靜電測試裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種靜電測試裝置，包括測試探頭和至少一個(gè)測距定位模塊，測距定位模塊和所述測試探頭設(shè)置在靜電測試裝置的同一個(gè)面；至少一個(gè)測距定位模塊包括第一測距定位模塊，所述第一測距定位模塊包括第一激光發(fā)射頭和第一激光接收頭；所述第一激光發(fā)射頭和第一激光接收頭之間的距離為2L1；第一激光發(fā)射頭所發(fā)射的激光與測試探頭所在面之間的夾角為α；L1與α之間的關(guān)系滿足下列關(guān)系式：L1=H×ctgα；其中，H是靜電測試裝置的工作距離。在測試探頭所在面與被測平面平行且之間的實(shí)際距離達(dá)到靜電測試裝置的工作距離時(shí)，第一激光接收頭接收到由第一激光發(fā)射頭發(fā)射經(jīng)被測平面反射的反射線，進(jìn)而使靜電測試裝置能夠準(zhǔn)確測量被測平面的靜電值。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及測試裝置，尤其涉及靜電測試裝置。
技術(shù)介紹
靜電是半導(dǎo)體、液晶面板及其他精密工業(yè)生產(chǎn)中重要的管控因素。在液晶面板的生產(chǎn)過程中，玻璃基板所產(chǎn)生的靜電會(huì)帶來不利的影響，主要表現(xiàn)在兩個(gè)方面，一方面玻璃基板的高靜電會(huì)破壞玻璃基板表面的電路，另一方面帶靜電的玻璃基板會(huì)吸附空氣中游蕩的帶電顆粒，造成產(chǎn)品不良。因此，需要對(duì)液晶面板生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的靜電進(jìn)行管控，進(jìn)行靜電的測量和消除。傳統(tǒng)的靜電測試裝置分為接觸式和非接觸式。對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行靜電測試時(shí)， 因?yàn)椴ＡЩ灞砻嬗形⒚准?jí)別的微小電路，為防止破壞電路，不能采用接觸式靜電測試裝置。非接觸式靜電測試裝置，為了準(zhǔn)確的測量靜電值要求其在進(jìn)行靜電測試時(shí)靜電測試裝置的測試探頭所在面需要與被測平面平行且之間保持一定的距離。傳統(tǒng)的非接觸式靜電測試裝置一般為光束相交式，即靜電測試裝置射出兩束光線，射到被測平面上，待兩束光線相交時(shí)認(rèn)為達(dá)到了靜電測試裝置的工作距離，如圖I所示，讀取此時(shí)靜電測試裝置上的靜電值示數(shù)。一方面，傳統(tǒng)的非接觸式靜電測試裝置本身存在不足，在兩束光線相交時(shí)，只能說明兩束光線發(fā)光點(diǎn)所在直線與被測平面平行，測試探頭所在面與所述被測平面不一定平行且可能存在多種位置關(guān)系(即此時(shí)測試探頭與被測平面的距離不確定)，導(dǎo)致測試探頭測出的靜電值存在偏差。另一方面，在傳統(tǒng)的非接觸式靜電測試裝置的工作過程中，靜電測試裝置射出的兩束光線照射到物體表面上發(fā)生漫反射，光漫反射后人眼才能看到光束，從而來判斷光束是否相交。在液晶面板生產(chǎn)中的某些工藝階段產(chǎn)品為透明的玻璃基板，玻璃基板表面光滑，射出的光線不能發(fā)生漫反射；并且光束透過玻璃基板，所以人眼看不到反射的光束，不能判斷光束是否相交。因此傳統(tǒng)的靜電測試裝置，對(duì)于透明的玻璃基板而言，不能準(zhǔn)確地判斷測試探頭與被測平面的距離，進(jìn)而不能準(zhǔn)確透明的玻璃基板所攜帶的靜電。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)提供一種靜電測試裝置，通過測距定位模塊，使得在進(jìn)行靜電測試時(shí)靜電測試裝置的測試探頭所在面需要與被測平面平行且之間保持一定的距離，進(jìn)而使靜電測試裝置能夠準(zhǔn)確測量被測平面(包括透明的和不透明的被測平面)的靜電值。為達(dá)到上述目的，本技術(shù)提供以下技術(shù)方案一種靜電測試裝置，包括測試探頭和至少一個(gè)測距定位模塊，所述測距定位模塊和所述測試探頭設(shè)置在所述靜電測試裝置的同一個(gè)面；所述至少一個(gè)測距定位模塊包括第一測距定位模塊，所述第一測距定位模塊包括第一激光發(fā)射頭和第一激光接收頭；所述第一激光發(fā)射頭和第一激光接收頭之間的距離為2Q ;所述第一激光發(fā)射頭所發(fā)射的激光與測試探頭所在面之間的夾角為α 士與α之間的關(guān)系滿足下列關(guān)系式=L1=HXctga ;其中，H是靜電測試裝置的工作距離。優(yōu)選的，所述至少一個(gè)測距定位模塊還包括第二測距定位模塊；所述第二激光發(fā)射頭和第二激光接收頭之間的距離為2L2 ;所述第二激光發(fā)射頭所發(fā)射的激光與測試探頭所在面之間的夾角為β山2與β之間的關(guān)系滿足下列關(guān)系式L2=HX ctg β ο優(yōu)選的，所述靜電測試裝置的工作距離H為O. 5厘米 5厘米。優(yōu)選的，α為 30° 80° ;β 為 30。 80°。優(yōu)選的，α=β。優(yōu)選的，所述第一測距定位模塊所在直線與所述第二測距定位模塊所在直線之間的夾角是任意角度。優(yōu)選的，所述第一測距定位模塊所在直線與所述第二測距定位模塊所在直線平·行。優(yōu)選的，所述靜電測試裝置的工作距離H為2. 5厘米；所述第一測距定位模塊與所述第二測距定位模塊在同一條直線上，α=β =60°。優(yōu)選的，所述靜電測試裝置的工作距離H為2. 