旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)公開一種旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備，包括驅(qū)動機構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構(gòu)，密封機構(gòu)密封地安裝于密封腔體側(cè)壁上，其上開設(shè)有連接孔及壓縮空氣入口，傳動軸密封地穿設(shè)于連接孔內(nèi)，且其一端安裝有傳動齒輪，另一端與聯(lián)軸器的一端連接，聯(lián)軸器的另一端與驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸連接，驅(qū)動機構(gòu)通過聯(lián)軸器帶動傳動軸轉(zhuǎn)動，傳動軸帶動傳動齒輪轉(zhuǎn)動從而將旋轉(zhuǎn)運動密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，通過壓縮空氣入口將壓縮空氣壓入連接孔內(nèi)，使連接孔內(nèi)保持高壓環(huán)境，有效防止液體通過傳動軸浸出到密封腔體外，形成良好的動密封，密封機構(gòu)密封地安裝有效避免外部環(huán)境給密封腔體內(nèi)帶來污染，使密封腔體保持良好的氣密性及高清潔度，且結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉。（*該技術(shù)在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種傳動設(shè)備，尤其涉及一種將旋轉(zhuǎn)運動密封地傳遞至液態(tài)環(huán)境的傳動設(shè)備。
技術(shù)介紹
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，對工業(yè)工藝要求日益增高，真空技術(shù)在高科技產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景，尤其體現(xiàn)在對真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼顯示面板產(chǎn)業(yè)中。例如，薄膜晶體管顯不屏(LCD-TFT, Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor) >有機發(fā)光顯示器件(OLED, Organic Light-Emitting Diode)面板、太陽能電池板及其他類似者的制程中，由于此類制程的工藝要求比較嚴格，即必須在真空狀態(tài)下以及完全潔凈的空間環(huán)境中進行。例如，在IXD-TFT、OLED及太陽能電池板的制程中，光刻是必不可少的步驟，光刻生產(chǎn)的目標是根據(jù)設(shè)計的要求，生成尺寸精確的特征圖形，一般的光刻工藝要經(jīng)歷·玻璃基片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序；其中，蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻(photochemical etching),是指通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學(xué)溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。因此，蝕刻等步驟都是在帶有腐蝕性的液體環(huán)境下進行的，而在實現(xiàn)自動化生產(chǎn)的設(shè)備中，常需要在液體環(huán)境下傳輸玻璃基片，或進行閥門開啟等動作，在這些動作的輸入過程中，對設(shè)備的密封性也提出更高的要求。在上述制程中，液態(tài)環(huán)境下的密封傳輸凸顯了其重要意義，液態(tài)環(huán)境下的密封傳輸往往考驗著用于整個制程的真空系統(tǒng)的可靠性。現(xiàn)有的用于液態(tài)環(huán)境下的密封傳輸設(shè)備，在真空腔室內(nèi)設(shè)置有大量的滾輪、滾珠頂桿和吸盤，傳動機構(gòu)復(fù)雜，為了保證整個傳送系統(tǒng)的同步運行，一般采用一個驅(qū)動機構(gòu)帶動腔室內(nèi)部的所有傳送滾輪同步轉(zhuǎn)動，利用摩擦力勻速傳送玻璃基片等，由于傳動機構(gòu)復(fù)雜，在將外部旋轉(zhuǎn)運動傳輸至密封腔體內(nèi)的液態(tài)環(huán)境時，隨著傳輸機構(gòu)的運行，密封腔體內(nèi)的液體會慢慢通過傳輸軸浸出密封腔體外，造成污染，并影響真空環(huán)境的密封性。因此，有必要提供一種高清潔度、高密封性、結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉的傳動設(shè)備來解決現(xiàn)有技術(shù)的不足。