水擋板，所述擋板包括大體平坦主體以及鄰近所述主體的外周邊的從所述主體延伸的裙邊，所述裙邊限定一個或多個孔隙，所述一個或多個孔隙被配置成準許氣體在使用期間圍繞所述擋板流動，其中，所述裙邊從其延伸的平坦主體的一側被配置成提供霧滴可以在其上聚結的液體捕獲表面。
7.根據權利要求3至5中任一項權利要求所述的捕霧器或者根據權利要求6所述的擋板，其中，所述孔隙或每一孔隙的大小是可調節的。
8.根據權利要求4或5或7所述的捕霧器或者根據權利要求6或7所述的擋板，其中，所述裙邊或每一...
【專利技術屬性】
技術研發人員：E·梅森，H·W·M·蘭伯特，T·J·戴維斯，K·米漢，M·F·戴維森，D·K·克努森，S·K·坎特伯雷，
申請(專利權)人：愛德華茲有限公司，
類型：發明
國別省市：
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