多晶硅生產(chǎn)中冷卻回水的熱能回收利用方法技術

本發(fā)明專利技術涉及多晶硅生產(chǎn)中冷卻回水的熱能回收利用方法，屬于多晶硅生產(chǎn)領域。本發(fā)明專利技術所解決的技術問題是提供了一種多晶硅生產(chǎn)中冷卻回水的熱能回收利用方法，該方法對冷卻回水的熱能回收利用率較高。本發(fā)明專利技術多晶硅生產(chǎn)中冷卻回水的熱能回收利用方法包括如下步驟：ａ、熱能轉移：采用冷卻回水對溴化鋰稀溶液進行濃縮；ｂ、熱能釋放：用水噴淋濃縮后的溴化鋰溶液，用放出的熱量加熱水得到１３８～１４５℃的過熱水；ｃ、制備高溫飽和蒸汽：將過熱水加入閃蒸裝置中，使其瞬間氣化為１２８～１３２℃的飽和蒸汽。本發(fā)明專利技術方法減少了大量板換冷卻水用量，節(jié)約了水資源；本發(fā)明專利技術方法為多晶硅生產(chǎn)提供了穩(wěn)定、優(yōu)質(zhì)的熱源，減少了蒸汽的用量，節(jié)約了能源，有利于環(huán)保。

【技術實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術涉及，屬于多晶硅生產(chǎn)領域。
技術介紹
多晶硅生產(chǎn)過程中硅棒會產(chǎn)生大量的熱量，需要用冷卻水對多晶硅還原爐進行冷 卻，冷卻還原爐的過程中會產(chǎn)生大量的冷卻回水(冷卻回水溫度為105 115°C )及大量的 余熱。在傳統(tǒng)的多晶硅工藝中大量的冷卻回水主要通過換熱器用額外冷卻水進行冷卻，這 樣就浪費了大量的熱能。也有少部分多晶硅工藝采用產(chǎn)生的冷卻回水進行閃蒸，產(chǎn)生少量 的低壓蒸汽，再將低壓蒸汽重復利用到其它地方，此方法雖然利用了部分熱能，但對冷卻回 水的水溫要求較高，且產(chǎn)生的蒸汽壓力不高，對熱能的利用率也較低。
技術實現(xiàn)思路
本專利技術所要解決的技術問題是提供一種多晶硅生產(chǎn)中冷卻回水的熱能回收利用 方法，該方法對冷卻回水的熱能回收利用率較高。 本專利技術包括如下步驟 a、熱能轉移采用冷卻回水(冷卻回水溫度為105 115°C )對溴化鋰稀溶液(溴 化鋰稀溶液質(zhì)量濃度優(yōu)選為20 40% )進行濃縮；溴化鋰稀溶液的水分受熱后蒸發(fā)，溴化 鋰稀溶液的質(zhì)量濃度可以從20 40%濃縮至60 70%，可以使冷卻回水溫度由105 115t:降至8(TC左右； b、熱能釋放用水噴淋濃縮后的溴化鋰溶液，用放出的熱量加熱水得到138 145。C的過熱水(壓力為0. 26MPa左右)； c、制備高溫飽和蒸汽將過熱水加入閃蒸裝置中，使其瞬間氣化為128 132C的 飽和蒸汽(飽和蒸汽壓為0. 175Mpa左右)。 其中，濃縮厚的溴化鋰溶液噴淋水過多，則會減少放出的熱量，如果噴淋水過少， 則放出的熱量不足，上述b步驟優(yōu)選用水噴林濃縮后的溴化鋰溶液至溴化鋰溶液質(zhì)量濃度 為20 40%。 上述c步驟制備的飽和蒸汽的溫度和飽和蒸汽壓較高，可以用作多晶硅生產(chǎn)中的 熱源。如將所得飽和蒸汽用作熱源加熱氯硅烷，得到氯硅烷氣體和冷凝水(溫度為128 132 °C )，冷凝水返回b步驟循環(huán)使用，用溴化鋰溶液放出的熱量加熱冷凝水得到138 145t:的過熱水。 本專利技術方法具有如下優(yōu)點 1、本專利技術方法可以將冷卻回水由105 115t:迅速降溫至8(TC，并且減少了大量 板換冷卻水用量，節(jié)約了水資源； 2、本專利技術方法可以在沒有任何外加熱源的情況下，制備大量的飽和蒸汽，為多晶硅生產(chǎn)提供了穩(wěn)定、優(yōu)質(zhì)的熱源，減少了蒸汽的用量，節(jié)約了能源，有利于環(huán)保； 3、本專利技術方法對冷卻回水溫度的要求不高，通常只要在IO(TC以上即可，適合大多數(shù)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)使用； 4、本專利技術方法為本領域提供了一種新的選擇，具有廣闊的應用前景。 