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的在于提供一種高清潔度、高密封性、結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉的旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備。為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)的技術(shù)方案為提供一種旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備，密封地安裝于盛有液體的密封腔體上，用于將旋轉(zhuǎn)運動密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，所述密封腔體的側(cè)壁上開設(shè)有安裝孔，所述旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備包括驅(qū)動機構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構(gòu)，所述密封機構(gòu)密封地安裝于所述側(cè)壁上的安裝孔內(nèi)，所述密封機構(gòu)上開設(shè)有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機構(gòu)上還開設(shè)有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動軸密封地穿設(shè)于所述連接孔內(nèi)，且所述傳動軸的伸入所述密封腔體內(nèi)的一端安裝有所述傳動齒輪，所述傳動軸的另一端伸出所述密封機構(gòu)外并與所述聯(lián)軸器的一端連接，所述聯(lián)軸器的另一端與所述驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸連接，所述驅(qū)動機構(gòu)通過所述聯(lián)軸器帶動所述傳動軸轉(zhuǎn)動，所述傳動軸帶動所述傳動齒輪轉(zhuǎn)動從而將所述旋轉(zhuǎn)運動傳輸至液態(tài)環(huán)境。較佳地，所述密封機構(gòu)包括密封連接件、密封壓板、軸承、軸套、第一密封環(huán)及第二密封環(huán)，所述密封連接件上開設(shè)有所述連接孔及所述壓縮空氣入口，所述密封連接件密封地安裝于所述安裝孔內(nèi)并伸入所述密封腔體內(nèi)，且具有所述壓縮空氣入口的一端位于所述密封腔體外，所述軸承設(shè)置于所述連接孔內(nèi)，所述密封壓板密封地安裝于所述密封連接件的位于所述密封腔體外的端部，且所述密封壓板上開設(shè)有與所述連接孔相對應(yīng)的通孔，所述軸套、第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均套設(shè)于所述傳動軸上，且所述軸套位于所述第一密封環(huán)與所述第二密封環(huán)之間，所述傳動軸依次穿過所述通孔及所述連接孔伸入所述密封腔體內(nèi)，且所述傳動軸承載于所述軸承上；通過壓縮空氣入口進入連接孔的壓縮空氣，在第一密封環(huán)與第二密封環(huán)之間形成高壓環(huán)境，因此，在傳輸旋轉(zhuǎn)運動的過程中，即使第一密封環(huán)、第二密封環(huán)有少許的磨損，連接孔內(nèi)的高壓環(huán)境也可有效防止液體通過傳動軸浸出到外密 封腔體之外，形成良好的動密封。較佳地，所述連接孔貫穿所述密封連接件的前后兩端，所述密封連接件的中部向外凸伸出一連接部，所述密封連接件的前端伸入所述密封腔體內(nèi)，所述連接部與所述密封腔體的側(cè)壁密封地連接，所述密封連接件的后端位于所述密封腔體外，所述壓縮空氣入口開設(shè)于所述密封連接件的后端。較佳地，所述第一密封環(huán)壓入所述密封壓板的通孔內(nèi)，所述第二密封環(huán)壓入所述密封連接件的連接孔內(nèi)，且所述第二密封環(huán)壓入所述密封連接件的前端，所述第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均與所述傳動軸過盈配合，第一密封環(huán)及第二密封環(huán)均采用耐磨橡膠制成，并均與傳動軸過盈配合，因此，與傳動軸之間形成良好的動密封，密封性好且耐用。較佳地，所述軸承包括兩個，兩所述軸承均設(shè)置于所述連接孔內(nèi)，且兩軸承設(shè)置于所述第一密封環(huán)與所述第二密封環(huán)之間。較佳地,所述軸套包括外軸套及內(nèi)軸套,所述內(nèi)軸套套設(shè)于所述傳動軸上,所述外軸套套設(shè)于所述內(nèi)軸套外，且所述外軸套及內(nèi)軸套均位于兩所述軸承之間。較佳地，所述密封機構(gòu)還包括第一密封圈及第二密封圈，所述第一密封圈設(shè)于所述密封壓板與所述密封連接件之間，所述第二密封圈設(shè)置于所述連接部與所述密封腔體的側(cè)壁之間，通過第一密封圈及第二密封圈密封連接，使密封腔體及密封連接件均保持靜密封狀態(tài)，提高密封性能。