一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，其可提高玻璃基板的拋光率，因?yàn)閽伖獍蹇赏瑫r(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)(rotation)和公轉(zhuǎn)(revolution)的裝置以及ー種使用該裝置的拋光板操作方法，更具體地，涉及ー種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置以及ー種使用該裝置的拋光板操作方法，所述裝置和方法可通過允許拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)來(lái)提高玻璃基板的拋光率。
技術(shù)介紹
通常，非常重要的是使應(yīng)用于液晶顯示器的玻璃基板保持其平面度(flatness)在某一水平，從而準(zhǔn)確地呈現(xiàn)圖像。因此，存在于玻璃基板的表面的細(xì)微的不均勻或起伏應(yīng)通過拋光エ藝去除。玻璃基板的拋光エ藝可分為將單獨(dú)的玻璃基板逐個(gè)拋光的所謂“操作順序控制陣列(Oscar)”法和連續(xù)拋光一系列玻璃基板的所謂“排隊(duì)(inline)”法。拋光エ藝還可分為僅對(duì)玻璃基板的ー個(gè)表面拋光的“單面拋光”和對(duì)玻璃基板的兩個(gè)表面都拋光的“雙面拋V, ”JU O參照?qǐng)D1，其示意性示出一個(gè)常規(guī)的玻璃基板拋光設(shè)備，在玻璃基板G通過托架4保持在下部板2上的狀態(tài)中，拋光設(shè)備10將ー個(gè)上部板(或拋光板)8——其中拋光墊6安裝至該上部板(拋光板)——帶至與所述玻璃基板G接觸，并同時(shí)在轉(zhuǎn)動(dòng)所述拋光板8時(shí)在拋光板8和玻璃基板G之間供應(yīng)拋光液，由此研磨所述玻璃基板G。對(duì)于此，通過使用形成在拋光板8中的多個(gè)狹縫8a以及安裝在拋光板8上方的與所述拋光板8間隔開的ー個(gè)位置處的軟管3，拋光設(shè)備10借助自由降落供應(yīng)拋光液體。拋光板8借助從ー個(gè)軸7傳送的轉(zhuǎn)動(dòng)カ轉(zhuǎn)動(dòng)。然而，由于僅拋光板8轉(zhuǎn)動(dòng)，在提高玻璃基板G的拋光率方面存在限制。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)設(shè)計(jì)用于解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，因此本專利技術(shù)的ー個(gè)目的是提供一種能夠允許拋光板(或軸)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，以及使用該裝置的拋光板操作方法。本專利技術(shù)的另一目的是提供ー種能夠提高玻璃基板的拋光率的裝置以及使用該裝置的拋光板操作方法。一方面，本專利技術(shù)提供了一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，包括一個(gè)圓柱體構(gòu)件(20)，具有沿長(zhǎng)度方向形成的ー個(gè)中空部以及具有形成在外周緣的ー個(gè)外周緣齒輪(26);—個(gè)軸(50)，沿長(zhǎng)度方向安裝在所述中空部中并且由所述圓柱體構(gòu)件(20)支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件(20)的中心的位置自轉(zhuǎn)，ー個(gè)軸齒輪(51)安裝至所述軸(50)的外周緣，所述軸(50)連接至一個(gè)拋光板；以及ー個(gè)環(huán)齒輪(60)，具有ー個(gè)內(nèi)部齒輪(61)和ー個(gè)外部齒輪(62)，所述內(nèi)部齒輪(61)形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪(62)形成在該環(huán)齒輪的外周緣，所述內(nèi)部齒輪(61)被安裝為與所述軸齒輪(51)嚙合。在將ー個(gè)驅(qū)動(dòng)力傳送至所述圓柱體構(gòu)件(20)使得所述圓柱體構(gòu)件(20)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸(50)借助于偏心性(eccentricity)在所述中空部?jī)?nèi)公轉(zhuǎn),所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪(51)與所述內(nèi)部齒輪(61)嚙合的狀態(tài)下進(jìn)行的。此時(shí)，在將一個(gè)驅(qū)動(dòng)カ傳送至所述外部齒輪(62)以使得所述環(huán)齒輪(60)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸齒輪(51)可自轉(zhuǎn)。