一種鍍鎳機制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)提供了一種鍍鎳機，包括機體、加工槽系統(tǒng)、稱量部、抖動提升機構(gòu)、配管系統(tǒng)、勻流板與工作平臺，所述機體為長方體結(jié)構(gòu)，包括左機體與右機體；所述工作平臺固定于機體中部；所述加工槽系統(tǒng)包括：超聲槽、鍍鎳加熱槽、活化液腐蝕槽、IPA槽與快排槽，均固定在工作平臺上；所述稱量部固定于工作平臺上；所述抖動提升機構(gòu)固定于機體上端，抖動提升機構(gòu)的末端固定有勻流板；所述配管系統(tǒng)固定于機體底部，工作平臺下方。本實用新型專利技術(shù)提供的一種鍍鎳機，自動檢測槽內(nèi)酸堿度，且有氨水自動添加功能，準確，方便，效率高，硅片在液面下自動上下抖動，腐蝕均勻，頻率可調(diào)，方便拿取硅片，省時省力，效率高。（*該技術(shù)在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種鍍鎳機，尤其涉及半導體后工序生產(chǎn)線鍍鎳機。
技術(shù)介紹
現(xiàn)有的鍍鎳機超聲槽超聲直接做在槽子上，制作較為困難，且超聲頭壞了不容易修理；硅片在鍍鎳槽內(nèi)上下抖動，最后不提出液面，如此一來操作人員取片架不方便，容易被腐蝕到，鍍鎳槽內(nèi)氨水容易揮發(fā)，需定時補充，手動添加氨水費時費力，且每次添加量不一樣，使腐蝕液酸堿度不準確，硅片腐蝕不均勻；原鍍鎳槽內(nèi)無鼓泡功能，硅片腐蝕不均勻。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，自動檢測槽內(nèi)酸堿度，且有氨 水自動添加功能，準確，方便，效率高。為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供了如下的技術(shù)方案本技術(shù)一種鍍鎳機，包括機體、加工槽系統(tǒng)、稱量部、抖動提升機構(gòu)、配管系統(tǒng)、勻流板與工作平臺，所述機體為長方體結(jié)構(gòu)，包括左機體與右機體；所述工作平臺固定于機體中部；所述加工槽系統(tǒng)包括超聲槽、鍍鎳加熱槽、活化液腐蝕槽、IPA槽與快排槽，均固定在工作平臺上；所述稱量部固定于工作平臺上；所述抖動提升機構(gòu)固定于機體上端，抖動提升機構(gòu)的末端固定有勻流板；所述配管系統(tǒng)固定于機體底部，工作平臺下方。進一步地，所述超聲槽與IPA槽的數(shù)量均為2個，且材料均為不銹鋼。進一步地，所述鍍鎳加熱槽的數(shù)量為4個，且材料均為石英玻璃。進一步地，所述活化液腐蝕槽的數(shù)量為I個，且材料為NPP。進一步地，所述快排槽的數(shù)量為2個，且材料為NPP。進一步地,所述稱量部的數(shù)量為2個。本技術(shù)提供的一種鍍鎳機，自動檢測槽內(nèi)酸堿度，且有氨水自動添加功能，準確，方便，效率高，硅片在液面下自動上下抖動，腐蝕均勻，頻率可調(diào)，方便拿取硅片，省時省力，效率高。附圖說明附圖用來提供對本技術(shù)的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本技術(shù)的實施例一起用于解釋本技術(shù)，并不構(gòu)成對本技術(shù)的限制。在附圖中圖I是本技術(shù)一種鍍鎳機的正視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本技術(shù)一種鍍鎳機的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本技術(shù)一種鍍鎳機的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式以下結(jié)合附圖對本技術(shù)的優(yōu)選實施例進行說明，應(yīng)當理解，此處所描述的優(yōu)選實施例僅用于說明和解釋本技術(shù)，并不用于限定本技術(shù)。如圖1、2、3所示，本技術(shù)一種鍍鎳機，包括機體、加工槽系統(tǒng)、稱量部8、抖動提升機構(gòu)9、配管系統(tǒng)10、勻流板11與工作平臺12，所述機體為長方體結(jié)構(gòu)，包括左機體I與右機體2 ;所述工作平臺12固定于機體中部；所述加工槽系統(tǒng)包括超聲槽3、鍍鎳加熱槽4、活化液腐蝕槽5、IPA槽6與快排槽7，均固定在工作平臺12上；所述稱量部8固定于工作平臺上；所述抖動提升機構(gòu)9固定于機體上端，抖動提升機構(gòu)9的末端固定有勻流板11 ;所述配管系統(tǒng)10固定于機體底部，工作平臺12下方。