整體式觀察窗機構(gòu)制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)公開了一種整體式觀察窗機構(gòu)，包括觀察窗和觀察窗擋板，所述觀察窗擋板通過擋板軸安裝在所述觀察窗內(nèi)部，所述擋板軸穿過所述觀察窗上開設(shè)的孔與所述觀察窗相垂直。本實用新型專利技術(shù)的整體式觀察窗機構(gòu)占用空間小，真空室所開孔大小相當于觀察窗直徑；密封點少，整套機構(gòu)只有觀察窗玻璃一處靜密封點；不存在動密封點，整個擋板轉(zhuǎn)動部分全部焊接封裝在真空側(cè)，利用磁耦合原理，通過旋轉(zhuǎn)磁場驅(qū)動擋板轉(zhuǎn)動部分旋轉(zhuǎn)，可以應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)；耐熱能力強；無復(fù)雜定位零件，對零件的加工精度要求不高，裝配簡單；不存在密封圈磨損，使用壽命極長，磁鐵退磁更換只需要拆除外部的手輪，無需檢漏，簡單方便。（*該技術(shù)在2020年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種光學(xué)部件制造設(shè)備，特別是涉及一種用于物理氣相沉積和化 學(xué)氣相沉積設(shè)備中的整體式觀察窗機構(gòu)。
技術(shù)介紹
在物理氣相沉積(Physical Vapour D印osition，PVD)和化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapour Deposition,CVD)設(shè)備中，觀察窗機構(gòu)是必不可少的組成部分。觀察窗機構(gòu)一般包 括觀察窗和觀察窗擋板兩部分，觀察窗擋板是為了防止觀察窗玻璃被鍍制上薄膜而影響其 透光性所加的一塊可旋轉(zhuǎn)的遮擋板。需要使用觀察窗時打開擋板，不使用時將擋板關(guān)上。觀察窗機構(gòu)有分離式和整體式兩種。分離式觀察窗機構(gòu)需要在真空室上開兩個 孔，一個安裝觀察窗，一個安裝觀察窗擋板的傳動軸，此種結(jié)構(gòu)開孔多，占用體積大，而且在 真空室上有兩個密封點(觀察窗玻璃和擋板)，真空室設(shè)計和加工成本高。傳統(tǒng)的整體式 觀察窗機構(gòu)(如圖1所示)是將觀察窗和觀察窗擋板整合到一個大法蘭上，安裝時整體固 定在真空室上，雖然便于安裝，但是存在以下缺點1.整體有三個密封點(法蘭、觀察窗玻 璃、擋板)，不利于維持真空環(huán)境；2.體積龐大，由于需要讓出擋板旋轉(zhuǎn)空間，需要在真空室 上開相當于觀察窗面積2-3倍的孔；3.傳統(tǒng)的動密封式擋板存在密封性能差，耐熱能力低， 易老化等缺點。
技術(shù)實現(xiàn)思路
(一 )要解決的技術(shù)問題本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是提高整體式觀察窗機構(gòu)的結(jié)構(gòu)緊湊性和密封 性，提高其耐熱能力，延長其壽命，降低整個機構(gòu)對零部件精度的要求以及裝配的復(fù)雜度。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供一種整體式觀察窗機構(gòu)，包括觀察窗和 觀察窗擋板，其特征在于，所述觀察窗擋板通過擋板軸安裝在所述觀察窗內(nèi)部，所述擋板軸 穿過所述觀察窗上開設(shè)的孔與所述觀察窗相垂直。其中，所述擋板軸外部設(shè)有導(dǎo)向套，所述導(dǎo)向套與所述觀察窗上開設(shè)的孔貼合，所 述導(dǎo)向套采用不銹鋼材料。其中，所述導(dǎo)向套內(nèi)部安裝有一十字形截面的純鐵環(huán)，所述純鐵環(huán)固定在所述擋 板軸上。其中，所述導(dǎo)向套末端由蓋板蓋合。其中，所述導(dǎo)向套和所述蓋板以焊接的方式連接。其中，所述導(dǎo)向套外側(cè)安裝有手輪。其中，所述手輪內(nèi)固定有四塊磁鐵，所述四塊磁鐵與所述純鐵環(huán)的十字形的四個 凸柱相對應(yīng)，以使手輪內(nèi)的四塊磁鐵吸附導(dǎo)向套內(nèi)的純鐵環(huán)。其中，所述真空室上開設(shè)的孔的直徑等于所述觀察窗的直徑。(三)有益效果上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(1)整體式結(jié)構(gòu)，僅需要在真空室上開一個孔就可 以安裝；(2)占用空間小，真空室所開孔大小相當于觀察窗直徑；(3)密封點少，整套觀察窗 僅有觀察窗玻璃一處密封點；(4)不存在動密封點，整個轉(zhuǎn)動部分全部焊接在真空側(cè)，理論 上漏率為0(實際上焊縫和不銹鋼導(dǎo)向套存在極微小滲漏)，可以應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)；(5) 耐熱能力強，由于不使用碗型密封圈，耐熱能力大大提高；(6)無復(fù)雜定位零件，對零件的 加工精度要求不高，裝配也相對簡單；(7)不存在密封圈磨損，使用壽命極長，即使磁鐵退 磁更換也僅僅需要拆除外部的手輪，無需檢漏，簡單方便。附圖說明圖1是傳統(tǒng)整體式觀察窗機構(gòu)的剖面圖；圖2是本技術(shù)實施例的整體式觀察窗機構(gòu)的側(cè)視圖；圖3是本技術(shù)實施例的整體式觀察窗機構(gòu)的俯視圖；圖4是本技術(shù)實施例的整體式觀察窗機構(gòu)中的磁鐵的A-A剖面圖。其中，1 觀察窗；2 觀察窗擋板；3 擋板手輪；4 擋板動密封裝置；5 擋板軸；6 導(dǎo)向套；7 :純鐵環(huán)；8 手輪；9 磁鐵；10 蓋板；11 :觀察窗；12 觀察窗擋板；13 :真空室； 14 孔。具體實施方式以下結(jié)合附圖和實施例，對本技術(shù)的具體實施方式作進一步詳細描述。以下 實施例用于說明本技術(shù)，但不用來限制本技術(shù)的范圍。