【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種工藝腔體保護罩，包括呈環狀的殼體，其特征在于：所述殼體內部形成空腔，所述殼體的底面形成多處與空腔導通的通孔；所述殼體的側部設置與空腔導通的排氣管，該排氣管連接排氣系統。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：任存生，張旭昇，張傳民，文靜，金見安，蘇亞青，
申請(專利權)人：上海華力微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：
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