具體實施例方式下面結合實施例對本專利技術的具體實施方式做進一步的描述，并不因此將本專利技術限 制在所述的實施例范圍之中。 實施例采用本專利技術方法回收利用多晶硅生產(chǎn)中的熱能 用冷卻水對多晶硅還原爐進行冷卻得到冷卻回水(溫度為110°C )，采用冷卻回水 對溴化鋰稀溶液(質(zhì)量濃度為20 40% )進行濃縮；使冷卻回水溫度降至8(TC左右。濃 縮后的溴化鋰溶液的質(zhì)量濃度為60 70% 。用水噴淋濃縮后的溴化鋰溶液，濃縮后的溴化 鋰溶液稀釋放熱，用放出的熱量加熱蒸汽冷凝水(飽和蒸汽加熱氯硅烷，飽和蒸汽冷凝得 到蒸汽冷凝水)，得到14(TC的過熱水(壓力為0.26MPa)。將過熱水加入閃蒸裝置中，使其 瞬間氣化為13(TC的飽和蒸汽(飽和蒸汽壓為O. 175Mpa)。用飽和蒸汽加熱氯硅烷，得到氯 硅烷氣體。同時，飽和蒸汽冷凝得到溫度為13(TC的冷凝水，冷凝水利用濃縮后的溴化鋰溶 液稀釋放熱被加熱為14(TC過熱水，循環(huán)使用。權利要求，其特征在于包括如下步驟a、熱能轉移采用冷卻回水對溴化鋰稀溶液進行濃縮；b、熱能釋放用水噴淋濃縮后的溴化鋰溶液，用放出的熱量加熱水得到138～145℃的過熱水；c、制備高溫飽和蒸汽將過熱水加入閃蒸裝置中，使其瞬間氣化為128～132℃的飽和蒸汽。2. 根據(jù)權利要求l所述的，其特征在于a 步驟所述的冷卻回水溫度為105 115°C。3. 根據(jù)權利要求1或2所述的，其特征在 于a步驟所述的溴化鋰稀溶液的質(zhì)量濃度為20 40% ;b步驟所述的濃縮后的溴化鋰溶 液的質(zhì)量濃度為60 70%。4. 根據(jù)權利要求3所述的，其特征在于b 步驟用水噴林濃縮后的溴化鋰溶液至溴化鋰溶液質(zhì)量濃度為20 40%。5. 根據(jù)權利要求1 4任一項所述的，其 特征在于c步驟所得飽和蒸汽用作熱源加熱氯硅烷，得到氯硅烷氣體和冷凝水，冷凝水返 回b步驟利用濃縮后的溴化鋰溶液稀釋放熱被加熱為138 145t:的過熱水，循環(huán)使用。全文摘要本專利技術涉及，屬于多晶硅生產(chǎn)領域。本專利技術所解決的技術問題是提供了一種，該方法對冷卻回水的熱能回收利用率較高。本專利技術包括如下步驟a、熱能轉移采用冷卻回水對溴化鋰稀溶液進行濃縮；b、熱能釋放用水噴淋濃縮后的溴化鋰溶液，用放出的熱量加熱水得到138～145℃的過熱水；c、制備高溫飽和蒸汽將過熱水加入閃蒸裝置中，使其瞬間氣化為128～132℃的飽和蒸汽。本專利技術方法減少了大量板換冷卻水用量，節(jié)約了水資源；本專利技術方法為多晶硅生產(chǎn)提供了穩(wěn)定、優(yōu)質(zhì)的熱源，減少了蒸汽的用量，節(jié)約了能源，有利于環(huán)保。文檔編號F22B3/00GK101762174SQ20091031225公開日2010年6月30日 申請日期2009年12月25日 優(yōu)先權日2009年12月25日專利技術者何勁, 冉東, 盧濤, 唐前正, 彭卡, 李品賢, 趙新征 申請人:樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責任公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
多晶硅生產(chǎn)中冷卻回水的熱能回收利用方法，其特征在于：包括如下步驟：ａ、熱能轉移：采用冷卻回水對溴化鋰稀溶液進行濃縮；ｂ、熱能釋放：用水噴淋濃縮后的溴化鋰溶液，用放出的熱量加熱水得到１３８～１４５℃的過熱水；ｃ、制備高溫飽和蒸汽：將過熱水加入閃蒸裝置中，使其瞬間氣化為１２８～１３２℃的飽和蒸汽。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：唐前正，何勁，冉東，趙新征，盧濤，彭卡，李品賢，
申請(專利權)人：樂山樂電天威硅業(yè)科技有限責任公司，
類型：發(fā)明
國別省市：51[中國|四川]