【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種抽真空泵機組,其特征在于,它包括有羅茨泵(1)、羅茨泵排氣管(2)、滑閥真空泵(3)、滑閥真空泵進氣管(4)、壓差閥(5);所述的羅茨泵(1)排氣口接羅茨泵排氣管(2)一端,滑閥真空泵(3)進氣口接滑閥真空泵進氣管(4)一端,羅茨泵排氣管(2)另一端與滑閥真空泵進氣管(4)另一端用壓差閥(5)連接。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:懷忠慶,姚群,
申請(專利權)人:合肥圣泰光電科技有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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