【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于晶圓清洗，尤其涉及一種用于晶圓清洗過(guò)程中藥液的回收設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、在晶圓生產(chǎn)過(guò)程中，晶圓清洗是各個(gè)工站必不可少，不同的工站所需清潔效果也不一樣，用到的藥液種類也根據(jù)工藝不同而多種多樣，尤其是單片清洗蝕刻設(shè)備。
2、為節(jié)約成本，各種價(jià)格昂貴的化學(xué)藥液需要進(jìn)行回收再利用，在回收的過(guò)程中，需要多個(gè)回收機(jī)構(gòu)分別進(jìn)行分離后再分批回收?，F(xiàn)有結(jié)構(gòu)中通常會(huì)設(shè)置內(nèi)外雙層分流罩來(lái)實(shí)現(xiàn)兩種不同藥液的分離，在機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，內(nèi)外分流罩分別用多個(gè)執(zhí)行元件進(jìn)行控制來(lái)實(shí)現(xiàn)上下升降，其中的執(zhí)行元件可以為氣缸或者電動(dòng)模組。但是，氣缸使用中存在單個(gè)氣缸不同步升降，氣缸導(dǎo)向不易調(diào)整，造成分流罩破裂變形等問(wèn)題；而電動(dòng)模組在使用中控制較為復(fù)雜，雙模組需要同步控制，控制器較多，電氣程序復(fù)雜，成本較高；故上述兩者結(jié)構(gòu)都不滿足現(xiàn)有的需求，也不利于設(shè)備后期維護(hù)和其它機(jī)構(gòu)的排布。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種藥液回收設(shè)備，整體成本低，易于控制調(diào)試，占有面積較小。
2、為達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)采用的技術(shù)方案是：一種藥液回收設(shè)備，包括：
3、旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上具有用于夾持晶圓的定位pin；
4、藥液槽，沿著所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的外周向分布，所述藥液槽的底部設(shè)有外出液口；安裝架，設(shè)置在所述藥液槽的下方，所述安裝架上設(shè)有豎向設(shè)置的導(dǎo)向線軌；
5、內(nèi)分流罩，設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)和所述藥液槽之間，所述內(nèi)分流罩通過(guò)內(nèi)驅(qū)動(dòng)部能夠主動(dòng)的在所述導(dǎo)
6、外分流罩，設(shè)于所述內(nèi)分流罩和所述藥液槽之間，所述外分流罩通過(guò)外滑動(dòng)部能夠在所述導(dǎo)向線軌內(nèi)上下升降，用以引導(dǎo)藥液沿著所述內(nèi)分流罩和外分流罩之間的間隙流出，其中，所述外滑動(dòng)部位于所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部的上方；
7、限位部，兩個(gè)所述限位部分別設(shè)置在所述安裝架的兩側(cè)；
8、推動(dòng)部件，設(shè)于所述內(nèi)分流罩的兩側(cè)，并且與所述限位部相對(duì)應(yīng)設(shè)置；
9、其中，當(dāng)所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)內(nèi)分流罩沿著導(dǎo)向線軌上升時(shí)，所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部同步帶動(dòng)所述外滑動(dòng)部沿著導(dǎo)向線軌上升，外滑動(dòng)部帶動(dòng)外分流罩同步上升，當(dāng)所述內(nèi)分流罩的上表面高于晶圓的位置時(shí)，噴淋的藥液在晶圓旋轉(zhuǎn)離心力的作用下沿著內(nèi)分流罩的引導(dǎo)由所述內(nèi)出液口進(jìn)行回收，此時(shí)所述推動(dòng)部件跟隨內(nèi)分流罩隨動(dòng)上升后推動(dòng)限位部對(duì)外分流罩在導(dǎo)向線軌上的升降距離進(jìn)行限位；
10、當(dāng)所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)內(nèi)分流罩沿著導(dǎo)向線軌下降時(shí)，所述內(nèi)分流罩復(fù)位，所述外分流罩由于自身的重力下降至所述限位部的最低限位位置，此時(shí)所述晶圓位于所述內(nèi)分流罩和外分流罩之間，噴淋的藥液在晶圓旋轉(zhuǎn)離心力的作用下沿著所述內(nèi)分流罩和外分流罩之間的間隙流出后由所述外出液口進(jìn)行回收；
11、當(dāng)藥液回收完成后，所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部帶動(dòng)所述內(nèi)分流罩再次上升，此時(shí)推動(dòng)部件再次推動(dòng)限位部后解除限位部對(duì)外分流罩的限位，然后所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)內(nèi)分流罩下移，所述外分流罩由于自身重力復(fù)位。
