一種光罩籃制造技術

本發明專利技術公開了一種光罩籃，用于搬送裝有光罩的光罩盒，能夠固定光罩盒，避免對光罩造成損壞，并且，能夠同時運送多個裝有光罩的光罩盒，提高工作效率。該光罩籃包括：支架、至少兩個抽屜板以及擋板，其中，所述至少兩個抽屜板水平連接在所述支架上，每兩個抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時的高度，所述擋板設置在每個抽屜板的上表面，且擋板圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配。

【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體生產
，尤其涉及一種搬送光刻機中光罩的光罩籃。
技術介紹
在半導體生產過程中，需要在特定環境下(如光罩室)將光罩從水晶盒(存放光罩的一種容器)轉移到光刻機專用的光罩盒中，然后才能將裝有光罩的光罩盒搬送到光刻機，再使用光罩進行后續操作。目前，在將裝有光罩的光罩盒搬送到光刻機時，一般是采用普通的籃子，就是將裝有光罩的光罩盒放于普通的籃子中，再搬送至光刻機處。然而，光罩盒的體積遠遠小于普通的籃子，并且，普通的籃子無法定位光罩盒的活 動方向，而光罩盒的一面是活動的，這就使得光罩很容易滑出光罩盒，以損壞光罩。同時，光刻機專用的光罩盒很薄，也就使得不能將多個光罩盒疊在一起放置，使得每次運送的光罩的數量有限，降低了工作效率。
技術實現思路
本專利技術提供一種光罩籃，用以搬送裝有光罩的光罩盒，能夠固定光罩盒，避免對光罩造成損壞，并且，能夠同時運送多個裝有光罩的光罩盒，提高工作效率。本專利技術實施例提供的具體技術方案如下一種光罩籃，包括支架、至少兩個抽屜板以及擋板，其中，所述至少兩個抽屜板水平連接在所述支架上，每兩個抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時的高度；所述擋板設置在每個抽屜板的上表面，且擋板圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配。基于上述技術方案，本實施例中，通過設計光罩籃，在半導體生產過程中，能夠將裝有光罩的光罩盒放入光罩籃抽屜板上由擋板圍成的區域內，并且，在每個擋板圍成的區域內僅放置一個光罩盒，并且，擋板圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配，由擋板對光罩盒進行固定，有效地防止了光罩盒相對于抽屜板滑動，并且，在光罩籃中設有多個抽屜板，每個抽屜板上可以放置一個光罩盒，這樣可以一次性移動多個光罩盒，提高了工作效率，又有效地避免了將多個光罩盒疊放在一起，對光罩造成的損壞，同時也可以任意取用任意一個光罩盒，而無需移動其它光罩盒。附圖說明圖I為本實施例中光罩籃的立體結構示意圖；圖2為本實施例中光罩籃的主視圖；圖3為本實施例中支架板與缺少的側面相鄰的側面的主視圖和側視圖；圖4為本實施例中抽屜板的主視圖和側視圖。具體實施例方式為了在搬送裝有光罩的光罩盒時,能夠固定光罩盒,避免對光罩造成損壞,并且，能夠同時運送多個裝有光罩的光罩盒，提高工作效率，本專利技術實施例提供了一種光罩籃，主要包括支架、至少兩個抽屜板以及擋板。下面結合附圖對本專利技術優選的實施例進行詳細說明。如附圖I和附圖2所示，本專利技術實施例中，光罩籃主要包括支架101、至少兩個抽屜板102以及擋板103，其中，至少兩個抽屜板102水平連接在支架101上，每兩個抽屜板102之間的距離不小于光罩盒放置時的高度；擋板103設置在每個抽屜板102的上表面，且擋板103圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配。 實際應用中，支架101的實現方式有多種，例如，支架101為兩個相互平行的立面組合而成，或者，支架101為兩個里面組合而成的半封閉的三角柱型結構。較佳地，支架101為兩個相互平行的立面與另一個立面垂直連接而成的半封閉的框型結構體。對其其他支架的實現方式，能夠應用于本專利技術的，本專利技術也將其包括在內。較佳地，抽屜板102采用抽拉式結構連接在支架101上。具體為在支架101的兩個立面相互對應的位置開設導軌301，如附圖3所示，每個立面上開設至少兩個導軌，相應地在抽屜板102的兩個側面邊緣分別設置滑輪組401，如附圖4所示，將抽屜板102設有滑輪組401的兩個側面，與支架101開設導軌301的兩個立面相互對應進行安裝，形成抽拉式結構。較佳地，滑輪組401包括兩個或兩個以上的滑輪。較佳地，光罩籃還包括多個防滑塞子302，如附圖3所示，分別設置在支架101上開設導軌301的一端或兩端。例如，在導軌301的一端開口時，在開口的一端設置防滑塞子302，而在導軌301的兩端均開口時，則在分別在兩端設置防滑塞子302。在抽屜板102采用抽拉式結構與支架101連接時，較佳地，光罩籃還包括防滑栓105，卡合在抽屜板102與支架101的連接處，以固定抽屜板102。例如，可以采用外接卡槽卡合在抽屜板102與支架101的連接處，即在將光罩盒放入抽屜板102后，采用外接卡槽卡合在抽屜板102與支架101的連接處，以固定抽屜板102，然后移動光罩籃，在取出光罩盒時，將外接卡槽去除，以將抽屜板抽出，然后取出光罩盒。本實施例中，防滑栓105可以是一個或多個。較佳地，光罩籃還包括至少兩個支撐桿104，每個支撐桿104對應一個抽屜板102，平行設置在抽屜板102下方，與抽拉方向相同的抽屜板102的側面對齊，并與支架101固定連接。實際應用中，可以將支撐桿104的兩端分別與支架101的兩個側面的內壁固定連接，或者將支撐桿104的一端與支架101的一個側面固定連接。其中，在防滑栓105為一個時，防滑栓105的兩端分別設置于支架101的上底面或下底面；或者是防滑栓105的一端設置于支架101的上底面，另一端設置于最底層的支撐桿104上；或者是一端設置于最底層的支撐桿104上，另一端設置在位于最上方的抽屜板102上方的支架101的邊緣。其中，在防滑栓105為多個時，針對每個抽屜板102設置至少一個防滑栓105，防滑栓105的一端固定于相應的支撐桿104,另一端固定于支架101 —個立面的邊緣。例如,在抽屜板102形成抽拉結構的兩端均設置防滑栓，每個防滑栓105的一端固定于支撐桿104，另一端固定于相應抽屜板上方的支架101的邊緣。具體地，防滑栓105的一端固定于支撐桿104，另一端固定于支架101的邊緣時，在支架101的邊緣且位于抽屜板102的上方設置防滑掛鉤106，如附圖3所示，將防滑栓105的一端掛接在防滑掛鉤106上。防滑栓105的設置能夠有效避免在移動光罩籃時，抽屜板102滑出，避免了對光罩盒以及光罩盒內的光罩造成損壞。實際應用中，防滑栓的設置也可以綜合上述兩種方法，將設置一個防滑栓的方法與設置多個防滑栓的方法進行組合應用，對于任意組合形式能夠應用于本實施例的，本實施例也將其包括在內。 較佳地，光罩籃上還設有一提手107，該提手107連接在支架101的兩側，以便于移動光罩籃。 較佳地，擋板103由前擋板1031、后擋板1032、側擋板1033 (即左擋板和右擋板)組合而成。較佳地，擋板103至少一側設有凹槽1034，以便于放置或拿取位于擋板103內的光罩盒。例如，在前擋板1031上設有凹槽。較佳地，支撐桿104的寬度小于或等于支架101設有導軌的立面的寬度。例如，支撐桿與支架底面的形狀和大小均相同，或者是，支撐桿的寬度為與支架導軌所在的立面寬度的1/10。較佳地，由擋板103圍成的區域與放置光罩盒時擱置面的形狀和大小均相同，以防止在移動光罩籃時，位于光罩盒內的光罩滑出光罩盒。較佳地，本實施例中，光罩籃的各組成部分均采用防靜電的材料制成，該防靜電的材料至少可以是陶瓷、塑料、硅膠等。基于上述技術方案，本實施例中，通過設計光罩籃，在半導體生產過程中，能夠將裝有光罩的光罩盒放入光罩籃抽屜板上由擋板形成的區域內，并且，在擋板圍成的區域內僅放置一個光罩盒，由擋板圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配，以由當班固定光罩盒，有效地防止了光罩盒相對于抽屜板滑動，并且，在光罩籃中設有多個抽屜板，每個抽屜板上可以放置一個光罩盒本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種光罩籃，其特征在于，包括：支架、至少兩個抽屜板以及擋板，其中，所述至少兩個抽屜板水平連接在所述支架上，每兩個抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時的高度；所述擋板設置在每個抽屜板的上表面，且擋板圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配。

