線鋸控制系統和線鋸技術方案

本實用新型專利技術公開一種線鋸控制系統和線鋸。提供給一種用于操作線鋸(100)的線鋸控制系統(1)。線鋸適用于通過以可選擇的線速度將線(230)相對于晶片移動而切割晶片(304、304、306、308)。線鋸控制系統包括用于檢查線的照相機(20)；和用于根據線速度來操作照相機的照相機控制單元(25)。此外，提供一種包括線鋸控制系統的線鋸以及用于檢查線鋸的線的方法。該方法包括以可變的線速度移動線；并且根據線速度來檢查線，由此獲得檢查結果。（*該技術在2021年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及尤其用于檢查線鋸的線的線鋸控制系統、線鋸、用于檢查線鋸的線的方法和用于操作線鋸的方法。現有的線鋸可以用根據本技術的線鋸控制系統進行改造。更具體地，本技術涉及用于檢測線鋸的線的缺陷、磨損或者損壞的線鋸控制系統。本技術具體地涉及多線鋸。本技術的線鋸具體地適用于切割或者鋸切諸如硅塊或者石英塊的硬材料，例如，用于切割硅晶片，用于開方機，用于分段機等。
技術介紹
線鋸用于從一片諸如硅的硬材料切割例如半導體晶片的塊或者磚、薄片。在這種裝置中，線從線軸饋送，并被線引導筒引導和張緊。用于鋸割的線一般設置有研磨材料。作為一個選擇，研磨材料能提供為漿料。這可以在線接觸待切割的材料前不久完成。由此，研 磨材料通過用于切割材料的線而被帶到切割位置。作為另一選擇，研磨材料能設置在有涂層的線上，例如作為金剛石線。例如，金剛石顆粒能設置在具有涂層的金屬線上，其中，金剛石顆粒嵌在線的涂層中。由此，研磨材料牢固地與線連接。線由線引導器引導并/或維持張緊。這些線弓丨導器一般覆蓋有一層合成樹脂，并刻有凹槽，凹槽具有很精確的幾何形狀和尺寸。線繞線引導器而纏繞，并形成網或者線網。在鋸割過程中，線以相當大的速度移動。網產生與保持要被鋸割的工件的支撐梁或者支撐件的前進相反的力。在鋸割過程中，要被鋸割的工件移動通過線網，其中，此移動速度確定切割速度和/或能在給定的時間量內被鋸割的有效切割面積。一般地，為了降低切割的厚度并由此減小浪費的材料，存在使用更薄的線的趨勢。還期望使用金剛石線。這些更薄線和金剛石線一般更易受損，并且在高應變下線會更容易斷裂。此外，期望增大切割速度以提高收線鋸的產量。用于使工件移動通過網的最大速度、以及在給定的時間量內的最大有效切割面積受到若干因素的限制，包括線速度、要被鋸割的材料的硬度、干擾影響、期望精度等。當速度增大時，線上的應變一般也增大。因而，以上所述的避免線的損壞、過度磨損或者斷裂的問題在更高鋸割速度下更加重要。金剛石線的優點(例如，更高可實現的鋸割速度)能伴隨著諸如對更低的抗斷裂性和單位長度更高的價格之類的問題。當采用金剛石線時，能采取措施以確保更高的斷裂趨勢不會由于非工作狀態時間而造成生產的損失。如果在鋸割過程中線斷裂，則在斷裂發生之后盡可能快地檢測斷裂并且立即停止線的移動是很重要的。同時，期望檢測在鋸割過程中線是否出現了過度的磨損或者出現了在沿著其長度的一個或者多個位置斷裂的趨勢。在最差的情況下，如果發生斷裂，則會出現不想要的結果。線的松開端會以不能控制的方式在機器中纏繞，這會對線引導系統或者機器的其他部分造成損害。此外，如果線斷裂并且繼續移動，則它將從要被鋸割的物體被扯出。此外，期望通過考慮以下權衡關系來優化線的使用。如果當線仍然足夠地有效和安全地鋸割諸如晶片的其他物體時、線纏繞在用于使用過的線的線軸上，則線沒有最佳地使用，造成財政上的損失。另一方面，如果盡管線不再適合進一步進行鋸割處理但是繼續使用該線，則線會斷裂或者造成不滿意的鋸割結果。因而，同樣，這樣的選擇在經濟上也是不能接受的。
技術實現思路