12、在一實(shí)施例中，所述外出液口和內(nèi)出液口為相鄰設(shè)置。
13、在一實(shí)施例中，所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部包括豎向設(shè)置在所述安裝架上的升降電機(jī)；所述升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)位于導(dǎo)向線軌上的內(nèi)滑塊上下升降；所述內(nèi)滑塊上設(shè)有沿著所述藥液槽的直徑方向分布有內(nèi)連接板，所述內(nèi)連接板上表面的兩端設(shè)有內(nèi)立柱；所述內(nèi)立柱與所述內(nèi)分流罩相連。
14、在一實(shí)施例中，所述外滑動(dòng)部包括可滑動(dòng)的設(shè)置在所述導(dǎo)向線軌上的外滑動(dòng)塊；所述外滑動(dòng)塊上設(shè)有位于內(nèi)連接板上表面的外連接板，所述外連接板的上表面兩端設(shè)有外立柱，所述外立柱與所述外分流罩相連。
15、在一實(shí)施例中，所述推動(dòng)部件包括第一推板和第二推板，所述第一推板從所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部的一側(cè)延伸出來(lái)，所述第一推板的延伸端設(shè)有傾斜設(shè)置的第二推板，用以在所述推動(dòng)部件上升時(shí)，所述第二推板能夠推動(dòng)所述限位部。
16、在一實(shí)施例中，所述限位部包括限位板和伸縮組件；所述限位板設(shè)于所述外滑動(dòng)部上，所述限位板上開有限位卡槽；所述伸縮組件設(shè)置在所述安裝架的側(cè)面；所述伸縮組件包括第一導(dǎo)向管、第二導(dǎo)向管、限位桿、卡扣和頂桿；
17、所述第一導(dǎo)向管和第二導(dǎo)向管依次垂直安裝在所述安裝架上；所述第二導(dǎo)向管內(nèi)部開有同軸心設(shè)置的第一內(nèi)孔和第二內(nèi)孔，且，所述第一內(nèi)孔的直徑大于所述第二內(nèi)孔的直徑；所述第二內(nèi)孔的內(nèi)壁設(shè)有內(nèi)套管，所述內(nèi)套管上相對(duì)第一導(dǎo)向管的一端具有內(nèi)齒形，所述內(nèi)套管上相對(duì)內(nèi)齒形的一端具有沿著內(nèi)套管內(nèi)壁周向等距分布的導(dǎo)向內(nèi)槽，且所述導(dǎo)向內(nèi)槽朝向所述內(nèi)齒形的一端貫穿設(shè)置；
18、所述限位桿從第一導(dǎo)向管插入后抵設(shè)在所述第二內(nèi)孔的端面上，且，所述限位桿上相對(duì)所述第二內(nèi)孔的一側(cè)套設(shè)有彈簧；
19、所述卡扣從所述內(nèi)套管的一端插入后與所述限位桿卡設(shè)相連，使得所述限位桿上的彈簧處于壓縮狀態(tài)；所述卡扣與所述限位桿相對(duì)一端的周向上設(shè)有多個(gè)卡扣導(dǎo)向條，且所述卡扣導(dǎo)向條上與所述限位桿相反的端面具有斜齒形；其中，所述卡扣導(dǎo)向條限位在所述導(dǎo)向內(nèi)槽內(nèi)；
20、所述卡扣和內(nèi)套管之間設(shè)有套設(shè)在卡扣上的頂桿；所述頂桿套設(shè)在所述卡扣的一側(cè)端面上設(shè)有頂桿齒形，且所述頂桿齒形遠(yuǎn)離所述卡扣導(dǎo)向條；所述頂桿齒形的后端設(shè)有多個(gè)沿著所述頂桿周向分布的頂桿導(dǎo)向條；所述頂桿導(dǎo)向條限位在所述導(dǎo)向內(nèi)槽內(nèi)，并且與所述卡扣導(dǎo)向條相對(duì)設(shè)置。
21、在一實(shí)施例中，所述卡扣導(dǎo)向條的數(shù)量為四個(gè)。
22、由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本專利技術(shù)與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：
23、本專利技術(shù)的藥液回收設(shè)備，通過(guò)一個(gè)升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)外風(fēng)流罩和內(nèi)風(fēng)流罩同步上升，直到內(nèi)風(fēng)流罩高于晶圓的位置后進(jìn)行第一種藥液的噴淋，藥液經(jīng)由與內(nèi)風(fēng)流罩相通的內(nèi)出液口回收，同時(shí)由限位部對(duì)外風(fēng)流罩進(jìn)行限位；當(dāng)需要進(jìn)行第二種藥液噴淋時(shí)，升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)內(nèi)風(fēng)流罩下降，同時(shí)外風(fēng)流罩在自身重力作用下移至限位部的最低位置，此時(shí)的晶圓處于外分流罩和內(nèi)風(fēng)流罩之間，這樣藥液可以通過(guò)外風(fēng)流罩和內(nèi)風(fēng)流罩的間隙流入外出液口后排出，從而能在不同藥液噴淋的情況下通過(guò)不同的通道對(duì)藥液進(jìn)行回收，整體結(jié)構(gòu)緊湊，單個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)即可對(duì)內(nèi)外風(fēng)流罩進(jìn)行上下升降以及對(duì)外風(fēng)流罩的位置限位，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同藥液的獨(dú)立回收，整體的占用的面積小，利于設(shè)備后期維護(hù)和其它機(jī)構(gòu)排布。