較佳地，所述驅(qū)動機構(gòu)為伺服電機，伺服電機響應(yīng)速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號平穩(wěn)快速轉(zhuǎn)換為電機軸上的機械輸出量，使得基片在傳送的過程中快速有效、精確且平穩(wěn)可靠。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本技術(shù)的旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備，包括驅(qū)動機構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構(gòu)，所述密封機構(gòu)密封地安裝于所述密封腔體的安裝孔內(nèi)，所述密封機構(gòu)上開設(shè)有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機構(gòu)上還開設(shè)有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動軸密封地穿設(shè)于所述連接孔內(nèi)，且所述傳動軸的伸入所述密封腔體內(nèi)的一端安裝有所述傳動齒輪，所述傳動軸的另一端伸出所述密封機構(gòu)外并與所述聯(lián)軸器的一端連接，所述聯(lián)軸器的另一端與所述驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸連接，所述驅(qū)動機構(gòu)通過所述聯(lián)軸器帶動所述傳動軸轉(zhuǎn)動，所述傳動軸帶動所述傳動齒輪轉(zhuǎn)動從而將所述旋轉(zhuǎn)運動密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，通過壓縮空氣入口將壓縮空氣壓入密封機構(gòu)的連接孔內(nèi)，從而使所述連接孔內(nèi)保持高壓環(huán)境，有效防止液體通過傳動軸浸出到密封腔體之外，形成良好的動密封，且密封機構(gòu)密封地安裝于所述密封腔體的安裝孔內(nèi)，有效避免外部環(huán)境給密封腔體內(nèi)帶來的污染，使真空環(huán)境保持良好的氣密性及高清潔度，且該旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉。附圖說明圖I是本技術(shù)旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖I中A部分的放大示意圖。具體實施方式·現(xiàn)在參考附圖描述本技術(shù)的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。如圖I、圖2所示，本技術(shù)所提供的旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備I，密封地安裝于盛有液體的密封腔體2上，用于將密封腔體2外的旋轉(zhuǎn)運動密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，具體地，所述密封腔體2的側(cè)壁21上開設(shè)有安裝孔211，所述旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備I密封地安裝于所述安裝孔211內(nèi)，且其一端伸入密封腔體2內(nèi)的液體中，另一端位于密封腔體2外。如圖I、圖2所示本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備，密封地安裝于盛有液體的密封腔體上，用于將旋轉(zhuǎn)運動密封地傳輸至液態(tài)環(huán)境，所述密封腔體的側(cè)壁上開設(shè)有安裝孔，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)運動傳動設(shè)備包括驅(qū)動機構(gòu)、聯(lián)軸器、傳動軸、傳動齒輪及密封機構(gòu)，所述密封機構(gòu)密封地安裝于所述側(cè)壁上的安裝孔內(nèi)，所述密封機構(gòu)上開設(shè)有連通所述密封腔體的連接孔，所述密封機構(gòu)上還開設(shè)有連通所述連接孔的壓縮空氣入口，所述傳動軸密封地穿設(shè)于所述連接孔內(nèi)，且所述傳動軸的伸入所述密封腔體內(nèi)的一端安裝有所述傳動齒輪，所述傳動軸的另一端伸出所述密封機構(gòu)外并與所述聯(lián)軸器的一端連接，所述聯(lián)軸器的另一端與所述驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸連接，所述驅(qū)動機構(gòu)通過所述聯(lián)軸器帶動所述傳動軸轉(zhuǎn)動，所述傳動軸帶動所述傳動齒輪轉(zhuǎn)動從而將所述旋轉(zhuǎn)運動傳輸至液態(tài)環(huán)境。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：余超平，李思述，范振華，
申請(專利權(quán))人：東莞宏威數(shù)碼機械有限公司，
類型：實用新型
國別省市：