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    適用于多線切割機加工時工件裝載的夾具制造技術

    技術編號:8114418 閱讀:251 留言:0更新日期:2012-12-22 03:23
    本實用新型專利技術公開了一種適用于多線切割機加工時工件裝載的夾具,包括加工工件墊條、不銹鋼基板、左固定鋼條和右固定鋼條;加工工件墊條左側固定左固定鋼條,加工工件墊條右側固定右固定鋼條;左固定鋼條上設上下貫通的左固定鋼條沉孔;右固定鋼條上設上下貫通的右固定鋼條沉孔;左固定鋼條和不銹鋼基板之間通過依次穿過左固定鋼條沉孔和左固定孔的左固定螺釘相連接,右固定鋼條和不銹鋼基板之間通過依次穿過右固定鋼條沉孔和右固定孔的右固定螺釘相連接。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現(xiàn)步驟摘要】

    本技術涉及ー種適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具。
    技術介紹
    隨著半導體、太陽能光伏、LED等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,多線切割機在相關領域的應用日益廣泛。多線切割機在加工作業(yè)時需要將待加工件如硅晶錠、藍寶石晶錠等通過一定的方法裝載到多線切割機上,所述的裝載方法將會影響加工品的質量與產(chǎn)量。常見的裝載方法是采用粘結膠進行粘結裝載,一般流程是第一步將待加工件(硅晶錠、藍寶石晶錠等)通過粘結膠粘結在由玻璃、樹脂、石墨等原料制成的墊條(BEAM) 上進行固化。第二步再用粘結膠將完成固化后的BEAM的另一面用粘結的方法裝載到不銹鋼基板上。第三步將完成上述粘結的不銹鋼基板通過螺釘緊固到多線切割機的夾緊軌道(Clamping rail)上,完成エ件最終加載。在上述流程中,前兩步加載需要用到粘結膠,在實際生產(chǎn)中,有諸多因素會影響粘結的質量,從而影響切割質量。比如,現(xiàn)在的膠通常由兩種成分按比例配制,如果比例不當,就會影響膠的粘結カ;粘結膠作為ー種化學品,其性能受使用現(xiàn)場環(huán)境溫度影響較大,夏季與冬季膠體的粘度表現(xiàn)就明顯不一致,當膠體粘度偏小時,流動性變大,粘結膠易被擠出,造成粘結層薄弱,粘結カ下降;粘結面的表面光潔度與潔凈度也會對粘結質量造成重大影響;操作エ的人為因素也將影響粘結質量。所以,在上述的裝載方法中存在的問題主要有第一,如果エ件的加載粘結質量不保證,就會發(fā)生切割中的晶錠松動甚至脫落,加工品表面就會出現(xiàn)扭曲變形,無法保證原有的厚度與平整度要求,造成大量不良片;第二,エ件粘結過程中因為エ件清潔、膠體固化需要耗費較多的エ時,不利于高效生產(chǎn);第三,一旦粘結完成,所有參數(shù)都將定型,不利于エ藝修正;第四,粘結用膠均為化學品,而且不能自行降解,按ISO 14001環(huán)境體系的要求,此類物品均需要按“危險固廢”處理,因此粘結膠的大量使用易造成環(huán)境危害。專利號為201110076023. 7,專利名稱為《輔助多線切割機切割單晶硅棒的固定裝置》。該專利中,硅晶棒用膠粘接在粘接條的上表面,然后將粘接板置于底部,再將粘接條和鎖緊條放入粘接板頂面的凹形槽內,并使粘接板、粘接條和鎖緊條相應的側壁相互貼緊嚙合。再用緊固螺栓,并墊入碗形墊片從下至上固定在螺栓孔上,將鎖緊條固定在粘接板上。水平向設置的螺栓經(jīng)凹形槽壁上的螺紋通孔旋入,利用螺栓端部將鎖緊條頂住,達到進一歩固定粘接條的目的。該專利中,使用了粘接板、粘接條和鎖緊條,直接在粘接板上挖槽,再將鎖緊條卡入粘接條與粘接板組裝好后的空隙內,此種固定方法在粘接條和鎖緊條之間使用了過多的凸形結構(由若干個螺栓孔固定,螺栓孔固定的時候,使用了凸形結構,詳見專利號為201110076023. 7,專利名稱為《輔助多線切割機切割單晶硅棒的固定裝置》的具體實施例),而且粘接條需要卡入粘結板的凹槽內;過多的機械加工與機械聯(lián)接無法保證加工件、粘接板和設備三者之間平面的一致性,如果一致性不能保證,最終會使得加工件與線切割機的線網(wǎng)接觸不一致,線網(wǎng)線弓發(fā)生變異,導致不良品發(fā)生。該專利使用的方法使得粘接條通過鎖緊條的固定在粘接板上,沒有調節(jié)措施,等同于粘結膠固化后的情形,不具備エ件的エ藝調整的可行性,在實際使用中具有局限性。該專利使用了多個螺栓孔固定,在實際操作中,步驟比較繁瑣(需要對多螺栓孔進行安裝,并且螺栓孔固定的時候,使用了凸形結構,操作的時候難免效率比較低)。
    技術實現(xiàn)思路