所述環(huán)齒輪(60)可通過使用來(lái)自ー個(gè)自轉(zhuǎn)馬達(dá)傳送的驅(qū)動(dòng)カ自轉(zhuǎn)，所述圓柱體構(gòu)件(20)可通過使用來(lái)自ー個(gè)公轉(zhuǎn)馬達(dá)傳送的驅(qū)動(dòng)カ自轉(zhuǎn)。另外，可在所述環(huán)齒輪(60)和所述自轉(zhuǎn)馬達(dá)之間安裝多個(gè)齒輪(71)、(72)、(73)、 (74)和(75),以允許傳送所述自轉(zhuǎn)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比(reduction rate)。此外，在所述外周緣齒輪(26)和所述公轉(zhuǎn)馬達(dá)之間可安裝多個(gè)齒輪(22)、(23)和(24)，以允許傳送所述公轉(zhuǎn)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。同時(shí)，在另一方面，本專利技術(shù)還提供了ー種使用使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的拋光板操作方法，其中通過推動(dòng)(force)連接至用于將玻璃基板拋光的拋光板的ー個(gè)軸(50)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，使拋光板同時(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。上述方法中使用的所述裝置可包括一個(gè)圓柱體構(gòu)件(20)，具有沿長(zhǎng)度方向形成的ー個(gè)中空部以及具有形成在外周緣的ー個(gè)外周緣齒輪(26);—個(gè)軸(50)，沿長(zhǎng)度方向安裝在所述中空部中并且由所述圓柱體構(gòu)件(20)支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件(20)的中心的位置自轉(zhuǎn)，ー個(gè)軸齒輪(51)安裝至所述軸(50)的外周緣，所述軸(50)連接至所述拋光板；以及一個(gè)環(huán)齒輪(60),具有一個(gè)內(nèi)部齒輪(61)和一個(gè)外部齒輪(62),所述內(nèi)部齒輪(61)形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪(62)形成在該環(huán)齒輪的外周緣，所述內(nèi)部齒輪(61)被安裝以與所述軸齒輪(51)嚙合。隨著所述圓柱體構(gòu)件(20)通過ー個(gè)驅(qū)動(dòng)カ自轉(zhuǎn)，所述軸(50)借助于偏心性在所述中空部?jī)?nèi)公轉(zhuǎn)，所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪(51)與所述內(nèi)部齒輪(61)嚙合的狀態(tài)下進(jìn)行的。另外，在將ー個(gè)驅(qū)動(dòng)カ傳送至所述外部齒輪(62)使得所述環(huán)齒輪(60)自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸齒輪(51)自轉(zhuǎn)。用于所述自轉(zhuǎn)的所述驅(qū)動(dòng)力可由一個(gè)自轉(zhuǎn)馬達(dá)傳送，用于所述公轉(zhuǎn)的所述驅(qū)動(dòng)力由一個(gè)公轉(zhuǎn)馬達(dá)傳送，可在所述環(huán)齒輪(60)和所述自轉(zhuǎn)馬達(dá)之間安裝多個(gè)齒輪(71)、(72)、(73)、(74)和(75)，以允許傳送所述自轉(zhuǎn)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比，以及在所述外周緣齒輪(26)和所述公轉(zhuǎn)馬達(dá)之間安裝多個(gè)齒輪(22)、(23)和(24)，以允許傳送所述公轉(zhuǎn)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力，從而調(diào)節(jié)齒輪減速比。根據(jù)本專利技術(shù)的用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置以及使用該裝置的拋光板操作方法產(chǎn)生下列效果。首先，拋光板(或，軸)可同時(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。其次，通過允許拋光板(或，軸)同時(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，可提高玻璃基板的拋光率。