鑒于以上，提供一種用于操作線鋸的線鋸控制系統。線鋸適用于通過以可選擇的線速度將線相對于晶片移動來切割晶片。線鋸控制系統包括用于檢查線的照相機和用于根據線速度而操作照相機的照相機控制單元。根據一個方面，提供包括本說明書中描述的線鋸控制系統的線鋸。具體地，線鋸可以是多線鋸。根據又一方面，現有的線鋸可以用本說明書中描述的線鋸控制系統來改造。公開一種用于改造線鋸的方法，包括提供具有本說明書中描述的線鋸控制系統的線鋸。·根據又一方面，提供用于檢查線鋸的線的方法。線鋸適用于通過線和晶片的相對移動來切割晶片。該方法包括以可變的線速度移動線；并且根據線速度而檢查線，由此獲得檢查結果。根據又一方面，提供用于操作線鋸的方法。用于操作線鋸的方法包括本說明書中描述的用于檢查線的方法。根據從屬權利要求、描述和附圖，其他優點、特征、方面和細節是顯而易見的。實施例還涉及用于執行所公開的方法的設備，并包括用于執行每個所描述的方法步驟的設備部件。這些方法步驟可以通過硬件部件、由適合的軟件編程的計算機、通過這兩種方式的組合或者以任何其他方式來執行。此外，根據本專利技術的實施例還涉及所描述的設備操作的方法。該方法包括用于執行該設備的每個功能的方法步驟。附圖說明以能詳細理解本專利技術的以上所述的特征的方式，參照實施例更加具體地描述以上簡要概括的本專利技術。附圖關于本專利技術的實施例，并描述如下圖I示出了根據本說明書描述的實施例的線鋸控制系統和線鋸的示意透視側視圖。圖2示出了根據本說明書描述的實施例的線鋸控制系統和線鋸的示意透視頂視圖。圖3示出了根據本說明書描述的實施例的線鋸控制系統和線鋸的示意透視前側視圖。圖4示出了根據本說明書描述的實施例的線鋸控制系統和線鋸的示意透視前側視圖。圖5示出了根據本說明書描述的實施例的線鋸控制系統和線鋸的示意透視視圖。圖6示出了用于檢查線鋸的線的實施例的示意透視圖。具體實施方式現在將詳細地參照本專利技術的各種實施例，該實施例的一個或者多個示例圖示在附圖中。在以下對附圖的描述中，相同的參考標號是指相同的部件。一般地，僅僅描述各個實施例的不同。每個示例通過對本專利技術進行說明的方式來提供，并不意味著是對本專利技術的限制。此外，作為一個實施例的一部分而圖示或者描述的特征能與其他實施例結合使用以產生又一個實施例。本描述意在包括這樣的修改和變形。此外，在以下描述中，“線鋸控制系統”或者簡單地“控制系統”可以理解為控制線鋸的一些或者所有功能的系統。一般地，本說明書中理解的線鋸可以是分段機、開方機或者晶片切割線鋸。通常，為了監視機器操作和鋸割過程中的參數，控制系統連接到傳感器。線鋸控制系統包括照相機和照相機控制單元。照相機控制單元適用于例如當由照相機拍攝一個或者多個圖像時通過觸發來控制照相機。照相機或者照相機控制單元通常適用于執行用于評估成像的圖像的圖像識別算法。線鋸控制系統還可以連接到致動器和裝置以控制移動線的電動機。一般地，線鋸控制系統可以包括用于與個人互動的裝置，以為了接收指令并報告鋸割過程的狀態。本說明書中描述的控制單元還可以連接到計算機網絡以被個人或者自動系統(例如，計算機)直接或者遠程地控制。根據本說明書中描述的實施例，操作線鋸的方法能借助于計算機程序、軟件、計算·機軟件產品和相關的控制器來進行，相關的控制器通常能具有CPU、存儲器、用戶界面和與線鋸的相應部件進行通信的輸入和輸出裝置。這些部件可以是以下部件中的一個或者多個電動機、線斷裂檢測單元、線跟蹤裝置等，這將在以下詳細地描述。通常，線鋸包括用于在線移動方向上輸送和引導的線引導器。線鋸控制系統可以提供對線張緊的控制。所提供的線在線鋸的切割區域中形成線網。由此，術語“線網”通常涉及通過線重復地環繞線引導筒而形成的網。應該理解到，線網可以包含一個以上的工作區域，該工作區域限定為執行鋸割過程的區域。因而，根據本說明書中描述的一些實施例，線網能具有通過線形成的多個工作區域。對于諸如分段機、開方機或者線鋸之類的現代線鋸，存在以高速切割諸如半導體材料(例如，硅、石英等)的硬材料的期望。最大線速度(即，移動通過線鋸的線的最大速度)可以是例如10m/s或者更高。通常，最大線速本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于操作線鋸的線鋸控制系統，所述線鋸適合于通過以可選擇的線速度將線相對于晶片移動而切割所述晶片，所述線鋸控制系統的特征在于包括：a)用于檢查所述線的照相機；b)用于根據線速度來操作所述照相機的照相機控制單元。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：菲利普·那斯卡，吉恩馬克·羅斯特，
申請(專利權)人：應用材料瑞士股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：