【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)的
，特別提供了一種化學(xué)氣相沉積爐。
技術(shù)介紹
現(xiàn)有技術(shù)中，氣相沉積爐包括爐體、加熱體、進氣口、出氣口、模具等幾部分，進氣口在爐體底部或頂部，出氣口通常與之相對，為使氣相沉積均勻，進氣口常采用同心圓筒的方式，模具對準(zhǔn)進氣口，且有齒輪使每一只吊掛的產(chǎn)品都進行自轉(zhuǎn)。然而，當(dāng)制作大尺寸的熱解氮化硼制品時，容易導(dǎo)致鍋底較厚，而側(cè)壁較薄，同時由于原料氣體在空間分布的不均勻，導(dǎo)致壁厚分布不均勻的現(xiàn)象時有發(fā)生。當(dāng)同時制作多個熱解氮化硼制品時，也容易導(dǎo)致導(dǎo)致壁厚分布不均勻。人們期望獲得一種技術(shù)效果優(yōu)良的化學(xué)氣相沉積爐。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的在于提供一種技術(shù)效果優(yōu)良的化學(xué)氣相沉積爐。本專利技術(shù)具體提供了一種氣相沉積爐，化學(xué)氣相沉積爐，其由下述幾部分構(gòu)成爐體I、進氣口 2、出氣口 3、模具4、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)5以及發(fā)熱體6 ;其中發(fā)熱體6、進氣口 2、出氣口 3都布置在爐體I上，進氣口 2設(shè)置在爐體I的上部，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)5由轉(zhuǎn)盤5. I、齒輪5. 2、連接軸5. 3、傘齒輪組5. 4、齒套5. 5以及電機5. 6組成，發(fā)熱體6由感應(yīng)線圈6. I、加熱體6. 2以及石墨套筒6. 3組成；電機5. 6通過傘齒輪組5. 4與轉(zhuǎn)盤5. I相連，齒輪5. 2共有5個且皆通過連接軸5. 3固定在轉(zhuǎn)盤5. I上，且每個齒輪5. 2上都設(shè)置有一個模具4，模具隨著齒輪5.2的動作實現(xiàn)模具4在爐體I內(nèi)的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)；其特征在于所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)5設(shè)置在爐體I內(nèi)的上端；進氣口為三同心圓進氣口。爐體I具體為雙壁水冷爐體。該氣相沉積爐的進氣口為三同心圓進氣口，在爐體I內(nèi)或爐體...
【技術(shù)保護點】
化學(xué)氣相沉積爐，其由下述幾部分構(gòu)成：爐體（1）、進氣口（2）、出氣口（3）、模具（4）、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)（5）以及發(fā)熱體（6）；其中：發(fā)熱體（6）、進氣口（2）、出氣口（3）都布置在爐體（1）上，進氣口（2）設(shè)置在爐體（1）的上部，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)（5）由轉(zhuǎn)盤（5.1）、齒輪（5.2）、連接軸（5.3）、傘齒輪組（5.4）、齒套（5.5）以及電機（5.6）組成，發(fā)熱體（6）由感應(yīng)線圈（6.1）、加熱體（6.2）以及石墨套筒（6.3）組成；電機（5.6）通過傘齒輪組（5.4）與轉(zhuǎn)盤（5.1）相連，齒輪（5.2）共有5個且皆通過連接軸（5.3）固定在轉(zhuǎn)盤（5.1）上，且每個齒輪（5.2）上都設(shè)置有一個模具4；其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)（5）設(shè)置在爐體（1）內(nèi)的上端；進氣口為三同心圓進氣口。
【技術(shù)特征摘要】
1.化學(xué)氣相沉積爐，其由下述幾部分構(gòu)成爐體(I)、進氣口(2)、出氣口(3)、模具(4)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(5)以及發(fā)熱體(6);其中發(fā)熱體(6)、進氣口(2)、出氣口(3)都布置在爐體(I)上，進氣口(2)設(shè)置在爐體(I)的上部，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(5)由轉(zhuǎn)盤(5. I)、齒輪(5. 2)、連接軸(5. 3)、傘齒輪組(5. 4)、齒套(5. 5)以及電機(5. 6)組成，發(fā)熱體(6)由感應(yīng)線圈(6. ...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：季歷程，
申請(專利權(quán))人：南通天華和睿科技創(chuàng)業(yè)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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