本技術(shù)提供的一種鍍鎳機，自動檢測槽內(nèi)酸堿度，且有氨水自動添加功能，準確，方便，效率高，硅片在液面下自動上下抖動，腐蝕均勻，頻率可調(diào)，方便拿取硅片，省時省力，效率高。以上所述僅為本技術(shù)的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本技術(shù)，盡管參照前述實施例對本技術(shù)進行了詳細的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換。凡在本技術(shù)的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本技術(shù)的保護范圍之內(nèi)。權(quán)利要求1.一種鍍鎳機,包括機體、加工槽系統(tǒng)、稱量部、抖動提升機構(gòu)、配管系統(tǒng)、勻流板與工作平臺，其特征在于所述機體為長方體結(jié)構(gòu)，包括左機體與右機體；所述工作平臺固定于機體中部； 所述加工槽系統(tǒng)包括超聲槽、鍍鎳加熱槽、活化液腐蝕槽、IPA槽與快排槽，均固定在工作平臺上； 所述稱量部固定于工作平臺上； 所述抖動提升機構(gòu)固定于機體上端，抖動提升機構(gòu)的末端固定有勻流板； 所述配管系統(tǒng)固定于機體底部，工作平臺下方。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍鎳機，其特征在于所述超聲槽與IPA槽的數(shù)量均為2個，且材料均為不銹鋼。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍鎳機，其特征在于所述鍍鎳加熱槽的數(shù)量為4個，且材料均為石英玻璃。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍鎳機，其特征在于所述活化液腐蝕槽的數(shù)量為I個，且材料為NPP。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍鎳機，其特征在于所述快排槽的數(shù)量為2個，且材料為 NPP。6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍鎳機，其特征在于所述稱量部的數(shù)量為2個。專利摘要本技術(shù)提供了一種鍍鎳機，包括機體、加工槽系統(tǒng)、稱量部、抖動提升機構(gòu)、配管系統(tǒng)、勻流板與工作平臺，所述機體為長方體結(jié)構(gòu)，包括左機體與右機體；所述工作平臺固定于機體中部；所述加工槽系統(tǒng)包括超聲槽、鍍鎳加熱槽、活化液腐蝕槽、IPA槽與快排槽，均固定在工作平臺上；所述稱量部固定于工作平臺上；所述抖動提升機構(gòu)固定于機體上端，抖動提升機構(gòu)的末端固定有勻流板；所述配管系統(tǒng)固定于機體底部，工作平臺下方。本技術(shù)提供的一種鍍鎳機，自動檢測槽內(nèi)酸堿度，且有氨水自動添加功能，準確，方便，效率高，硅片在液面下自動上下抖動，腐蝕均勻，頻率可調(diào)，方便拿取硅片，省時省力，效率高。文檔編號C23C18/32GK202671682SQ20122029047公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月19日專利技術(shù)者儲瑞清 申請人:無錫市瑞達電子有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種鍍鎳機，包括機體、加工槽系統(tǒng)、稱量部、抖動提升機構(gòu)、配管系統(tǒng)、勻流板與工作平臺，其特征在于：所述機體為長方體結(jié)構(gòu)，包括左機體與右機體；所述工作平臺固定于機體中部；所述加工槽系統(tǒng)包括：超聲槽、鍍鎳加熱槽、活化液腐蝕槽、IPA槽與快排槽，均固定在工作平臺上；所述稱量部固定于工作平臺上；所述抖動提升機構(gòu)固定于機體上端，抖動提升機構(gòu)的末端固定有勻流板；所述配管系統(tǒng)固定于機體底部，工作平臺下方。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：儲瑞清，
申請(專利權(quán))人：無錫市瑞達電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：