【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本技術屬于半導體加工設備，具體涉及一種帶安裝結構的屏蔽罩。
技術介紹
1、半導體設備泛指用于加工生產(chǎn)各種類型半導體產(chǎn)品使用的生產(chǎn)設備，中國技術授權專利申請?zhí)枮閏n202122960299.3公開了一種半導體設備加工專用防護組件，半導體設備是半導體生產(chǎn)用的加工設備；半導體檢測設備是對生產(chǎn)產(chǎn)品進行檢測的一種半導體加工設備，主要利用電子顯微鏡、x射線探測儀、紅外熱成像儀等方法檢測半導體產(chǎn)品的質量和性能；
2、對半導體產(chǎn)品進行性能檢測時，一般操作人員將工件置于半導體檢測設備內部，操作人員操作按鍵控制程序，自動進行檢測，但是在自動檢測的操作過程中，為了便于操作人員取放工件或者調節(jié)工件位置，檢測設備內部檢測器件處于暴露狀態(tài)，內部檢測器件與工件處于未被屏蔽的狀態(tài)，工件表面粘附外部雜質情況下，檢測結果容易出現(xiàn)誤差；半導體檢測設備檢測工件時，存在內部檢測器件與工件處于未被屏蔽的狀態(tài)的問題，為此本申請?zhí)岢鲆环N帶安裝結構的屏蔽罩。
技術實現(xiàn)思路
1、本技術的目的在于提供一種帶安裝結構的屏蔽罩，以解決上述
技術介紹
中提出的半導體檢測設備內部檢測器件與工件處于未被屏蔽的狀態(tài)的問題。
2、為實現(xiàn)上述目的，本技術提供如下技術方案：一種帶安裝結構的屏蔽罩，包括分體結構的屏蔽護罩和安裝梁架、以及固定連接的立柱和升降滑臺氣缸，所述安裝梁架包括分體結構的固定梁和固定板，所述固定梁上設有調節(jié)組件，所述調節(jié)組件包括雙向螺桿和對稱分布的滑塊，所述雙向螺桿貫穿滑塊，所述雙向螺桿安裝在固定梁的內部，所述滑塊
3、優(yōu)選的，所述固定梁為倒置的“u”型結構，所述固定梁相背的表面上開設有矩形的活動槽，所述雙向螺桿和滑塊安裝在活動槽內部，所述雙向螺桿的中心位置貫穿有固定環(huán)，所述固定板表面上開設有與固定環(huán)對立的矩形槽。
4、優(yōu)選的，所述固定梁側面開設有與活動槽連通的限位孔，所述限位耳與限位孔配合。
5、優(yōu)選的，所述限位耳一端的表面上開設有通孔，所述定位柱與通孔間隙配合。
6、優(yōu)選的，所述連接板為“l(fā)”型結構，所述連接板的一端上設有與屏蔽護罩表面貼合的方板。
7、優(yōu)選的，所述屏蔽護罩相背表面上的導向塊為長方體形狀，所述立柱面向屏蔽護罩的表面上開設有與導向塊適配的導向槽。
8、優(yōu)選的，所述屏蔽護罩的側面上設有開閉組件和矩形的觀察口，所述開閉組件包括固定連接的開閉板和轉動筒、以及穩(wěn)固柱和復位彈簧，貫穿轉動筒、復位彈簧的所述穩(wěn)固柱安裝在屏蔽護罩的觀察口內，所述復位彈簧的兩端分別與屏蔽護罩內側壁、開閉板連接。
9、優(yōu)選的，所述屏蔽護罩的表面上轉動連接有限位柱，所述限位柱上垂直有捏桿，所述限位柱與屏蔽護罩的側面相切。
10、與現(xiàn)有技術相比，本技術的有益效果是：
11、本技術中，立柱上的限位耳嵌入固定梁內部，雙向螺桿旋轉時，對稱的滑塊滑動，以及定位柱貫穿限位耳，使立柱得到固定，立柱的安裝方式簡單，可拆裝立柱和拆裝屏蔽護罩，屏蔽護罩被升降滑臺氣缸驅動上升，不影響工件的取放和調節(jié)，屏蔽護罩屏蔽住半導體檢測設備內部檢測器件與工件，避免內部器件與工件受到外部雜質的干擾。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術保護點】