附圖說明本專利技術(shù)的其他目的和方面將從下面參照附圖對(duì)實(shí)施方案的描述中變得明了，在所述附圖中圖I是示出一個(gè)常規(guī)的玻璃基板拋光設(shè)備的側(cè)視圖；圖2是示出根據(jù)本專利技術(shù)的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的立體圖；圖3是示出圖2的裝置中使用的公轉(zhuǎn)單元的立體圖；圖4是示出圖2的裝置中使用的圓柱體構(gòu)件和軸的豎向截面圖；圖5是示出圖2的裝置中使用的自轉(zhuǎn)單元的立體圖。<參考標(biāo)記> 20:圓柱體構(gòu)件21 :公轉(zhuǎn)馬達(dá)22、23、24:齒輪 25 :中空部26 :外周緣齒輪50 -M51 :軸齒輪60 :環(huán)齒輪61:內(nèi)部齒輪62 :外部齒輪70:自轉(zhuǎn)馬達(dá)71、72、73、74、75 :齒輪100 :用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置G:玻璃基板d:偏心距離具體實(shí)施例方式在下文，將參照附圖詳細(xì)描述本專利技術(shù)的優(yōu)選實(shí)施方案。在描述之前，應(yīng)理解在說明書和隨附權(quán)利要求中使用的術(shù)語(yǔ)不應(yīng)理解為限制于通常含義和字典含義，而是應(yīng)根據(jù)允許專利技術(shù)人為最佳解釋合適限定術(shù)語(yǔ)的原則，基于對(duì)應(yīng)于本專利技術(shù)的技術(shù)方面的含義和概念被解釋。因此，本文給出的描述只是僅為示例目的的優(yōu)選示例，不意在限制本專利技術(shù)的范圍，因此應(yīng)理解在不偏離本專利技術(shù)的主g和范圍的情況下，可對(duì)本專利技術(shù)做出其他等同替換和修改。圖2是示出根據(jù)本專利技術(shù)的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置的立體圖。參照?qǐng)D2，裝置100包括用于使軸50公轉(zhuǎn)的公轉(zhuǎn)單元和用于使軸50自轉(zhuǎn)的自轉(zhuǎn)單J Li ο同時(shí)，軸50連接至一個(gè)拋光板8 (參見圖I)(圖2中未示出)。從而，在本專利技術(shù)中，如果軸50自轉(zhuǎn)，拋光板8也自轉(zhuǎn)。另外，如果軸50公轉(zhuǎn)，拋光板8也公轉(zhuǎn)。此外，如果軸50同時(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)，拋光板8也同時(shí)自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。因此，在本專利技術(shù)中，軸50的自轉(zhuǎn)代表了拋光板8的自轉(zhuǎn),軸50的公轉(zhuǎn)代表了拋光板8的公轉(zhuǎn)。公轉(zhuǎn)單元包括一本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于使拋光板自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的裝置，包括：一個(gè)圓柱體構(gòu)件（20），具有沿長(zhǎng)度方向形成的一個(gè)中空部以及具有形成在外周緣的一個(gè)外周緣齒輪（26）；一個(gè)軸（50），沿長(zhǎng)度方向安裝在所述中空部中并且由圓柱體構(gòu)件（20）支承以能夠在偏離所述圓柱體構(gòu)件（20）的中心的位置自轉(zhuǎn)，一個(gè)軸齒輪（51）安裝至所述軸（50）的外周緣，所述軸（50）連接至一個(gè)拋光板；以及一個(gè)環(huán)齒輪（60），具有一個(gè)內(nèi)部齒輪（61）和一個(gè)外部齒輪（62），所述內(nèi)部齒輪（61）形成在該環(huán)齒輪的內(nèi)周緣，所述外部齒輪（62）形成在該環(huán)齒輪的外周緣，所述內(nèi)部齒輪（61）被安裝為與所述軸齒輪（51）嚙合，其中，在將一個(gè)驅(qū)動(dòng)力傳送至所述圓柱體構(gòu)件（20）以使得所述圓柱體構(gòu)件（20）自轉(zhuǎn)的情況下，所述軸（50）借助于偏心性在所述中空部?jī)?nèi)公轉(zhuǎn)，所述公轉(zhuǎn)是在所述軸齒輪（51）與所述內(nèi)部齒輪（61）嚙合的狀態(tài)下進(jìn)行的。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：馬久鎬，樸炳奎，鄭昱，李大淵，宋在翊，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：株式會(huì)社LG化學(xué)，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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