【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種安放裝置,具體涉及一種舟托。
技術介紹
現在,在半導體芯片(主要是石英芯片)的生產過程中,擴散工序需要用到石英舟或碳化硅舟進、出爐的工裝夾具,一般石英舟或碳化硅舟的存放處為石英管或碳化硅管或操作箱內,在石英舟或碳化硅舟的傳遞過程中所用的舟托的材質為不銹鋼,這樣的話會導致在石英舟或碳化硅舟傳遞過程中造成石英舟或碳化硅舟金屬離子的沾污,從而導致系統的沾污,影響制作產品的電參數,還存在不易拿取的問題。市場上的一些石英舟托的使用面也是矩形面,所以在使用過程中,會產生掉落現象,從而影響產品質量。
技術實現思路
專利技術目的本技術的目的是為了克服現有技術中的不足,提供一種結構簡單,防掉落的新型舟托。技術方案為了解決上述技術問題,本技術所述的一種新型防掉落舟托,它包括矩形舟托底面,在所述矩形舟托底面上部設有四根連接柱,在所述連接柱上設有弧形舟托使用面,在所述弧形舟托使用面兩端設有開口的擋板。所述矩形舟托底面、連接柱、弧形舟托使用面和擋板都是采用石英材質。有益效果本技術與現有技術相比,其顯著優點是本技術舟托結構設計合理,實用性強,可防掉落,所運用的材質均為石英,便于清洗,可以最大程度的減少石英舟或碳化硅舟在傳遞或存放過程中所導致的沾污。附圖說明圖I為本技術的結構示意圖。其中I、矩形舟托底面;2、連接柱;3、弧形舟托使用面;4、擋板。具體實施例以下結合附圖和實施例對本技術作進一步的說明。如圖I所示,本技術所述的一種新型防掉落舟托,它包括矩形舟托底面1,在所述矩形舟托底面I上部設有四根連接柱2,在所述連接柱2上設有弧形舟托使用面3,在所述弧形舟托使用面3兩端設有開 ...
【技術保護點】
一種新型防掉落舟托,其特征在于:它包括矩形舟托底面(1),在所述矩形舟托底面(1)上部設有四根連接柱(2),在所述連接柱(2)上設有弧形舟托使用面(3),在所述弧形舟托使用面(3)兩端設有開口的擋板(4)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:孫東芹,
申請(專利權)人:太倉子午電氣有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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