本技術(shù)提供的整體式觀察窗機構(gòu)是一種新型的磁耦合傳動機構(gòu)，圖2是該機 構(gòu)的側(cè)視圖，圖3是該機構(gòu)的俯視圖，圖4是該機構(gòu)中磁鐵的A-A剖面圖。在本實施例中，觀察窗擋板機構(gòu)安裝在真空室13內(nèi)。將觀察窗擋板12安裝在觀 察窗11內(nèi)部，擋板軸5與觀察窗11相垂直，觀察窗擋板12轉(zhuǎn)動時僅占用觀察窗11內(nèi)部空 間。觀察窗擋板12傳動采用磁耦合傳動，不使用動密封。在擋板軸5上固定一十字形截面 的純鐵環(huán)7將此部分裝入導(dǎo)向套6內(nèi)，用蓋板10蓋住，之后將蓋板10和導(dǎo)向套6焊接起來， 擋板軸5整體在真空室13內(nèi)側(cè)。在手輪8內(nèi)部固定與純鐵環(huán)7相應(yīng)的四塊磁鐵9，將手輪 8安裝在導(dǎo)向套6的外側(cè)，手輪8內(nèi)的磁鐵9能夠吸住導(dǎo)向套6內(nèi)的純鐵環(huán)7，轉(zhuǎn)動手輪8 時內(nèi)部的磁鐵9先后帶動純鐵環(huán)7和擋板軸5轉(zhuǎn)動以達到傳動效果。以上所述僅是本技術(shù)的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本
的普通技 術(shù)人員來說，在不脫離本技術(shù)技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改 進和替換也應(yīng)視為本技術(shù)的保護范圍。權(quán)利要求一種整體式觀察窗機構(gòu)，包括觀察窗(11)和觀察窗擋板(12)，其特征在于，所述觀察窗擋板(12)通過擋板軸(5)安裝在所述觀察窗(11)內(nèi)部，所述擋板軸(5)穿過所述觀察窗(11)上開設(shè)的孔(14)與所述觀察窗(11)相垂直。2.如權(quán)利要求1所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述擋板軸(5)外部設(shè)有導(dǎo)向 套(6)，所述導(dǎo)向套(6)與所述觀察窗(11)上開設(shè)的孔(14)貼合，所述導(dǎo)向套(6)采用不 銹鋼材料。3.如權(quán)利要求2所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)內(nèi)部安裝有 一十字形截面的純鐵環(huán)(7)，所述純鐵環(huán)(7)固定在所述擋板軸(5)上。4.如權(quán)利要求3所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)末端由蓋板 (10)蓋合。5.如權(quán)利要求4所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)和所述蓋板 (10)以焊接的方式連接。6.如權(quán)利要求3所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)向套(6)外側(cè)安裝有手 輪⑶。7.如權(quán)利要求6所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述手輪(8)內(nèi)固定有四塊磁 鐵(9)，所述四塊磁鐵(9)與所述純鐵環(huán)(7)的十字形的四個凸柱相對應(yīng)，以使手輪(8)內(nèi) 的四塊磁鐵(9)吸附導(dǎo)向套(6)內(nèi)的純鐵環(huán)(7)。8.如權(quán)利要求1所述的整體式觀察窗機構(gòu)，其特征在于，所述真空室(13)上開設(shè)的孔 (14)的直徑等于所述觀察窗(11)的直徑。專利摘要本技術(shù)公開了一種整體式觀察窗機構(gòu)，包括觀察窗和觀察窗擋板，所述觀察窗擋板通過擋板軸安裝在所述觀察窗內(nèi)部，所述擋板軸穿過所述觀察窗上開設(shè)的孔與所述觀察窗相垂直。本技術(shù)的整體式觀察窗機構(gòu)占用空間小，真空室所開孔大小相當于觀察窗直徑；密封點少，整套機構(gòu)只有觀察窗玻璃一處靜密封點；不存在動密封點，整個擋板轉(zhuǎn)動部分全部焊接封裝在真空側(cè)，利用磁耦合原理，通過旋轉(zhuǎn)磁場驅(qū)動擋板轉(zhuǎn)動部分旋轉(zhuǎn)，可以應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)；耐熱能力強；無復(fù)雜定位零件，對零件的加工精度要求不高，裝配簡單；不存在密封圈磨損，使用壽命極長，磁鐵退磁更換只需要拆除外部的手輪，無需檢漏，簡單方便。文檔編號C23C14/52GK201729873SQ20102021418公開日2011年2月2日 申請日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日專利技術(shù)者安其, 崔文博, 董玢越, 黃芃 申請人:北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責任公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種整體式觀察窗機構(gòu)，包括觀察窗（１１）和觀察窗擋板（１２），其特征在于，所述觀察窗擋板（１２）通過擋板軸（５）安裝在所述觀察窗（１１）內(nèi)部，所述擋板軸（５）穿過所述觀察窗（１１）上開設(shè)的孔（１４）與所述觀察窗（１１）相垂直。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：安其，崔文博，董玢越，黃芃，
申請(專利權(quán))人：北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責任公司，
類型：實用新型
國別省市：11[中國|北京]