    本技術要解決的技術問題是提供ー種安裝簡單牢固、且可以調節(jié)的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具。為了解決上述技術問題,本技術提供一種適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具,包括加工エ件墊條和不銹鋼基板;加工エ件墊條的左側面設置有左凹槽,加工エ件墊條的右側面設置有右凹槽;所述加工エ件墊條左側設置有左固定鋼條,所述左固定鋼條上相對應于左凹槽設置有左凸起塊;所述左固定鋼條上設置有至少ー個的上下貫通的左固 定鋼條沉孔;所述加工エ件塾條右側設置有右固定鋼條,所述右固定鋼條上相對應于右凹槽設置有右凸起塊;所述右固定鋼條上設置有至少ー個的上下貫通的右固定鋼條沉孔;所述不銹鋼基板上相對應于左固定鋼條沉孔設置有左固定孔,相對應于右固定鋼條沉孔設置有右固定孔;所述左凸起塊卡入左凹槽中,所述右凸起塊卡入右凹槽中;所述左固定鋼條和不銹鋼基板之間通過依次穿過左固定鋼條沉孔和左固定孔的左固定螺釘相連接,所述右固定鋼條和不銹鋼基板之間通過依次穿過右固定鋼條沉孔和右固定孔的右固定螺釘相連接。作為對本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的改進所述加工エ件墊條上設置有至少ー個的通孔;所述通孔從左至右貫通加工エ件墊條;相對應于通孔設置有左固定鋼條通孔,所述左固定鋼條通孔從左至右貫通左固定鋼條;相對應于通孔設置有右固定鋼條通孔,所述右固定鋼條通孔從左至右貫通右固定鋼條;所述加工エ件墊條、左固定鋼條和右固定鋼條之間通過依次穿過左固定鋼條通孔、通孔和右固定鋼條通孔的固定螺釘固定。作為對本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的進ー步改進所述的左固定鋼條沉孔和右固定鋼條沉孔均為橢圓形長孔。作為對本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的進ー步改進不銹鋼基板上表面設置有刻度尺。作為對本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的進ー步改進所述的刻度尺的精度為O. 5mm。作為對本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的進ー步改進所述的左凹槽為V形槽,所述右凹槽為與左凹槽相同的V形槽,所述的左凸起塊為與左凹槽相吻合的V形凸起塊,所述右凸起塊為與右凹槽相吻合的V形凸起塊。作為對本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的進ー步改進所述的左凹槽為矩形槽,所述右凹槽為與左凹槽相同的矩形槽,所述的左凸起塊為與左凹槽相吻合的矩形凸起塊,所述右凸起塊為與右凹槽相吻合的矩形凸起塊。本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具,采用的是左固定鋼條以及右固定鋼條將加工エ件的墊條鎖緊固定,再使用左調整螺釘和右調整螺釘分別將左固定鋼條以及右固定鋼條固定在不銹鋼基板上,不銹鋼基板表面為水平面,左固定鋼條以及右固定鋼條與之接觸的面也是水平面,保證不銹鋼基板表面與最終加工件的加工面保持一致,加工エ件墊條的下表面可以與不銹鋼基板表面接觸或不接觸;此種固定方法相對簡単,沒有使用過多的凸形結構來鎖緊,僅僅使用固定螺釘固定,可以保證加工件、粘接板和設備三者之間平面的一致性。且在本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具中,可以使用左調整螺釘和右調整螺釘對固定好的加工エ件墊條進行調整(左右調整幅度按360度圓周計算可達6度,可以滿足在實際使用時的需要)。最后在本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具中,僅僅采用了固定螺釘將左固定鋼條以及右固定鋼條與加工エ件墊條鎖緊固定,再使用左調整螺釘和右調整螺釘將左固定鋼條以及右固定鋼條固定既可,可以大大的提高了使用的工作效率。以下結合附圖對本技術的具體實施方法作進ー步詳細說明。 圖I是本技術的適用于多線切割機加工時エ件裝載的夾具的主要結構示意圖;圖2是圖I中D-D的剖視圖;圖3是圖I中的加工エ件墊條I的結構示意圖;圖4是圖3的左視圖;圖5是圖3中C-C的剖視圖;圖6是圖I中的左固定鋼條31的結構示意圖;圖7是本文檔來自技高網(wǎng)
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    【技術保護點】
    適用于多線切割機加工時工件裝載的夾具,包括加工工件墊條(1)和不銹鋼基板(10);其特征是:加工工件墊條(1)的左側面設置有左凹槽(51),加工工件墊條(1)的右側面設置有右凹槽(52);所述加工工件墊條(1)左側設置有左固定鋼條(31),所述左固定鋼條(31)上相對應于左凹槽(51)設置有左凸起塊(41);所述左固定鋼條(31)上設置有至少一個的上下貫通的左固定鋼條沉孔(71);所述加工工件墊條(1)右側設置有右固定鋼條(32),所述右固定鋼條(32)上相對應于右凹槽(52)設置有右凸起塊(42);所述右固定鋼條(32)上設置有至少一個的上下貫通的右固定鋼條沉孔(72);所述不銹鋼基板(10)上相對應于左固定鋼條沉孔(71)設置有左固定孔(61),相對應于右固定鋼條沉孔(72)設置有右固定孔(62);所述左凸起塊(41)卡入左凹槽(51)中,所述右凸起塊(42)卡入右凹槽(52)中;所述左固定鋼條(31)和不銹鋼基板(10)之間通過依次穿過左固定鋼條沉孔(71)和左固定孔(61)的左固定螺釘(11)相連接,所述右固定鋼條(32)和不銹鋼基板(10)之間通過依次穿過右固定鋼條沉孔(72)和右固定孔(62)的右固定螺釘(12)相連接。...

