【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及固晶貼片設備領域，尤其涉及一種解耦式xyz三軸運動平臺結構。
技術介紹
1、芯片固晶行業中需要通過xyz三軸運動平臺來帶動貼裝邦頭移動，使吸附在貼裝邦頭吸嘴上的芯片，貼裝在基板上。傳統的xyz三軸運動平臺，當z軸基座及y軸基座沿x軸方向的低頻運動時，由于往復運動頻率低，對平臺的穩定性影響不大；但傳統的xyz三軸運動平臺的z軸機構是整體固定在y軸機構中的y軸主滑座上的，當z軸機構整體跟隨y軸主滑座做y軸方向的高頻往復運動時，由于z軸機構整體重量大，做較高頻率的往復運動時會造成三軸運動平臺的不穩定，進而造成貼裝邦頭定位不準確，嚴重降低貼片精度。
技術實現思路
1、針對現有技術的不足，本專利技術提供了一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，以克服現有技術中的不足。
2、為實現以上目的，本專利技術通過以下技術方案予以實現：
3、一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，包括x軸機構、y軸機構和z軸機構，x軸機構、y軸機構、z軸機構組合成沿x軸、y軸及z軸往復運動的三軸運動平臺，解耦機構和y軸機構上對接貼裝邦頭。
4、所述x軸機構，其包括固定設置在機架上的x軸基座；x軸基座的底部沿左右向設置有滑動配合的x軸主滑軌和x軸主滑座，x軸主滑軌固定在x軸基座上，x軸主滑座上吊裝y軸機構；
5、所述y軸機構，其包括吊裝在x軸主滑座上的y軸基座；y軸基座上沿前后向設置有滑動配合的y軸主滑軌和y軸主滑座；y軸主滑軌固定在y軸基座上，y軸主滑座上沿豎向設置有y
6、所述z軸機構，其包括z軸基座；z軸基座上沿豎向設置有z軸主滑軌和z軸主滑座，z軸主滑軌固定在z軸基座上，z軸主滑座連接解耦機構。
7、進一步地，所述解耦機構包括滑動配合的解耦滑軌和解耦軸承座；解耦滑軌前后向固定設置在z軸主滑座上；解耦軸承座上上下間隔設置一對軸承，一對軸承分別與解耦滑軌的上下表面接觸；解耦軸承座通過豎向設置的連桿連接貼裝邦頭。
8、進一步地，所述x軸基座的頂面上沿左右向設置有滑動配合的x軸輔助滑軌和x軸輔助滑座，x軸輔助滑軌固定在x軸基座上，x軸輔助滑座連接z軸基座。
9、進一步地，本案的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構還包括有一對沖減震機構；該對沖減震機構包括減震基座，減震基座上設置有滑動配合的減震滑軌和減震滑座。
10、進一步地，所述減震滑座上設置有平衡塊。
11、優選地，所述減震滑座通過減震驅動電機驅動，且減震驅動電機驅動減震滑座做與y軸輔助滑座反方向的對沖運動。
12、優選地，所述對沖減震機構與三軸運動平臺并排安裝在機架吊頂上。
13、優選地，所述x軸基座的外端設置有x軸驅動電機。
14、優選地，所述y軸主滑座由y軸驅動電機驅動。
15、優選地，所述z軸基座上設置有z軸驅動電機。
16、相比于現有技術，本專利技術的有益效果為：
17、1)本案的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，將解耦機構作為中間對接部件，通過解耦機構分別對接z軸機構和y軸機構，從而將z軸機構中的大重量部件(如z軸基座、z軸驅動電機、z軸主滑軌及z軸主滑座)分別安裝在y軸基座和x軸輔助滑座上，從而避免z軸機構中的大重量部件跟隨y軸主滑座做高頻的往復運動而造成三軸運動平臺不穩定，從而保證貼裝邦頭定位的精準度，有效增強產品加工精度。
18、2)本案的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，其x軸機構通過雙軌方式分別連接y軸機構和z軸機構，具體為x軸主滑座連接y軸基座、x軸輔助滑座連接z軸基座，雙軌方式分擔了y軸機構和z軸機構的重量，進一步增強三軸運動平臺往復運動時的穩定性。
19、3)本案的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，通過在對沖減震機構內設置平衡塊，減震驅動電機驅動減震滑座上的平衡塊做與y軸輔助滑座反方向的對沖運動，從而對三軸運動平臺進行減震，更進一步保證三軸運動平臺加工產品時高頻往復運行的穩定性。
20、為了能更清晰的理解本專利技術，以下將結合附圖說明闡述本專利技術較佳的實施方式。