1.一種帶安裝結構的屏蔽罩，包括分體結構的屏蔽護罩(1)和安裝梁架(2)、以及固定連接的立柱(3)和升降滑臺氣缸(4)，其特征在于：所述安裝梁架(2)包括分體結構的固定梁(21)和固定板(22)，所述固定梁(21)上設有調節(jié)組件，所述調節(jié)組件包括雙向螺桿(212)和對稱分布的滑塊(213)，所述雙向螺桿(212)貫穿滑塊(213)，所述雙向螺桿(212)安裝在固定梁(21)的內部，所述滑塊(213)上設有定位柱(2131)，所述立柱(3)的側面上設有嵌入固定梁(21)內部的限位耳(31)，所述升降滑臺氣缸(4)上設有與屏蔽護罩(1)連接的連接板(5)，所述屏蔽護罩(1)相背的表面上設有導向塊(13)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述固定梁(21)為倒置的“U”型結構，所述固定梁(21)相背的表面上開設有矩形的活動槽，所述雙向螺桿(212)和滑塊(213)安裝在活動槽內部，所述雙向螺桿(212)的中心位置貫穿有固定環(huán)，所述固定板(22)表面上開設有與固定環(huán)對立的矩形槽。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征
4.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述限位耳(31)一端的表面上開設有通孔，所述定位柱(2131)與通孔間隙配合。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述連接板(5)為“L”型結構，所述連接板(5)的一端上設有與屏蔽護罩(1)表面貼合的方板。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述屏蔽護罩(1)相背表面上的導向塊(13)為長方體形狀，所述立柱(3)面向屏蔽護罩(1)的表面上開設有與導向塊(13)適配的導向槽(32)。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述屏蔽護罩(1)的側面上設有開閉組件和矩形的觀察口，所述開閉組件包括固定連接的開閉板(12)和轉動筒(121)、以及穩(wěn)固柱(14)和復位彈簧(15)，貫穿轉動筒(121)、復位彈簧(15)的所述穩(wěn)固柱(14)安裝在屏蔽護罩(1)的觀察口內，所述復位彈簧(15)的兩端分別與屏蔽護罩(1)內側壁、開閉板(12)連接。
8.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述屏蔽護罩(1)的表面上轉動連接有限位柱(11)，所述限位柱(11)上垂直有捏桿，所述限位柱(11)與屏蔽護罩(1)的側面相切。
...【技術特征摘要】
1.一種帶安裝結構的屏蔽罩，包括分體結構的屏蔽護罩(1)和安裝梁架(2)、以及固定連接的立柱(3)和升降滑臺氣缸(4)，其特征在于：所述安裝梁架(2)包括分體結構的固定梁(21)和固定板(22)，所述固定梁(21)上設有調節(jié)組件，所述調節(jié)組件包括雙向螺桿(212)和對稱分布的滑塊(213)，所述雙向螺桿(212)貫穿滑塊(213)，所述雙向螺桿(212)安裝在固定梁(21)的內部，所述滑塊(213)上設有定位柱(2131)，所述立柱(3)的側面上設有嵌入固定梁(21)內部的限位耳(31)，所述升降滑臺氣缸(4)上設有與屏蔽護罩(1)連接的連接板(5)，所述屏蔽護罩(1)相背的表面上設有導向塊(13)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述固定梁(21)為倒置的“u”型結構，所述固定梁(21)相背的表面上開設有矩形的活動槽，所述雙向螺桿(212)和滑塊(213)安裝在活動槽內部，所述雙向螺桿(212)的中心位置貫穿有固定環(huán)，所述固定板(22)表面上開設有與固定環(huán)對立的矩形槽。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種帶安裝結構的屏蔽罩，其特征在于：所述固定梁(21)側面開設有與活動槽連通的限位孔(211)，所述限位耳(31)與限位孔(211)配合。
...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：孫鴻運，
申請(專利權)人：昆山科迪特精密工業(yè)有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。