5厘米；所述第一測距定位模塊所在直線與所述第二測距定位模塊所在直線之間的夾角是90°，α=β=60°。本技術(shù)的靜電測試裝置的有益效果如下在靜電測試裝置生產(chǎn)過程中，根據(jù)測試探頭的敏感度及靜電測試裝置將來工作的場合和精度確定靜電測試裝置的工作距離H。根據(jù)反射原理，滿足上述要求的靜電測試裝置，在測試探頭所在面與被測平面平行且之間的實(shí)際距離達(dá)到靜電測試裝置的工作距離時(shí)，第一激光接收頭接收到由第一激光發(fā)射頭發(fā)射經(jīng)被測平面反射的反射線。這樣，第一測距定位模塊使得測試探頭所在面與被測平面之間距離為H，進(jìn)而使靜電測試裝置能夠準(zhǔn)確測量被測平面(包括透明的和不透明的被測平面)的靜電值。附圖說明圖I為傳統(tǒng)的非接觸式靜電測試裝置的正常工作時(shí)的示意圖；圖2為本技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例的靜電測試裝置工作時(shí)的示意圖；圖3為本技術(shù)的另一個(gè)實(shí)施例的靜電測試裝置工作時(shí)的示意圖；圖4為圖3所示的靜電測試裝置工作時(shí)的左視圖；圖5為本技術(shù)的又一個(gè)實(shí)施例的靜電測試裝置工作時(shí)的示意圖；圖6為圖5所示的靜電測試裝置工作時(shí)的左視圖。主要元件符號(hào)說明100第一測距定位模塊；110第一激光發(fā)射頭；120第一激光接收頭；200第二測距定位模塊；210第二激光發(fā)射頭；220第二激光接收頭；300測試探頭。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本技術(shù)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本技術(shù)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本技術(shù)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本技術(shù)保護(hù)的范圍。實(shí)施例一本技術(shù)的一個(gè)實(shí)施例的靜電測試裝置，如圖2所示，包括測試探頭和至少一個(gè)測距定位模塊，測距定位模 塊和測試探頭設(shè)置在靜電測試裝置的同一個(gè)面；所述至少一個(gè)測距定位模塊包括第一測距定位模塊100，第一測距定位模塊100包括第一激光發(fā)射頭110和第一激光接收頭120 ;所述第一激光發(fā)射頭110和第一激光接收頭120之間的距離為2Q ;所述第一激光發(fā)射頭110所發(fā)射的激光與測試探頭所在面之間的夾角為a !L1與α之間的關(guān)系滿足下列關(guān)系式=L1=HXctga ；其中，H是靜電測試裝置的工作距離。在靜電測試裝置生產(chǎn)過程中，根據(jù)測試探頭的敏感度及靜電測試裝置將來工作的場合和精度確定靜電測試裝置的工作距離H。在測試探頭所在面與被測平面之間的實(shí)際距離達(dá)到靜電測試裝置的工作距離H時(shí)，靜電測試裝置開始測試被測平面的靜電值。根據(jù)反射原理，滿足上述要求的靜電測試裝置，在測試探頭所在面與被測平面平行且之間的實(shí)際距離達(dá)到靜電測試裝置的工作距離時(shí)，第一激光接收頭接收到由第一激光發(fā)射頭發(fā)射經(jīng)被測平面反射的反射線；而在測試探頭所在面與被測平面不平行或平行但之間距離不是H時(shí)，第一激光接收頭接收不到與第一激光發(fā)射頭發(fā)射經(jīng)被測平面反射的反射線。這樣，第一測距定位模塊使得測試探頭所在面與被測平面之間距離為H，進(jìn)而使靜電測試裝置能夠準(zhǔn)確測量被測平面的靜電值。無論被測平面是透明的被測平面還是不透明的被測平面，都會(huì)對(duì)激光進(jìn)行反射，激光接收頭通過接收反射光，能夠有效定位測試探頭所在面，使得測試探頭所在面和被測平面(包括透明平面和不透明平面)與測試探頭所在面平行且之間的距離為H，為測試探頭準(zhǔn)確測試靜電值提供了條件。靜電測試裝置還包括靜電測試模塊和顯示模塊。在使用靜電測試裝置對(duì)透明的玻璃基板進(jìn)行靜電測試時(shí)，將測試探頭所在面平行靠近透明的玻璃基板表面，上下移動(dòng)靜電測試裝置。當(dāng)?shù)谝患す饨邮疹^接收到由第一激光發(fā)射頭發(fā)射經(jīng)被測平面反射的反射線，表明測試探頭所在面與被測平面平行且之間的實(shí)際距離達(dá)到靜電測試裝置本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種靜電測試裝置，包括測試探頭，其特征在于，還包括：至少一個(gè)測距定位模塊，所述測距定位模塊和所述測試探頭設(shè)置在所述靜電測試裝置的同一個(gè)面；所述至少一個(gè)測距定位模塊包括第一測距定位模塊，所述第一測距定位模塊包括第一激光發(fā)射頭和第一激光接收頭；所述第一激光發(fā)射頭和第一激光接收頭之間的距離為2L1；所述第一激光發(fā)射頭所發(fā)射的激光與測試探頭所在面之間的夾角為α；L1與α之間的關(guān)系滿足下列關(guān)系式：L1=H×ctgα；其中，H是靜電測試裝置的工作距離。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王全軍，李麗，李政良，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：北京京東方光電科技有限公司，
類型：實(shí)用新型
國別省市：