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1.一種藥液回收設(shè)備，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述外出液口(10)和內(nèi)出液口(11)為相鄰設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部(2)包括豎向設(shè)置在所述安裝架(7)上的升降電機(jī)(20)；所述升降電機(jī)(20)驅(qū)動(dòng)位于導(dǎo)向線軌(8)上的內(nèi)滑塊(21)上下升降；所述內(nèi)滑塊(21)上設(shè)有沿著所述藥液槽(4)的直徑方向分布有內(nèi)連接板(22)，所述內(nèi)連接板(22)上表面的兩端設(shè)有內(nèi)立柱(23)；所述內(nèi)立柱(23)與所述內(nèi)分流罩(5)相連。
4.如權(quán)利要求3所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述外滑動(dòng)部(3)包括可滑動(dòng)的設(shè)置在所述導(dǎo)向線軌(8)上的外滑動(dòng)塊；所述外滑動(dòng)塊上設(shè)有位于內(nèi)連接板(22)上表面的外連接板(31)，所述外連接板(31)的上表面兩端設(shè)有外立柱(32)，所述外立柱(32)與所述外分流罩(9)相連。
5.如權(quán)利要求1所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述推動(dòng)部件(12)包括第一推板(120)和第二推板(121)；所述第一推板(120)從所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部(2)的一側(cè)延
6.如權(quán)利要求1所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述限位部(13)包括限位板(14)和伸縮組件(15)；所述限位板(14)設(shè)于所述外滑動(dòng)部(3)上，所述限位板(14)上開有限位卡槽(140)；所述伸縮組件(15)設(shè)置在所述安裝架(7)的側(cè)面；所述伸縮組件(15)包括第一導(dǎo)向管(150)、第二導(dǎo)向管(151)、限位桿(152)、卡扣(153)和頂桿(154)；
7.如權(quán)利要求6所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述卡扣導(dǎo)向條(153a)的數(shù)量為四個(gè)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種藥液回收設(shè)備，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述外出液口(10)和內(nèi)出液口(11)為相鄰設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述內(nèi)驅(qū)動(dòng)部(2)包括豎向設(shè)置在所述安裝架(7)上的升降電機(jī)(20)；所述升降電機(jī)(20)驅(qū)動(dòng)位于導(dǎo)向線軌(8)上的內(nèi)滑塊(21)上下升降；所述內(nèi)滑塊(21)上設(shè)有沿著所述藥液槽(4)的直徑方向分布有內(nèi)連接板(22)，所述內(nèi)連接板(22)上表面的兩端設(shè)有內(nèi)立柱(23)；所述內(nèi)立柱(23)與所述內(nèi)分流罩(5)相連。
4.如權(quán)利要求3所述的藥液回收設(shè)備，其特征在于：所述外滑動(dòng)部(3)包括可滑動(dòng)的設(shè)置在所述導(dǎo)向線軌(8)上的外滑動(dòng)塊；所述外滑動(dòng)塊上設(shè)有位于內(nèi)連接板(22)上表面的外連接板(31)，所述外連接板(31)的上表面兩端設(shè)有外立柱(32)，所述外立柱(32)與所述外分流罩(9)相...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：崔建舉，徐東波，余濤，龐金元，成鎵偉，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：若名芯裝備蘇州有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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