一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置制造方法及圖紙

一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。本實用新型專利技術(shù)的優(yōu)點是采用上述的技術(shù)方案之后，在處理大量的被處理物時，可以確保所有表面整體的溫度、濃度達到均勻性；保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且提高刻蝕后的表面精度；改善濃度及溫度不均勻的問題，且噴淋過程中達到完全噴淋；可以避免造成滯流部分的溫度、濃度不均勻，從而降低滯流部分顆粒對被處理物的污染；保證槽內(nèi)被處理物的清潔度。（*該技術(shù)在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，屬于光伏

技術(shù)介紹
目前，制絨是對硅片表面進行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽在硅片表面進行多級反射，提升光的利用率。在太陽能晶硅電池的制備工藝中，制絨工藝是關(guān)系到太陽能電池表面的光吸收的重要部分，也是提高太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的重要途徑之一。在制絨工藝中，酸制絨處理設(shè)備是很重要的一部份，現(xiàn)有制絨處理設(shè)備是由處理 槽(含內(nèi)、外槽)和循環(huán)儲存罐(處理液用)所構(gòu)成。但存在以下幾個問題I :酸制絨處理設(shè)備的基板表面的要求是刻蝕中要確保被處理物的表面溫度和濃度要均勻。在處理大量的被處理物時，要確保所有表面整體的溫度、濃度達到均勻性是很難做到的。2 :將大量的被處理物一次性放入處理槽中處理時，按現(xiàn)有的方法(槽的構(gòu)造也僅是從槽底部的注入到槽上部的溢流)即使沒有強烈的反應(yīng)熱的發(fā)生，基板的上下溫度差和濃度差也是必然要發(fā)生的，為此很難保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且如何提高刻蝕后的表面精度也是很困難的問題。3 :為改善濃度及溫度不均勻的問題，如果僅僅將循環(huán)流量大幅度的增加，會帶來上部液面極端上升的問題。如此不僅給設(shè)備小型化帶來了障礙，也存在下面噴淋過程中達不到完全噴淋等問題(比如傳送機械手以及帶把手的花籃會使下面噴淋不到位等)。
技術(shù)實現(xiàn)思路
為了克服現(xiàn)有的不足，本技術(shù)提供一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置。本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供了一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，可以確保被處理物的表面溫度和濃度均勻，以及提高刻蝕后的表面精度，大大提高了電池片的轉(zhuǎn)換率；解決背景技術(shù)存在的問題。為實現(xiàn)以上目的，本技術(shù)提供了一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕加工方法，含有以下步驟步驟I、自動上料被處理物硅片；步驟2、被處理物硅片進入2#酸腐蝕槽；步驟3、被處理物硅片進入3#酸腐蝕槽；步驟4、被處理物硅片進入4#QDR槽；步驟5、被處理物硅片進入5#堿洗槽；步驟6、被處理物硅片進入6#噴淋槽；步驟7、被處理物硅片進入7#堿洗槽；步驟8、被處理物硅片進入8#噴淋槽；步驟9、被處理物硅片進入9#超聲波清洗槽；步驟10、被處理物硅片進入10#超聲波清洗槽；步驟11、被處理物硅片進入11#噴淋槽；步驟12、被處理物硅片進入12#慢提拉槽；步驟13、被處理物硅片進入13#自動下料；上述步驟中腐蝕槽的堿洗藥液自動循環(huán)并鼓泡，確保藥液的均勻；對腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側(cè)部設(shè)計排風管路，保持設(shè)備內(nèi)部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染。還含有以下步驟液位、溫度等參數(shù)檢測步驟；液位對槽體的液位補液箱的液位和加熱箱的液位進行時時控制起到保護作用。溫度對槽體的溫度補液箱的溫度和加熱箱的溫度進行時時控制起到保護作用；自動、手動操作轉(zhuǎn)換步驟；手動步驟可以對每各閥門，泵，電機，加熱器單獨啟動，對機械手可以手動縱向和橫向到達任意位置。自動步驟對每個槽體自動補液，溫度自動調(diào)節(jié)，液位自動調(diào)節(jié)，機械手自動在槽體之間運送花籃，機械手到達每個槽工位時槽蓋將會自動開啟，離開時槽蓋將會自動關(guān)閉。時間、溫度、搬送速度數(shù)字化設(shè)定步驟；可以對時間、溫度和機械手的運行速度進行合理性設(shè)定，以達到生產(chǎn)工藝的要求。對設(shè)備進行全方位的安全保護步驟，機械手急停、系統(tǒng)急停、機械手上下極限、左右極限開關(guān)啟動步驟。對設(shè)備手動運行步驟，通過按鈕按照管路圖設(shè)定畫面對設(shè)備準備完成監(jiān)視，每個槽體各種功能監(jiān)視，包括液位，操蓋狀態(tài)，機械手到位狀態(tài)，泵和閥門的啟停，加熱器的啟停，報警顯示，報警記錄。全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置,包括自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽I、第一噴淋槽2、第一超聲波清洗槽3、第二超聲波清洗槽4、第二噴淋槽5、第一堿洗槽6、第三噴淋槽7、第二堿洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蝕槽10、第二酸腐蝕槽11、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。