【技術特征摘要】
1.一種光罩籃，其特征在于，包括支架、至少兩個抽屜板以及擋板，其中， 所述至少兩個抽屜板水平連接在所述支架上，每兩個抽屜板之間的距離不小于光罩盒放置時的高度； 所述擋板設置在每個抽屜板的上表面，且擋板圍成的區域與光罩盒放置時的擱置面相匹配。2.如權利要求I所述的光罩籃，其特征在于，所述支架為兩個相互平行的立面組合而成；或者，所述支架為兩個相互平行的立面與另一個立面垂直連接而成半封閉的框型結構體；或者，所述支架為兩個立面組合而成的半封閉的三角柱型結構體。3.如權利要求2所述的光罩籃，其特征在于，所述至少兩個抽屜板采用抽拉式結構連接在所述支架上。4.如權利要求3所述的光罩籃，其特征在于，還包括防滑栓，卡合在所述至少兩個抽屜板與所述支架的連接處，以固定抽屜板。5.如權利要求4所述的光罩籃,其特征在于，所述防滑栓為一個或多個。6.如權利要求5所述的光罩籃，其特征在于，還包括至少兩個支撐桿，分別平行設置在每個抽屜板下方，與抽拉方向相同的抽屜板的側面對齊，并與所述支架固定連接。7.如權利要求6所述的光罩籃，其特征在于，所述防滑栓為多個時，針...

【專利技術屬性】
技術研發人員：馬玉玲，彭超群，文燕，戴新華，
申請(專利權)人：北大方正集團有限公司，深圳方正微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：