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1.一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，包括X軸機構、Y軸機構、Z軸機構，X軸機構、Y軸機構、Z軸機構組合成沿X軸、Y軸及Z軸往復運動的三軸運動平臺，解耦機構和Y軸機構上對接貼裝邦頭(9)，其特征在于：
2.根據權利要求1所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述解耦機構包括滑動配合的解耦滑軌(41)和解耦軸承座(42)；解耦滑軌(41)前后向固定設置在Z軸主滑座(33)上；解耦軸承座(42)上上下間隔設置一對軸承(421)，一對軸承(421)分別與解耦滑軌(41)的上下表面接觸；解耦軸承座(42)通過豎向設置的連桿(43)連接貼裝邦頭(9)。
3.根據權利要求2所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述X軸基座(11)的頂面上沿左右向設置有滑動配合的X軸輔助滑軌和X軸輔助滑座(15)，X軸輔助滑軌固定在X軸基座(11)上，X軸輔助滑座(15)連接Z軸基座(31)。
4.根據權利要求3所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：還包括有一對沖減震機構；該對沖減震機構包括減震基座(51)，減震基座(51)上設置有
5.根據權利要求4所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述減震滑座(52)上設置有平衡塊(53)。
6.根據權利要求5所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述減震滑座(52)通過減震驅動電機驅動，且減震驅動電機驅動減震滑座(52)做與Y軸輔助滑座(25)反方向的對沖運動。
7.根據權利要求5所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述對沖減震機構與三軸運動平臺并排安裝在機架吊頂上。
8.根據權利要求5所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述X軸基座(11)的外端設置有X軸驅動電機(16)。
9.根據權利要求5所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述Y軸主滑座(23)由Y軸驅動電機驅動。
10.根據權利要求5所述的一種解耦式XYZ三軸運動平臺結構，其特征在于：所述Z軸基座(31)上設置有Z軸驅動電機(34)。
...【技術特征摘要】
1.一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，包括x軸機構、y軸機構、z軸機構，x軸機構、y軸機構、z軸機構組合成沿x軸、y軸及z軸往復運動的三軸運動平臺，解耦機構和y軸機構上對接貼裝邦頭(9)，其特征在于：
2.根據權利要求1所述的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，其特征在于：所述解耦機構包括滑動配合的解耦滑軌(41)和解耦軸承座(42)；解耦滑軌(41)前后向固定設置在z軸主滑座(33)上；解耦軸承座(42)上上下間隔設置一對軸承(421)，一對軸承(421)分別與解耦滑軌(41)的上下表面接觸；解耦軸承座(42)通過豎向設置的連桿(43)連接貼裝邦頭(9)。
3.根據權利要求2所述的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，其特征在于：所述x軸基座(11)的頂面上沿左右向設置有滑動配合的x軸輔助滑軌和x軸輔助滑座(15)，x軸輔助滑軌固定在x軸基座(11)上，x軸輔助滑座(15)連接z軸基座(31)。
4.根據權利要求3所述的一種解耦式xyz三軸運動平臺結構，其特征在于：還包括有一對沖減震機構；該對沖減震機構包...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄒巍，劉兵生，曾勝林，
申請(專利權)人：廣州諾頂智能科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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