本技術(shù)的優(yōu)點是采用上述的技術(shù)方案之后，在處理大量的被處理物時，可以確保所有表面整體的溫度、濃度達到均勻性；保證被處理物處理完畢后表面的均一性，并且提高刻蝕后的表面精度；改善濃度及溫度不均勻的問題，且噴淋過程中達到完全噴淋；可以避免造成滯流部分的溫度、濃度不均勻，從而降低滯流部分顆粒對被處理物的污染；保證槽內(nèi)被處理物的清潔度。附圖說明當結(jié)合附圖考慮時，通過參照下面的詳細描述，能夠更完整更好地理解本技術(shù)以及容易得知其中許多伴隨的優(yōu)點，但此處所說明的附圖用來提供對本技術(shù)的進一步理解，構(gòu)成本技術(shù)的一部分，本技術(shù)的示意性實施例及其說明用于解釋本技術(shù)，并不構(gòu)成對本技術(shù)的不當限定，如圖其中圖I為本技術(shù)的結(jié)構(gòu)主視示意以下結(jié)合附圖和實施例對本技術(shù)進一步說明。具體實施方式顯然，本領(lǐng)域技術(shù)人員基于本技術(shù)的宗旨所做的許多修改和變化屬于本技術(shù)的保護范圍。實施例I:如圖I所示，一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，自動上料裝置或自動下料裝置連接慢提拉槽，慢提拉槽連接第一噴淋槽，第一噴淋槽連接第一超聲波清洗槽連接，第一超聲波清洗槽連接第二超聲波清洗槽連接、第二超聲波清洗槽連接第二噴淋槽連接，第二噴淋槽連接第一堿洗槽連接，第一堿洗槽連接第三噴淋槽連接，第三噴淋槽連接第二堿洗槽連接，第二堿洗槽連接QDR槽連接，QDR槽連接第一酸腐蝕槽連接，第一酸腐蝕槽連接第二酸腐蝕槽，第二酸腐蝕槽連接自動上料裝置或自動下料裝置，上述裝置依次順序排列和連接。 可以確保被處理物的表面溫度和濃度均勻，以及提高刻蝕后的表面精度，大大提高了電池片的轉(zhuǎn)換率；解決
技術(shù)介紹
存在的問題。I)腐蝕槽、堿洗工藝槽自動循環(huán)及鼓泡功能，確保藥液的均勻；2)腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側(cè)部設(shè)計排風管路，保持設(shè)備內(nèi)部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染；3)QDR工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；4)機械臂的橫向移動和縱向提升均采用進口伺服馬達，閉環(huán)控制，定位準確，可靠性高；采用圓導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，機械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，確保機械臂壽命；幾何曲線加減速運動，沖擊小，運動平穩(wěn)；5)多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；6)機械手單獨急停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全。全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置,包括自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽I、第一噴淋槽2、第一超聲波清洗槽3、第二超聲波清洗槽4、第二噴淋槽5、第一堿洗槽6、第三噴淋槽7、第二堿洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蝕槽10、第二酸腐蝕槽11、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。腐蝕槽、堿洗工藝槽的藥液自動循環(huán)及鼓泡功能，確保藥液的均勻；腐蝕槽、堿洗、IPA工藝槽上、側(cè)部設(shè)計排風管路，保持設(shè)備內(nèi)部工作環(huán)境清潔，防止交叉污染；QDR工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；機械臂的橫向移動和縱向提升均采用進口伺服馬達，閉環(huán)控制，定位準確，可靠性高；采用圓導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，機械臂升降部及懸臂部均用PP包覆，確保機械臂壽命；幾何曲線加減速運動，沖擊小，運動平穩(wěn)；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；機械手單獨急停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全。該清洗機是由工控機控制的全自動清洗系統(tǒng)。操作者只本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，其特征在于自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽、第二噴淋槽、第一堿洗槽、第三噴淋槽、第二堿洗槽、QDR槽、第一酸腐蝕槽、第二酸腐蝕槽、自動上料裝置或自動下料裝置依次順序排列和連接。

【技術(shù)特征摘要】
1.ー種全自動化SE電池量產(chǎn)腐蝕裝置，其特征在于自動上料裝置或自動下料裝置、慢提拉槽、第一噴淋槽、第一超聲波清洗槽、第二超聲波清洗槽...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：孫良欣，夏文斌，劉小龍，
申請(專利權(quán))人：吉陽設(shè)備海安有限公司，
類型：實用新型
國別省市：