    【技術特征摘要】
    1.適用于多線切割機加工時工件裝載的夾具,包括加工工件墊條(I)和不銹鋼基板(10);其特征是加工工件墊條(I)的左側面設置有左凹槽(51),加工工件墊條(I)的右側面設置有右凹槽(52); 所述加工工件墊條(I)左側設置有左固定鋼條(31),所述左固定鋼條(31)上相對應于左凹槽(51)設置有左凸起塊(41);所述左固定鋼條(31)上設置有至少一個的上下貫通的左固定鋼條沉孔(71); 所述加工工件墊條(I)右側設置有右固定鋼條(32),所述右固定鋼條(32)上相對應于右凹槽(52)設置有右凸起塊(42);所述右固定鋼條(32)上設置有至少一個的上下貫通的右固定鋼條沉孔(72); 所述不銹鋼基板(10)上相對應于左固定鋼條沉孔(71)設置有左固定孔(61),相對應于右固定鋼條沉孔(72)設置有右固定孔(62); 所述左凸起塊(41)卡入左凹槽(51)中,所述右凸起塊(42)卡入右凹槽(52)中;所述左固定鋼條(31)和不銹鋼基板(10)之間通過依次穿過左固定鋼條沉孔(71)和左固定孔(61)的左固定螺釘(11)相連接,所述右固定鋼條(32)和不銹鋼基板(10)之間通過依次穿過右固定鋼條沉孔(72)和右固定孔¢2)的右固定螺釘(12)相連接。2.根據(jù)權利要求I所述的適用于多線切割機加工時工件裝載的夾具,其特征是所述加工工件墊條(I)上設置有至少一個的通孔(23);所述通孔(23)從左至右貫通加工工件墊條⑴; 相對應于通孔(23)設置有左...

    【專利技術屬性】
    技術研發(fā)人員:饒偉星吳雄杰,高海軍,陳建鋒劉榮光黃曉東,顧宏華,王飛堯,
    申請(專利權)人:杭州海納半導體有限公司
    類型:實用新型
    國別省市:

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